應(yīng)一個(gè)調(diào)焦測(cè)量傳感器和一個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器，每個(gè)投影物鏡與其所對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器和對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器在第一方向上的坐標(biāo)相同。進(jìn)而使得投影物鏡陣列、對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器和調(diào)焦測(cè)量傳感器三者位于同一條直線上，更加靠近物鏡的曝光視場(chǎng)，提高了對(duì)準(zhǔn)精度。
[0068]較佳的，所述投影物鏡陣列平均分布于所述若干調(diào)焦測(cè)量傳感器和所述若干對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的兩側(cè)，或者所述投影物鏡陣列均位于若干調(diào)焦測(cè)量傳感器和所述若干對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的一側(cè)。
[0069]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D2，在掩模承載臺(tái)200上承載有掩模210，所述掩模承載臺(tái)200和所述基底承載臺(tái)400沿第二方向同步移動(dòng)時(shí)，所述掩模承載臺(tái)200上的掩模210和所述基底承載臺(tái)400上的基底410沿第二方向同步移動(dòng)時(shí)，投影物鏡陣列300a、300b、300c、300d、300e、300f對(duì)基底410進(jìn)行曝光，將掩模210的圖像成在所述基底410上，所述第一方向垂直于所述第二方向。本實(shí)施例中，投影物鏡陣列共有兩組，一組三個(gè)，每組物鏡沿著第一方向分布，兩組投影物鏡陣列均沿著Y軸分布。在兩組投影物鏡陣列中間設(shè)置了 6個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器500&、50013、500(3、500(1、5006、50(^，在兩組物鏡中間設(shè)置了 6個(gè)調(diào)焦測(cè)量傳感器600a、600b、600c、600d、600e、600f。6個(gè)對(duì)準(zhǔn)傳感器沿著X軸分布，每個(gè)對(duì)準(zhǔn)傳感器都跟隨有一個(gè)調(diào)焦測(cè)量傳感器，并且，每個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器與其所跟隨的調(diào)焦測(cè)量傳感器的第一方向坐標(biāo)相同(即X軸坐標(biāo)相同)。
[0070]請(qǐng)參照?qǐng)D2及圖8，其中，圖8為本發(fā)明中對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)和調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的分布示意圖。結(jié)合圖2及圖8所示，6個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器(即500a、500b、500c、500d、500e、500f)和 6 個(gè)調(diào)焦測(cè)量傳感器(即 600a、600b、600c、600d、600e、600f)在所述基底410上分別對(duì)應(yīng)分布有對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)630a、630b、630c、630d、630e、630f及調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)530a、530b、530c、530d、530e、530f，分別對(duì)應(yīng)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)630a、630b、630c、630d、630e、630f分布有物鏡的曝光視場(chǎng)310a、310b、310c、310d、310e、310f。由于每個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器都有一個(gè)與其對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器，并且每個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器與其所對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器在第一方向上的坐標(biāo)(本實(shí)施例中第一方向上的坐標(biāo)為X軸坐標(biāo))相同。因此，對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的X軸坐標(biāo)與其對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的第一方向坐標(biāo)相同，對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)在Y軸坐標(biāo)可以比與其對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)在Y軸坐標(biāo)大，也可以比與其對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)在Y軸坐標(biāo)小。
[0071]本發(fā)明所述調(diào)焦測(cè)量傳感器、所述對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器和所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的數(shù)量相同且均為三個(gè)以上。其中，所述若干調(diào)焦測(cè)量傳感器平均分布于若干對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的兩側(cè)，或者所述若干調(diào)焦測(cè)量傳感器均位于若干對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的一側(cè)。
[0072]請(qǐng)參照?qǐng)D7，其為本發(fā)明一實(shí)施例中基底上對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及掃描曝光視場(chǎng)的分布示意圖。由圖7所示，所述基底劃分為四個(gè)掃描曝光視場(chǎng)(即910a、910b、910c、910d、)，每個(gè)掃描曝光視場(chǎng)沿第二方向包括兩列對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，每列對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記沿第一方向排列，所述第一方向垂直于所述第二方向，每列對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的數(shù)量與所述對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的數(shù)量相同，使得所述若干對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器能同時(shí)探測(cè)一列對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。當(dāng)然，對(duì)于基底劃分的掃描曝光視場(chǎng)的個(gè)數(shù)不局限于本實(shí)施例中的個(gè)數(shù)，可以根據(jù)需要將基底劃分為多個(gè)掃描曝光視場(chǎng)。
[0073]請(qǐng)參考圖5，其為本發(fā)明的離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法的流程圖。如圖5所示的離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法包括如下步驟:
[0074]首先，執(zhí)行步驟S30，提供如上所述的曝光裝置，所述曝光裝置還包括用于測(cè)量基底承載臺(tái)位置的干涉測(cè)量裝置以及位于基底承載臺(tái)上的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)板。
