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曝光描繪裝置、曝光描繪系統(tǒng)、程序及曝光描繪方法_5

文檔序號:8344557閱讀:來源:國知局
繪片數信息所表示的描繪片數的被曝光基板C的曝光描繪處理完成的情況下,系統(tǒng)控制部40判定為執(zhí)行第一面作業(yè)完成。
[0118]在步驟S217中為否定判定的情況下,返回上述步驟S209,而在為肯定判定的情況下,結束本第一作業(yè)執(zhí)行處理程序。
[0119]本實施方式所涉及的第二曝光描繪裝置3在從第一曝光描繪裝置2接收執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63時,基于曝光條件信息63和從控制裝置5接收到的作業(yè)信息60B,進行向被曝光基板C的第二面描繪圖像的第二作業(yè)執(zhí)行處理。
[0120]接著,參照圖12,說明執(zhí)行本實施方式所涉及的第二作業(yè)執(zhí)行處理時的第二曝光描繪裝置3的作用。另外,圖12是表示此時通過第二曝光描繪裝置3的系統(tǒng)控制部40執(zhí)行的第二作業(yè)執(zhí)行處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預先存儲于系統(tǒng)控制部40所具備的ROM的預定區(qū)域。另外,執(zhí)行該程序的時刻并不局限于接收到執(zhí)行對象的作業(yè)的作業(yè)識別信息的時刻,也可以是通由使用者經由輸入裝置44輸入了預先確定的執(zhí)行指示的時刻等。
[0121]首先,在步驟S301中,判定在存儲于作業(yè)存儲部41的作業(yè)信息60B中,是否存在多個具有與接收到的執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63相同的曝光條件信息63的作業(yè)信息 60B。
[0122]在步驟S301中為肯定判定的情況下,向步驟S303轉移,進行將用于對使用者的作業(yè)的選擇進行輔助的作業(yè)選擇畫面76顯示于顯示裝置43的控制。如圖13所示,本實施方式所涉及的作業(yè)選擇畫面76具有選擇作業(yè)存儲部41所存儲的作業(yè)信息60B中的任一個的選擇按鈕77以及不選擇任一作業(yè)的不選擇按鈕78。使用者使用輸入裝置44來指定某個選擇按鈕77或不選擇按鈕78。
[0123]在接下來的步驟S304中,待機至某個選擇按鈕77或不選擇按鈕78被選擇為止。
[0124]在接下來的步驟S305中,判定是否選擇了某個作業(yè)。此時,系統(tǒng)控制部40在某個選擇按鈕77被選擇的情況下,判定為選擇了某個作業(yè)(肯定判定),在不選擇按鈕78被選擇的情況下,判定為任意的作業(yè)都未選擇(否定判定)。
[0125]在步驟S305中為肯定判定的情況下,將選擇的作業(yè)設為作為執(zhí)行對象的作業(yè)(以下,稱為“執(zhí)行第二面作業(yè)”。),向后述的步驟S309轉移。另一方面,在步驟S305中為否定判定的情況下,向步驟S317轉移,將表示未選擇作業(yè)的錯誤信息向控制裝置5發(fā)送,結束本第二作業(yè)執(zhí)行處理程序。對此,控制裝置5進行將接收到的錯誤信息顯示于顯示部52的控制。
[0126]另一方面,在步驟S301中為否定判定的情況下,向步驟S307轉移。
[0127]在步驟S307中,判定作業(yè)存儲部41所存儲的作業(yè)信息60B中,表示具有與接收到的執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63相同的曝光條件信息63的第二面的作業(yè)的作業(yè)信息60B是否僅存在一個。
[0128]在步驟S307中為否定判定的情況下,向步驟S317轉移,將表示作為執(zhí)行對象的作業(yè)不存在的錯誤信息向控制裝置5發(fā)送,結束本第二作業(yè)執(zhí)行處理程序。對此,控制裝置5進行將接收到的錯誤信息顯示于顯示部52的控制。
[0129]另一方面,在步驟S307中為肯定判定的情況下,將通過上述步驟S307的處理而判定為存在的作業(yè)信息60B作為執(zhí)行第二面作業(yè),向步驟S309轉移。另外,此時,也可以將通過上述步驟S307的處理而判定為存在的作業(yè)信息60B顯示于顯示裝置43,并受理由該作業(yè)信息60B表示的作業(yè)的執(zhí)行指示的輸入。這種情況下,在受理了執(zhí)行指示的輸入之后,向步驟S309轉移。
