Δ Ζ), Φ y = -l*artan ( Δ XO/ Δ Ζ)。
[0040]在本發(fā)明所提供的曝光裝置及離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法中，通過在每個對準(zhǔn)測量傳感器都設(shè)置有一個與其對應(yīng)的調(diào)焦測量傳感器，并且每個對準(zhǔn)測量傳感器與其所對應(yīng)的調(diào)焦測量傳感器在第一方向上的坐標(biāo)相同，使得對準(zhǔn)測量傳感器與調(diào)焦測量傳感器兩者位于同一條直線上，此時調(diào)焦測量信息與對準(zhǔn)測量信息可共同表征對準(zhǔn)標(biāo)記，以便對對準(zhǔn)測量信息存在誤差時進(jìn)行修正，完成離焦傾斜誤差的補(bǔ)償，極大的提高了對準(zhǔn)精度，提高產(chǎn)品良率。
【附圖說明】
[0041]圖1是離焦傾斜誤差的原理示意圖；
[0042]圖2是本發(fā)明一實施例中的曝光裝置的示意圖；
[0043]圖3是本發(fā)明的曝光裝置中對準(zhǔn)測量傳感器的測量原理示意圖；
[0044]圖4是本發(fā)明的曝光裝置中調(diào)焦測量傳感器的測量原理示意圖；
[0045]圖5是本發(fā)明的離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法的流程圖；
[0046]圖6是圖5中實現(xiàn)步驟S33的具體流程示意圖；
[0047]圖6A是圖6中實現(xiàn)步驟S330的具體流程示意圖；
[0048]圖6B是圖6中實現(xiàn)步驟S331的具體流程示意圖；
[0049]圖7是本發(fā)明一實施例中基底上對準(zhǔn)標(biāo)記及掃描曝光視場的分布示意圖；
[0050]圖8是本發(fā)明中對準(zhǔn)測量傳感器的測量點和調(diào)焦測量傳感器的測量點的分布示意圖；
[0051]圖9是使用本發(fā)明中的曝光裝置在一掃描曝光視場進(jìn)行掃描測量的示意圖；
[0052]圖9A是使用本發(fā)明中的曝光裝置進(jìn)行調(diào)焦測量時的示意圖；
[0053]圖9B是使用本發(fā)明中的曝光裝置進(jìn)行對準(zhǔn)測量時的示意圖；
[0054]圖10是確定對準(zhǔn)測量最佳測量平面及固有偏差Λ ZO的示意圖；
[0055]圖11是對準(zhǔn)傳感器的對準(zhǔn)測量光軸傾斜時進(jìn)行離線測校的原理示意圖；
[0056]圖12是對準(zhǔn)測量傳感器的對準(zhǔn)測量光軸偏離X軸時，進(jìn)行離焦傾斜誤差補(bǔ)償?shù)氖疽鈭D；
[0057]圖13是對準(zhǔn)測量傳感器的對準(zhǔn)測量光軸偏離Y軸時，進(jìn)行離焦傾斜誤差補(bǔ)償?shù)氖疽鈭D；
[0058]圖14是本發(fā)明中的曝光裝置設(shè)計的曝光流程圖。
[0059]其中，圖1-圖14中:
[0060]照明系統(tǒng)-100 ;掩模承載臺-200 ;掩模-210 ;投影光學(xué)系統(tǒng)_300 ;投影物鏡陣列-300a、300b、300c、300d、300e、300f ;物鏡的曝光視場 _310a、310b、310c、310d、310e、310f ;掃描曝光視場-910a、910b、910c、910d ;基底承載臺-400 ;基底-410 ;對準(zhǔn)標(biāo)記-411、411a、411b、411c、411d、411e、411f、412a、412b、412c、412d、412e、412f、413a、413b、413c、413d、413e、413f、414a、414b、414c、414d、414e、414f、415a、415b、415c、415d、415e、415f、416a、416b、416c、416d、4116e、416f，416A、416B、417c、417d、417e、417f、418a、418b、418c、418d、418e、418f ;對準(zhǔn)基準(zhǔn)板-420 ;基準(zhǔn)板對準(zhǔn)標(biāo)記-421 ;對準(zhǔn)測量傳感器-500a,500b、500c、500d、500e、500f ；對準(zhǔn)測量傳感器的測量點-530、530a、530b、530c、530d、530e、530f ;調(diào)焦測量傳感器-600a、600b、600c、600d、600e、600f ;調(diào)焦測量傳感器的測量點-630、630a、630b、630c、630d、630e、630f ;對準(zhǔn)傳感器的測量光軸-553 ;調(diào)焦傳感器的測量光軸-653 ;最佳對準(zhǔn)測量傳感器的測量點-551 ;對準(zhǔn)測量傳感器的最佳測量平面-550 ；調(diào)焦測量傳感器的零平面-650 ;寬帶光源-520,620 ;照明鏡組_521，621 ;分束棱鏡-522 ；成像前組-523 ;照明后組-524 ;圖像傳感器-525,627 ;投影標(biāo)記-622 ;第一反射鏡-623 ；投影成像鏡組-624 ;探測成像鏡組-625 ;第二反射鏡-626。
【具體實施方式】
