陣列基板及其制作方法、顯示面板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種陣列基板及其制作方法、顯示面板。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)具有體積小、功耗低、無輻射等特點，在當(dāng)前的平板顯示器市場占據(jù)了主導(dǎo)地位。
[0003]彩色濾光片是液晶顯示器中的重要組件，在液晶顯示器中，背光模組發(fā)射的光經(jīng)過彩色濾光片的處理，而呈現(xiàn)出彩色的畫面。現(xiàn)有的液晶顯示器多采用傳統(tǒng)的有機顏料或者染料來制作彩色濾光片，制作彩色濾光片的方法通常是:首先在透明基板上制作黑色矩陣形成間隔；然后再分別制作紅色濾色單元、綠色濾色單元和藍色濾色單元，制作工藝復(fù)雜，導(dǎo)致液晶顯示器的成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種陣列基板及其制作方法、顯示面板，能夠簡化液晶顯示器的制作工藝，降低液晶顯示器的成本。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實施例提供技術(shù)方案如下:
[0006]—方面，提供一種陣列基板，所述陣列基板的像素區(qū)域包括多個周期性間隔排列的濾光圖形，所述濾光圖形用于形成彩色濾光層，其中，不同顏色的亞像素區(qū)域?qū)?yīng)的濾光圖形的排列周期不同。
[0007]進一步地，所述濾光圖形在所述陣列基板的亞像素區(qū)域內(nèi)成矩陣排列。
[0008]進一步地，所述陣列基板上形成有多個不同顏色的亞像素區(qū)域，不同顏色亞像素區(qū)域的濾光圖形的排列周期和尺寸不同；亞像素區(qū)域?qū)?yīng)顏色的波長越長，濾光圖形的尺寸越大;亞像素區(qū)域?qū)?yīng)顏色的波長越長，濾光圖形的排列周期越寬。
[0009]進一步地，所述濾光圖形為圓形、橢圓形、正方形或正多邊形，所述濾光圖形的排列周期為所述濾光圖形上兩點之間的最大距離與相鄰兩濾光圖形之間的間距的和。
[0010]進一步地，所述陣列基板上形成有紅色亞像素區(qū)域、綠色亞像素區(qū)域和藍色亞像素區(qū)域，
[0011]在所述濾光圖形為圓形時，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑范圍為165-185nm，周期范圍為340-360nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑范圍為110-130nm，周期范圍為230-250nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑范圍為95-115nm，周期范圍為200-220nm;
[0012]在所述濾光圖形為正方形時，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為165-185nm，周期范圍為340-360nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為110-130nm，周期范圍為230-250nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為95-115nm，周期范圍為200-220nm。
[0013]進一步地，在所述濾光圖形為圓形時，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑為17 5nm，周期為350nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑為120nm，周期為240nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的直徑為105nm，周期為210nm;
[0014]在所述濾光圖形為正方形時，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為175nm，周期為350nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為120nm，周期為240nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為105nm，周期為210nmo
[0015]進一步地，所述濾光圖形為長方形，所述濾光圖形在所述陣列基板的亞像素區(qū)域內(nèi)成行排列或成列排列。
[0016]進一步地，所述陣列基板上形成有多個不同顏色的亞像素區(qū)域，不同顏色亞像素區(qū)域的濾光圖形的排列周期和寬度不同；亞像素區(qū)域?qū)?yīng)顏色的波長越長，濾光圖形的寬度越寬；亞像素區(qū)域?qū)?yīng)顏色的波長越長，濾光圖形的周期越寬，其中，所述濾光圖形的周期為相鄰兩濾光圖形相對距離最近的兩側(cè)邊之間的距離與其中一個濾光圖形的寬度之和。
[0017]進一步地，所述陣列基板上形成有紅色亞像素區(qū)域、綠色亞像素區(qū)域和藍色亞像素區(qū)域，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為165-185nm，周期范圍為340-360nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為110-130nm，周期范圍為230-250nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度范圍為95-115nm，周期范圍為200-220nmo
[0018]進一步地，所述紅色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為175nm，周期為350nm;所述綠色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為120nm，周期為240nm;所述藍色亞像素區(qū)域的濾光圖形的寬度為105nm，周期為210nmo
[0019]進一步地，所述陣列基板上還形成有多個薄膜晶體管，所述薄膜晶體管的有源層與所述彩色濾光層為同層同材料設(shè)置。
[0020]進一步地，所述有源層和所述濾光圖形采用多晶硅材料制備。
[0021]進一步地，所述陣列基板具體包括:
[0022]襯底基板；
[0023]位于所述襯底基板上的遮光層；
[0024]緩沖層；
[0025]位于所述緩沖層上的所述有源層和所述濾光圖形；
[0026]柵絕緣層；
[0027]位于所述柵絕緣層上的柵極；
[0028]層間絕緣層；
[0029]位于所述層間絕緣層上的源極和漏極，所述源極和漏極通過貫穿所述柵絕緣層和層間絕緣層的過孔分別與所述有源層連接；
[0030]鈍化層；
[0031]位于所述鈍化層上的像素電極，所述像素電極通過貫穿所述鈍化層的過孔與所述漏極連接。
[0032]本發(fā)明實施例還提供了一種顯示面板，包括如上所述的陣列基板。
[0033]本發(fā)明實施例還提供了一種陣列基板的制作方法，所述制作方法包括:
[0034]在所述陣列基板的像素區(qū)域形成多個周期性排列的濾光圖形，所述濾光圖形用于形成彩色濾光層，其中，不同顏色的亞像素區(qū)域?qū)?yīng)的濾光圖形的排列周期不同。
[0035]進一步地，所述陣列基板上還形成有多個薄膜晶體管，形成所述濾光圖形包括:
[0036]通過一次構(gòu)圖工藝同時形成所述濾光圖形和所述薄膜晶體管的有源層的圖形。
[0037]進一步地，形成所述有源層的圖形和所述濾光圖形包括:
[0038]在基板上沉積緩沖層；
[0039]在所述緩沖層上沉積非晶硅層，并對所述非晶硅層進行退火或離子處理形成多晶娃層；
[0040]對所述多晶硅層進行構(gòu)圖形成所述有源層的圖形和所述濾光圖形。
[0041]進一步地，形成所述有源層的圖形和所述濾光圖形之后，所述方法還包括:
[0042]形成柵絕緣層；
[0043]在所述柵絕緣層上形成柵極；
[0044]形成層間絕緣層；
[0045]在所述層間絕緣層上形成源極和漏極，所述源極和漏極通過貫穿所述柵絕緣層和層間絕緣層的過孔分別與所述有源層連接；
[0046]形成鈍化層；
[0047]在所述鈍化層上形成像素電極，所述像素電極通過貫穿所述鈍化層的過孔與所述漏極連接。
[0048]本發(fā)明的實施例具有以下有益效果:
[0049]上述方案中，周期性排列的濾光圖形能夠?qū)饩€進行濾光，通過設(shè)計不同周期和間隔的濾光圖形能夠過濾出不同的顏色，本發(fā)明的技術(shù)方案不用再通過多個制作工藝來分別制備不同顏色的彩色濾光層，能夠簡化液晶顯示器的制作工藝，降低液晶顯示器的成本；同時相比現(xiàn)有的彩色濾光層，能夠有效提高濾光效率。
【附圖說明】
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