軌14自由地移動，通過由電動機等構成的驅動機構(后述的臺驅動部42)進行驅動而移動。臺10與基臺12的移動連動地沿導軌14移動。
[0067]另外，以下，將臺10移動的方向確定為Y方向，將與該Y方向在水平面內正交的方向確定為X方向，將與Y方向在豎直面內正交的方向確定為Z方向。
[0068]在基體11的上表面設置有以橫跨2根導軌14的方式豎立設置的門型的門體15。載置于臺10的被曝光基板C以沿著導軌14出入門體15的開口部的方式移動。在門體15的開口部的上部安裝有朝向該開口部對光束進行曝光的曝光部16。通過該曝光部16，在臺10沿著導軌14移動并位于上述開口部的情況下，在載置于臺10的被曝光基板C的上表面對光束進行曝光。
[0069]本實施方式所涉及的曝光部16構成為包括多個(在本實施方式中為16個)曝光頭16a。曝光頭16a分別在各曝光部16呈矩陣狀排列。而且，在曝光部16各自連接有從后述的光源單元17引出的光纖18和從后述的圖像處理單元19引出的信號線纜20。
[0070]曝光頭16a分別具有作為反射型的空間光調制元件的數(shù)字微反射鏡器件(DMD)。曝光頭16a基于從圖像處理單元19輸入的圖像信息來控制DMD，從而對來自光源單元17的光束進行調制。第一曝光描繪裝置2通過將該調制后的光束向被曝光基板C照射，而進行對被曝光基板C的曝光。另外，空間光調制元件不限定為反射型，也可以是液晶等的透光型的空間光調制元件。
[0071]如圖3A所示，由曝光頭16a曝光的區(qū)域即圖像區(qū)域Pl是一方的邊相對于臺10的移動方向(Y方向)以預先確定的傾斜角傾斜的矩形形狀。另外，在圖3A中，僅示出本實施方式所涉及的多個曝光頭16a中的一部分。而且，臺10在門體15的開口部移動時，如果通過曝光頭16a在被曝光基板C對光束進行曝光，則如圖3B所示，伴隨著臺10的移動而在被曝光基板C上按照每個曝光頭16a形成帶狀的曝光完成區(qū)域P2。呈矩陣狀排列的曝光頭16a的每一個沿X方向各自錯開圖像區(qū)域Pl的長邊的長度的自然數(shù)倍(在本實施方式中為I倍)的距離而配置。并且，曝光完成區(qū)域P2各自與相鄰的曝光完成區(qū)域P2局部重疊地形成。
[0072]如圖2所示，在基體11的上表面還設置有以橫跨2根導軌14的方式豎立設置的門型的門體22。載置于臺10的被曝光基板C以沿著導軌14出入門體22的開口部的方式移動。
[0073]在門體22的開口部的上部安裝有用于對開口部進行攝影的一個或多個(在本實施方式中為3個)攝影部23。攝影部23是內置有單次的發(fā)光時間極短的閃光燈的CCD照相機等。而且，在門體22的開口部的上部，在水平面內沿著與臺10的移動方向(Y方向)垂直的方向(X方向)設置有軌道23a，攝影部23分別設置成由軌道23a引導而能夠移動。在臺10沿著導軌14移動而位于上述開口部的情況下，通過該攝影部23對載置于臺10的被曝光基板C的上表面進行攝影。
[0074]如圖1及圖2所示，第一曝光描繪裝置2具備將從外部送入的被曝光基板C傳送至第一曝光描繪裝置2的預定位置的第一傳送部6、將被曝光基板C從第一曝光描繪裝置2傳送至翻轉裝置4的預定位置的第二傳送部7。同樣地，第二曝光描繪裝置3具備將被曝光基板C從翻轉裝置4傳送至第二曝光描繪裝置3的預定位置的第一傳送部6、將被曝光基板C向第二曝光描繪裝置3的外部傳送的第二傳送部7。
[0075]第一傳送部6及第二傳送部7具有多個旋轉輥和使該旋轉輥旋轉的驅動電動機。上述多個旋轉輥各自平行地鋪設，在旋轉輥的一端安裝有接受由帶或金屬絲線傳遞的旋轉力的鏈輪或滑輪。作為傳遞使旋轉輥旋轉的驅動電動機的旋轉力的單元，除了帶或金屬絲線以外，還可以采用由圓筒狀的磁鐵進行的傳遞方法。