[0130]在步驟S309中,從執(zhí)行第二面作業(yè)的作業(yè)信息60B取得向被曝光基板C的第二面描繪的圖像的圖像信息62。另外,在本實施方式中,當取得圖像信息62時,取得存儲于自身的作業(yè)存儲部41的圖像信息(作業(yè)信息60B的圖像信息62),但并不限定于此。S卩,也可以是,預先向作業(yè)信息60B賦予上述圖像識別信息,基于該圖像識別信息,從控制裝置5或外部的存儲裝置取得描繪的圖像的圖像信息。
[0131]在接下來的步驟S311中,在作為執(zhí)行對象的作業(yè)即執(zhí)行第二面作業(yè)中,決定向被曝光基板C描繪圖像時的曝光條件。此時,系統(tǒng)控制部40通過與上述步驟S205同樣的方法,基于執(zhí)行第二面作業(yè)的作業(yè)信息60B中的基板尺寸信息、描繪片數信息、標記信息及敏化材料種類信息來決定曝光條件。
[0132]作為一例,如圖7A及圖7B所示,作業(yè)A和作業(yè)A’具有相同的曝光條件信息63,且作業(yè)B和作業(yè)B’具有相同的曝光條件信息63。而且,作為一例,如圖10所示,在第一曝光描繪裝置2中,存儲描繪與第一面對應的圖像的作業(yè)A的作業(yè)信息60A、作業(yè)B的作業(yè)信息60A等。進而,在第二曝光描繪裝置3中,存儲描繪與第二面對應的圖像的作業(yè)A’的作業(yè)信息60B、作業(yè)B’的作業(yè)信息60B。在該狀態(tài)下,在第一曝光描繪裝置2中執(zhí)行了作業(yè)A的情況下,在第二曝光描繪裝置3中,將具有與作業(yè)A相同的曝光條件信息63的作業(yè)A’作為執(zhí)行對象。
[0133]在接下來的步驟S313中,與上述的第一作業(yè)執(zhí)行處理程序的步驟S207的處理同樣地,根據決定的曝光條件,開始在被曝光基板C將光束曝光而描繪圖像的曝光描繪處理。
[0134]在接下來的步驟S315中,判定是否發(fā)生了預先確定的錯誤。此時,系統(tǒng)控制部40在由于被曝光基板C的變形、定位不良、光源單元17、圖像處理單元19和曝光部16等的進行曝光描繪時使用的部位的故障等而使曝光描繪處理在中途停止的情況等,判定為發(fā)生了錯誤。在步驟S315中為肯定判定的情況下向步驟S317轉移,將表示發(fā)生了錯誤的錯誤信息向控制裝置5發(fā)送,結束本第二作業(yè)執(zhí)行處理程序。對此,控制裝置5進行將接收到的錯誤信息顯示于顯示部52的控制。
[0135]另一方面,在步驟S315中為肯定判定的情況下向步驟S319轉移。
[0136]在步驟S319中,判定對被曝光基板C的曝光描繪處理是否完成。在步驟S319中為否定判定的情況下,返回上述步驟S315,而在為肯定判定的情況下,向步驟S321轉移。
[0137]在接下來的步驟S321中,判定執(zhí)行第二面作業(yè)是否完成。此時,在對曝光條件信息63的描繪片數信息所表示的描繪片數的被曝光基板C的曝光描繪處理完成的情況下,系統(tǒng)控制部40判定為執(zhí)行第二面作業(yè)完成。在步驟S321中為否定判定的情況下向步驟S323轉移。
[0138]在步驟S323中,待機至接收用于進行執(zhí)行第二面作業(yè)中的對接下來的被曝光基板C的圖像的描繪的曝光條件信息為止。
[0139]在接下來的步驟S325中,判定接收到的曝光條件信息是否與執(zhí)行第二面作業(yè)的作業(yè)信息60B的曝光條件信息相同。在步驟S325中為肯定判定的情況下,繼續(xù)執(zhí)行第二面作業(yè)的執(zhí)行,向上述步驟S315轉移。而在步驟S325中為否定判定的情況下,向步驟S317轉移,將表示接收到與執(zhí)行第二面作業(yè)的作業(yè)信息60B的曝光條件信息不同的曝光條件信息的錯誤信息向控制裝置5發(fā)送,結束本第一作業(yè)執(zhí)行處理程序。
[0140]另一方面,在步驟S321中為肯定判定的情況下,結束本第一作業(yè)執(zhí)行處理程序。
[0141][第二實施方式]
[0142]以下,利用附圖來詳細地說明第二實施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I。