[0075]接著，執(zhí)行步驟S31，采用所述對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器和所述調(diào)焦測(cè)量傳感器對(duì)基底上的單個(gè)掃描曝光視場(chǎng)進(jìn)行掃描測(cè)量，同時(shí)干涉測(cè)量裝置測(cè)量基底承載臺(tái)位置信息。
[0076]接著，執(zhí)行步驟S32，根據(jù)單個(gè)掃描曝光視場(chǎng)的掃描測(cè)量，記錄當(dāng)前掃描曝光視場(chǎng)中對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器探測(cè)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息(Xj，Yj)和調(diào)焦測(cè)量傳感器探測(cè)的調(diào)焦測(cè)量信息Zi以及干涉測(cè)量裝置測(cè)量的基底承載臺(tái)位置信息。
[0077]在本實(shí)施例中，請(qǐng)參照?qǐng)D9，其為使用本發(fā)明中的曝光裝置在一掃描曝光視場(chǎng)進(jìn)行掃描測(cè)量的示意圖。如圖1OA所示，910a、910b、910c、910d均為掃描曝光視場(chǎng)，在基底410上的對(duì)應(yīng)以上的掃描曝光視場(chǎng)分別設(shè)置有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記411a、411b、411c、411d、411e、411f ；412a、412b、412c、412d、412e、412f ;413a、413b、413c、413d、413e、413f ;414a、414b、414c、414d、414e、414f ;415a、415b、415c、415d、415e、415f ;416a、416b、416c、416d、4116e、416f，416A、416B、417c、417d、417e、417f ;418a、418b、418c、418d、418e、418f。
[0078]請(qǐng)參照?qǐng)D9A及圖9B，其中圖9A為使用本發(fā)明中的曝光裝置進(jìn)行調(diào)焦測(cè)量時(shí)的示意圖，圖9B為使用本發(fā)明中的曝光裝置進(jìn)彳丁對(duì)準(zhǔn)測(cè)量時(shí)的TK意圖。如圖1OB及圖9B所7K,本實(shí)施例以掃描曝光視場(chǎng)910a為例，基底承載臺(tái)沿著第二方向(本實(shí)施例中指Y軸方向)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)630a、630b、630c開始進(jìn)入掃描曝光視場(chǎng)910a時(shí)，開始記錄基底承載臺(tái)的位置及掃描曝光視場(chǎng)910a內(nèi)的實(shí)時(shí)的調(diào)焦測(cè)量信息Zi，本實(shí)施例中，調(diào)焦測(cè)量信息依次為Za、Zb, Zc, Zd、Ze、Zf,由于每個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器都有一個(gè)與其對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器，并且每個(gè)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器與其所對(duì)應(yīng)的調(diào)焦測(cè)量傳感器在第一方向上的坐標(biāo)相同，對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的X軸坐標(biāo)與其所跟隨的調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的第一方向坐標(biāo)相同，因此基底承載臺(tái)運(yùn)動(dòng)的過程中，當(dāng)前掃描曝光視場(chǎng)中的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記會(huì)先后落入調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)的視場(chǎng)范圍，此時(shí)可以獲知每個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的高度值，即對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的調(diào)焦測(cè)量信息。當(dāng)所有調(diào)焦測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)均不能完整的落在基底410上時(shí)，對(duì)當(dāng)前的掃描曝光視場(chǎng)的調(diào)焦測(cè)量結(jié)束，對(duì)基底410上的其余未進(jìn)行掃描測(cè)量的掃描曝光視場(chǎng)進(jìn)行掃描測(cè)量。
[0079]請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D9A及圖9B，如圖9B所示，當(dāng)?shù)贗列的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記411a、411b、411c、411d、411e、411f位于對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)530a、530b、530c、530d、530e、530f的視場(chǎng)范圍內(nèi)時(shí)，基底承載臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)，開始進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量，獲得相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息(Xj，Yj)，本實(shí)施例中相對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息依次為(Xal，Yal)、(Xbl1Ybl), (Xcl，Ycl)、(Xdl1Ydl),(XeI, Yel)、(Xf 1，Yf I);第I列的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量結(jié)束后，基底承載臺(tái)繼續(xù)沿Y軸方向自右向左運(yùn)動(dòng)。同理，在第2列的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記412a、412b、412c、412d、412e、412f位于對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器的測(cè)量點(diǎn)530a、530b、530c、530d、530e、530f的視場(chǎng)范圍內(nèi)時(shí)，基底承載臺(tái)停止運(yùn)動(dòng)，開始進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量，獲得相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息(Xj，Yj)，本實(shí)施例中相對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息依次為(Xa2Ya2)、(Xb2, Yb2)、(Xc2, Yc2)、(Xd2, Yd2)、(Xe2, Ye2)、(Xf 2，Yf 2)。同理對(duì)基底410上的其余未進(jìn)行掃描測(cè)量的掃描曝光視場(chǎng)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量，并記錄相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息。
[0080]接著，執(zhí)行步驟S33，根據(jù)記錄的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息(Xj，Yj)和調(diào)焦測(cè)量信息Zi以及基底承載臺(tái)位置信息，計(jì)算對(duì)準(zhǔn)測(cè)量傳感器在X軸的離焦傾斜誤差△ X或者Y軸的離焦傾斜誤差ΔΥ。
[0081]請(qǐng)參照?qǐng)D1，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)傳感器的測(cè)量光軸553存在傾斜量φ和基底410存在翹曲時(shí)，步驟S32中所測(cè)量的對(duì)準(zhǔn)測(cè)量信息就存在離焦傾斜誤差，本發(fā)明中降低離焦傾斜誤差所采用的方法是將離焦傾斜誤差求出來，并進(jìn)行補(bǔ)償。
[0082]具體的,請(qǐng)參照?qǐng)D6,其是圖5中實(shí)現(xiàn)步驟S33的具體流程示意圖。如圖6所示,步驟33是通過如下步驟來實(shí)現(xiàn)的:
[0083]首先，執(zhí)行步驟