[0076]另外，如圖2所示，第一曝光描繪裝置2具備將通過第一傳送部6傳送至預定位置的被曝光基板C從該預定位置傳送至臺10的自動運載手(auto carrier hand，以下，稱為AC手)24。AC手24形成為平板狀，且設置成能夠沿X方向及Z方向移動。在AC手24的下表面設置有吸入空氣的多個吸入孔25。在AC手24的下表面移動到與被曝光基板C的上表面接觸的位置時，AC手24利用吸入孔25吸入AC手24及被曝光基板C之間的空氣，由此使被曝光基板C真空吸附于AC手24的下表面而進行吸附保持。而且，在AC手24的下表面設置有沿Z方向移動自如的推壓部26，當AC手24在吸附保持有被曝光基板C的狀態(tài)下移動至臺10的上表面時，該推壓部26將被曝光基板C朝向下方推出而按壓于臺10。
[0077]第一曝光描繪裝置2的AC手24對傳送至第一傳送部6的未曝光的被曝光基板C進行吸附保持而使其向上方移動，并載置在臺10的上表面。而且，第一曝光描繪裝置2的AC手24通過對載置在臺10的上表面上的第一面曝光完成的被曝光基板C進行吸附保持而使其向上方移動，從而使被曝光基板C移動至第二傳送部7。移動至第二傳送部7的第一面曝光完成的被曝光基板C由第二傳送部7向第一曝光描繪裝置2的外部送出。
[0078]并且，第二曝光描繪裝置3的AC手24對傳送至第一傳送部6的第一面曝光完成的被曝光基板C進行吸附保持而向上方移動，將被曝光基板C載置在臺10的上表面。并且，第二曝光描繪裝置3的AC手24通過對載置在臺10的上表面上的第一面及第二面曝光完成的被曝光基板C進行吸附保持而使其向上方移動，從而使被曝光基板C移動至第二傳送部7。移動至第二傳送部7的第一面及第二面曝光完成的被曝光基板C由第二傳送部7向曝光描繪系統(tǒng)I的外部送出。
[0079]接下來，對本實施方式所涉及的翻轉裝置4的結構進行說明。
[0080]如圖4所示，翻轉裝置4具備轉動自如地軸支撐于轉動軸L的板狀的側框架30。側框架30在內部保持有被曝光基板C的狀態(tài)下旋轉180度，從而使被曝光基板C的正反翻轉。
[0081]另外，如圖4所示，在側框架30所具有的側面中的第一曝光描繪裝置2所處的一側的側面設置有將被曝光基板C向側框架30的內部送入的送入口 31。進而，在側框架30的內部設置有由電動機33驅動的多個輥對34。輥對34將容納在側框架30的內部的被曝光基板C在夾持的狀態(tài)下傳送。被曝光基板C由輥對34經(jīng)由送入口 31傳送至側框架30的內部，并且通過側框架30的旋轉而將正反翻轉，由輥對34經(jīng)由送入口 31向側框架30的外部傳送。另外，在結束被曝光基板C的送出時，側框架30為了將下一被曝光基板C向內部送入而再次轉動180度。
[0082]接下來，說明本實施方式所涉及的第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3的電力系統(tǒng)的結構。另外，由于第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3具有相同的電力系統(tǒng)的結構，在此，對第一曝光描繪裝置2進行說明，省略對于第二曝光描繪裝置3的說明。
[0083]如圖5所示，在第一曝光描繪裝置2設置有分別與裝置各部分電連接的系統(tǒng)控制部40，通過該系統(tǒng)控制部40總體上地控制第一曝光描繪裝置2的各部分。而且，第一曝光描繪裝置2具有作業(yè)存儲部41、臺驅動部42、顯示裝置43、輸入裝置44、攝影驅動部46及外部輸入輸出部48。
[0084]系統(tǒng)控制部40 具有 CPU (Central Processing Unit)、RAM (RandomAccessMemory)、ROM (Read Only Memory) Jk.HDD (Hard Disk Drive) o 而且，通過上述 CPU，系統(tǒng)控制部40在與臺10的移動對應的時刻使光束從光源單元17射出，并且通過圖像處理單元19使對應的圖像信息輸出。系統(tǒng)控制部40以上述方式控制曝光頭16a對被曝光基板C的光束的曝光。
