置5分別生成用于使第一曝光描繪裝置2在被曝光基板C的第一面描繪圖像的作業(yè)信息60A及用于使第二曝光描繪裝置3在被曝光基板C的第二面描繪圖像的作業(yè)信息60B。即，即使是與同一被曝光基板C相關(guān)的作業(yè)，由于對第一面及第二面分別通過單獨(dú)的曝光描繪裝置進(jìn)行曝光描繪處理，因此分別單獨(dú)地生成第一面用的作業(yè)信息60A及第二面用的作業(yè)信息60B。
[0096]如圖7A及圖7B所示，作為一例，作業(yè)信息60A、60B是將作業(yè)識別信息61、圖像信息62、曝光條件信息63分別與每個(gè)作業(yè)建立對應(yīng)的信息。另外，作業(yè)識別信息61是用于識別各自的作業(yè)的信息。而且，圖像信息62是表示作為描繪對象的圖像的信息。而且，曝光條件信息63是表示為了描繪與被曝光基板C對應(yīng)的圖像而對光束進(jìn)行曝光時(shí)的曝光條件的信息。本實(shí)施方式所涉及的曝光條件信息63包括表示作為描繪對象的被曝光基板C(以下，稱為“對象基板”)的基板尺寸的基板尺寸信息及表示對象基板的描繪片數(shù)的描繪片數(shù)信息。而且，本實(shí)施方式所涉及的曝光條件信息63包括標(biāo)記信息、及表示對象基板的敏化材料種類的敏化材料種類信息等，該標(biāo)記信息以坐標(biāo)表示設(shè)置有用于決定與對象基板對應(yīng)的圖像的描繪區(qū)域的標(biāo)記時(shí)的該標(biāo)記的配置圖案。然而，曝光條件信息63所包含的信息并不限定于此，只要是表示光束的強(qiáng)度的信息、表示臺10的移動(dòng)速度的信息等在進(jìn)行曝光描繪處理時(shí)所使用的信息即可，可以是任意的信息。
[0097]作業(yè)者在想要使第一曝光描繪裝置2及第二曝光描繪裝置3執(zhí)行作業(yè)的情況下，經(jīng)由輸入部53，將作業(yè)信息60A、60B所包含的各信息向控制裝置5輸入。由此，控制裝置5基于輸入的各信息，進(jìn)行生成第一面用的作業(yè)信息60A及第二面用的作業(yè)信息60B并存儲于存儲部51的作業(yè)設(shè)定處理。
[0098]接著，參照圖8，說明本實(shí)施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I的作用。另外，圖8是表示在經(jīng)由輸入部53輸入了執(zhí)行指示時(shí)通過控制裝置5的控制部50執(zhí)行的作業(yè)設(shè)定處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預(yù)先存儲于存儲部51的ROM的預(yù)定區(qū)域。
[0099]首先，在步驟SlOl中，進(jìn)行使用于對與由使用者進(jìn)行的作業(yè)相關(guān)的信息的輸入進(jìn)行輔助的作業(yè)輸入畫面顯示于顯示部52的控制。如圖9所示，本實(shí)施方式所涉及的作業(yè)輸入畫面70具有選擇是與第一面的作業(yè)相關(guān)的輸入還是與第二面的作業(yè)相關(guān)的輸入的描繪對象面選擇欄71。而且，作業(yè)輸入畫面70具有將表示描繪的圖像的圖像識別信息輸入的圖像輸入欄72。圖像識別信息是包含圖像信息的文件的文件名、表示圖像文件的存儲目的地的URL(Uniform Resource Locator)等。而且，作業(yè)輸入畫面70具有輸入基板種類信息的基板種類輸入欄73，該基板種類信息表示適用于作為輸入對象的作業(yè)的被曝光基板C的基板種類。而且，作業(yè)輸入畫面70具有輸入描繪片數(shù)信息的描繪片數(shù)輸入欄74，該描繪片數(shù)信息表示作為對象的作業(yè)的被曝光基板C的描繪片數(shù)。進(jìn)而，作業(yè)輸入畫面70具有用于指定表示輸入結(jié)束的信息的輸入結(jié)束按鈕75。另外，也可以是，在向各輸入欄輸入各信息時(shí)，在各輸入欄通過列表顯示等來顯示選擇候補(bǔ)，并經(jīng)由輸入部53來選擇所顯示的選擇候補(bǔ)的任一個(gè)。使用者在利用輸入部53在描繪對象面選擇欄71選擇作為描繪對象的面并輸入了與各輸入欄對應(yīng)的信息之后，指定輸入結(jié)束按鈕75。
[0100]因此，在接下來的步驟S103中，待機(jī)至輸入結(jié)束按鈕75被指定為止，從而待機(jī)至與作業(yè)相關(guān)的信息的輸入結(jié)束為止。