[0143]在上述第一實施方式中,從第一曝光描繪裝置2向第二曝光描繪裝置3發(fā)送表示執(zhí)行第一面作業(yè)的信息,在第二曝光描繪裝置3中選擇并執(zhí)行對應的作業(yè)。而在第二實施方式中,從第一曝光描繪裝置2向控制裝置5發(fā)送表示執(zhí)行第一面作業(yè)的信息,在控制裝置5中選擇對應的作業(yè),并將選擇的作業(yè)向第二曝光描繪裝置3發(fā)送。
[0144]另外,第二實施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I的結構與第一實施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I相同,因此這里省略說明。
[0145]接著,參照圖14,說明執(zhí)行本實施方式所涉及的作業(yè)設定處理時的控制裝置5的作用。另外,圖14是表示此時通過控制裝置5的控制部50執(zhí)行的作業(yè)設定處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預先存儲于存儲部51的ROM的預定區(qū)域。
[0146]首先,在步驟S401至S405中,進行與第一實施方式的步驟SlOl至S105相同的處理。
[0147]在接下來的步驟S407中,將生成的第一面的作業(yè)信息60A經由有線線纜8a向第一曝光描繪裝置2發(fā)送,結束本作業(yè)設定處理程序。第一曝光描繪裝置2將接收到的作業(yè)信息60A存儲于作業(yè)存儲部41。
[0148]第一曝光描繪裝置2在存儲作業(yè)信息60A時,根據預先確定的使用者操作,基于作業(yè)信息60A而進行向被曝光基板C的第一面描繪圖像的第一作業(yè)執(zhí)行處理。
[0149]接著,參照圖15,說明執(zhí)行本實施方式所涉及的第一作業(yè)執(zhí)行處理時的第一曝光描繪裝置2的作用。另外,圖15是表示此時通過第一曝光描繪裝置2的系統(tǒng)控制部40執(zhí)行的第一作業(yè)執(zhí)行處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預先存儲于系統(tǒng)控制部40所具備的ROM的預定區(qū)域。另外,執(zhí)行該程序的時刻并不局限于按照預先確定的使用者操作的時刻,也可以是接收到作業(yè)信息60A的時刻等。
[0150]在步驟S500至S513中,進行與第一實施方式的步驟S201至S213同樣的處理。
[0151]在步驟S515中,將執(zhí)行第一面作業(yè)的作業(yè)信息60A中的曝光條件信息63向控制裝置5發(fā)送。
[0152]在接下來的步驟S517中,進行與第一實施方式的步驟S217同樣的處理,結束本第一作業(yè)執(zhí)行處理程序。
[0153]本實施方式所涉及的控制裝置5在從第一曝光描繪裝置2接收作業(yè)信息60A的曝光條件信息時,進行從存儲部51所存儲的作業(yè)信息60B中選擇具有與接收到的曝光條件信息相同的曝光條件信息的作業(yè)信息60B的作業(yè)選擇處理。
[0154]接著,參照圖16,說明執(zhí)行本實施方式所涉及的作業(yè)選擇處理時的控制裝置5的作用。另外,圖16是表示此時通過控制裝置5的控制部50執(zhí)行的作業(yè)選擇處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預先存儲于存儲部51的ROM的預定區(qū)域。另外,執(zhí)行該程序的時刻并不局限于接收到曝光條件信息的時刻,也可以是由使用者經由輸入部53輸入了預先確定的執(zhí)行指示的時刻等。
[0155]首先,在步驟S601中,判定在存儲部51所存儲的第二面的作業(yè)信息60B中,是否存在具有與接收到的執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63相同的曝光條件信息63的第二面的作業(yè)信息60B。
[0156]在步驟S601中為肯定判定的情況下向步驟S605轉移,將具有與執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63相同的曝光條件信息63的第二面的作業(yè)信息60B經由有線線纜8a向第二曝光描繪裝置3發(fā)送。第二曝光描繪裝置3將接收到的第二面的作業(yè)信息60B存儲
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