[0085]作業(yè)存儲部41具有RAM、非易失性存儲器，存儲對作為執(zhí)行對象的作業(yè)進行表示的作業(yè)信息。本實施方式的作業(yè)是在同一種類的I片或多片被曝光基板C的第一面以同一條件將同一圖像進行曝光描繪，并且在第二面也以同一條件將同一圖像進行曝光描繪的一并進行的曝光處理要求。另外，關于作業(yè)信息的詳情在后文敘述。在本實施方式中，作業(yè)存儲部41將作為執(zhí)行對象的作業(yè)的作業(yè)信息以列表形式存儲，但并不限定于此，也能夠以隊列(queue)形式進行存儲。
[0086]臺驅動部42具有由電動機或液壓泵等構成的驅動機構，通過系統(tǒng)控制部40的控制而對臺10進行驅動。
[0087]顯示裝置43是通過系統(tǒng)控制部40的控制而顯示各種信息的液晶顯示器等顯示機構。
[0088]輸入裝置44是通過使用者操作而輸入各種信息的觸摸傳感器或操作按鈕等的輸入構件。
[0089]攝影驅動部46具有由電動機或液壓泵等構成的驅動機構，通過系統(tǒng)控制部40的控制而對攝影部23進行驅動。
[0090]外部輸入輸出部48在與連接于第一曝光描繪裝置2的包括第二曝光描繪裝置3及控制裝置5的各種信息處理裝置之間進行各種信息的輸入輸出。另外，第二曝光描繪裝置3的外部輸入輸出部48在與連接于第二曝光描繪裝置3的包括第一曝光描繪裝置2及控制裝置5的各種信息處理裝置之間進行各種信息的輸入輸出。
[0091]接下來，說明本實施方式的控制裝置5的電力系統(tǒng)的結構。
[0092]如圖6所示，控制裝置5具備對曝光描繪系統(tǒng)I中的曝光描繪處理進行控制的控制部50。而且，控制裝置5具備存儲部51，該存儲部51具有存儲由控制部50進行的曝光描繪處理所需的程序或各種數(shù)據(jù)的ROM及HDD等。另外，存儲部51也存儲作業(yè)信息、作業(yè)設定處理程序、第一作業(yè)執(zhí)行處理程序、第二作業(yè)執(zhí)行處理程序及第二實施方式的作業(yè)選擇處理程序。
[0093]另外，控制裝置5具備基于控制部50的控制而顯示各種信息的液晶顯示器等顯示部52及通過使用者操作而輸入各種信息的鍵盤或鼠標等輸入部53。進而，控制裝置5具備通信接口 54，該通信接口 54基于控制部50的控制而進行對第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3的各種信息的發(fā)送接收。
[0094]在此，本實施方式所涉及的控制裝置5受理由使用者操作進行的與作業(yè)相關的信息的輸入。而且，控制裝置5在受理了與作業(yè)相關的信息的輸入時，生成與第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3分別對應的作業(yè)信息，并將生成的作業(yè)信息分別向對應的曝光描繪裝置發(fā)送。本實施方式所涉及的第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3在接收到作業(yè)信息時，將接收到的作業(yè)信息存儲于作業(yè)存儲部41，并根據(jù)所存儲的作業(yè)的內容而執(zhí)行對被曝光基板C的曝光描繪處理。此時，本實施方式所涉及的第一曝光描繪裝置2在存儲多個作業(yè)信息的情況下，按照接收到各作業(yè)信息的順序，執(zhí)行由各作業(yè)信息表示的作業(yè)。另外，本實施方式所涉及的第二曝光描繪裝置3依次執(zhí)行與由第一曝光描繪裝置2執(zhí)行的作業(yè)對應的作業(yè)。
[0095]在生成作業(yè)信息時，控制裝