[0061]經(jīng)過試驗研究，對于離焦量傾斜誤差產(chǎn)生的原因主要與離焦量和進(jìn)行對準(zhǔn)測量的對準(zhǔn)測量傳感器的測量光軸的傾斜角有關(guān)。具體請參照圖1，其為離焦傾斜誤差的原理示意圖。如圖1所示，553為對準(zhǔn)測量傳感器的測量光軸，550為對準(zhǔn)測量傳感器的最佳測量平面，415表征基底的表面存在翹曲時的狀態(tài)，對準(zhǔn)測量的測量點就由最佳對準(zhǔn)測量傳感器的測量點551的位置變成了對準(zhǔn)測量傳感器的測量點530的位置，對準(zhǔn)測量傳感器的測量點530和最佳對準(zhǔn)測量傳感器的測量點551之間存在一個高度差，所述高度差即對準(zhǔn)測量傳感器的最佳測量平面的離焦量△ Zl，當(dāng)對準(zhǔn)傳感器的測量光軸553存在傾斜量Φ時，就會導(dǎo)致對準(zhǔn)測量存在一個X軸的離焦傾斜誤差Δ X或者Y軸的離焦傾斜誤差Λ Y，其中Λ X= AZl*tan(C>)或者Λ Y =Λ Zl*tan(C>)。由上式,我們可以清楚的知道離焦量傾斜誤差的影響因素為:對準(zhǔn)測量傳感器的最佳測量平面的離焦量△ Zl和對準(zhǔn)測量傳感器的對準(zhǔn)測量光軸553的傾斜量Φ，因此只要將兩個影響離焦量傾斜誤差的因素中的一個變?yōu)榱悖纯蓪⒔沽績A斜誤差降低至零。通常有兩種方法:第一種，通過嚴(yán)格控制對準(zhǔn)傳感器的對準(zhǔn)測量光軸的傾斜量，但是這種方法這勢必會提高對準(zhǔn)傳感器的開發(fā)和制造成本；第二種，就是嚴(yán)格控制基底承載臺的平整度，從而控制好基底的表面的平整度，但是對于這種方式，會提高基底承載臺的開發(fā)和制造成本，同時對將來預(yù)期的柔性基底不會有很好的適應(yīng)性。
[0062]由上述對于離焦傾斜誤差的相關(guān)研究知識為出發(fā)點，本發(fā)明基于影響離焦傾斜誤差的兩個因素:對準(zhǔn)測量傳感器的最佳測量平面的離焦量ΛΖ1和對準(zhǔn)測量傳感器的對準(zhǔn)測量光軸的傾斜量Φ為出發(fā)點，提出了一種曝光裝置及離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法，以提高對準(zhǔn)精度，滿足半導(dǎo)體行業(yè)中生產(chǎn)需求的需要。
[0063]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明提出的曝光裝置及離焦傾斜誤差補(bǔ)償方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0064]請參考圖2，其為本發(fā)明一實施例中的曝光裝置的示意圖，如圖2所示，所述曝光裝置，包括掩模承載臺200、投影物鏡陣列300以及基底承載臺400，還包括:若干對準(zhǔn)測量傳感器500a、500b、500c、500d、500e、500f，沿第一方向排列，用于探測基底上的對準(zhǔn)標(biāo)記來獲取基底的對準(zhǔn)測量信息；若干調(diào)焦測量傳感器600a、600b、600c、600d、600e、600f，用于探測基底的調(diào)焦測量信息，每個對準(zhǔn)測量傳感器都有一個與其對應(yīng)的調(diào)焦測量傳感器，并且每個對準(zhǔn)測量傳感器與其所對應(yīng)的調(diào)焦測量傳感器在第一方向上的坐標(biāo)相同。此外，所述曝光裝置還包括用于曝光的照明系統(tǒng)100。
[0065]請參照圖3，其為本發(fā)明的曝光裝置中對準(zhǔn)測量傳感器的測量原理示意圖。如圖3所示，所述對準(zhǔn)測量傳感器采用寬帶光源520，通過照明鏡組521和分束棱鏡522、成像前組523照明對準(zhǔn)標(biāo)記411，測量光經(jīng)對準(zhǔn)標(biāo)記411反射后，再經(jīng)過成像前組523、分束棱鏡522、以及照明后組524，將對準(zhǔn)標(biāo)記411成像到圖像傳感器525上，圖像傳感器525輸出的圖像經(jīng)過圖像處理之后，即可獲得當(dāng)前對準(zhǔn)標(biāo)記411的對準(zhǔn)位置。本實施例所述的對準(zhǔn)測量傳感器采用的是典型的基于機(jī)器視覺的對準(zhǔn)測量技術(shù)。
[0066]請參照圖4，其為本發(fā)明的曝光裝置中調(diào)焦測量傳感器的測量原理示意圖。如圖4所示，所述調(diào)焦測量傳感器采用寬帶光源620，通過照明鏡組621照明投影標(biāo)記622，繼而通過第一反射鏡623和投影成像鏡組624將投影標(biāo)記622成像在基底表面。測量光經(jīng)基底反射之后，通過探測成像鏡組625和第二反射鏡626，將投影標(biāo)記622的像成像在圖像傳感器627上，通過圖像處理獲得當(dāng)前基底的離焦信息。本實施例所述的調(diào)焦測量傳感器采用的是典型的三角測量原理。
[0067]進(jìn)一步地，所述投影物鏡陣列分布于所述調(diào)焦測量傳感器及所述對準(zhǔn)測量傳感器周圍。具體為投影物鏡陣列中的每個投影物鏡分別對