[0101]在接下來的步驟S105中，基于由描繪對象面選擇欄71選擇的描繪對象的面及向各輸入欄輸入的各信息來生成作業(yè)信息60A、60B，并將生成的作業(yè)信息60A、60B存儲于存儲部51。此時(shí)，在描繪對象面選擇欄71中選擇了第一面的情況下，控制部50將輸入到圖像輸入欄72的信息所表示的圖像的圖像信息作為圖像信息62，并將輸入到描繪片數(shù)輸入欄74的信息作為描繪片數(shù)信息，生成第一面的作業(yè)信息60A。而且，在作業(yè)信息60A中，根據(jù)輸入到基板種類輸入欄73的信息，來決定基板尺寸信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息。即，在本實(shí)施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I中，按照每個(gè)被曝光基板C的基板種類，將基板尺寸信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息分別建立對應(yīng)地存儲于存儲部51。并且，在本實(shí)施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I中，將與輸入到基板種類輸入欄73的信息所表示的基板種類對應(yīng)的基板尺寸信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息作為作業(yè)信息60A的基板尺寸信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息。
[0102]另外，在描繪對象面選擇欄71中選擇了第二面的情況下，控制部50將輸入到圖像輸入欄72的信息所表示的圖像的圖像信息作為圖像信息62，將輸入到描繪片數(shù)輸入欄74的信息作為描繪片數(shù)信息，而生成第二面的作業(yè)信息60B。而且，控制部50在作業(yè)信息60B中也與作業(yè)信息60A同樣地，決定并應(yīng)用基板尺寸信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息。
[0103]在接下來的步驟S107中，判定在上述步驟S105的處理中生成的作業(yè)信息是否為第一面的作業(yè)信息60A。在步驟S107中為肯定判定的情況下向步驟S109轉(zhuǎn)移，將生成的作業(yè)信息60A經(jīng)由有線線纜8a向第一曝光描繪裝置2發(fā)送。對此，第一曝光描繪裝置2將接收到的作業(yè)信息60A存儲于自身的作業(yè)存儲部41。
[0104]另一方面，在步驟S107中為否定判定時(shí)，將通過上述步驟S105的處理而生成的作業(yè)信息看作第二面的作業(yè)信息60B而向步驟Slll轉(zhuǎn)移。
[0105]在步驟Slll中，將生成的作業(yè)信息60B經(jīng)由有線線纜8a發(fā)送到第二曝光描繪裝置3之后，結(jié)束本作業(yè)設(shè)定處理程序。對此，第二曝光描繪裝置3將接收到的作業(yè)信息60B存儲于自身的作業(yè)存儲部41。
[0106]由此，在本實(shí)施方式所涉及的曝光描繪系統(tǒng)I中，如圖10所示，控制裝置5基于由使用者輸入的信息而生成第一面的作業(yè)信息60A及第二面的作業(yè)信息60B。并且，通過控制裝置5生成的第一面的作業(yè)信息60A按照接收到的順序存儲于第一曝光描繪裝置2的作業(yè)存儲部41，第二面的作業(yè)信息60B按照接收到的順序存儲于第二曝光描繪裝置3的作業(yè)存儲部41。
[0107]當(dāng)?shù)谝黄毓饷枥L裝置2從控制裝置5接收作業(yè)信息60A并進(jìn)行存儲時(shí)，按照預(yù)先確定的使用者操作，使用存儲的作業(yè)信息60A進(jìn)行向被曝光基板C的第一面描繪圖像的第一作業(yè)執(zhí)行處理。
[0108]接著，參照圖11，說明執(zhí)行本實(shí)施方式所涉及的第一作業(yè)執(zhí)行處理時(shí)的第一曝光描繪裝置2的作用。另外，圖11是表示此時(shí)通過第一曝光描繪裝置2的系統(tǒng)控制部40執(zhí)行的第一作業(yè)執(zhí)行處理程序的處理的流程的流程圖。該程序預(yù)先存儲于系統(tǒng)控制部40所具備的ROM的預(yù)定區(qū)域。另外，執(zhí)行該程序的時(shí)刻并不局限于按照預(yù)先確定的使用者操作的時(shí)刻，也可以是接收到作業(yè)信息60A的時(shí)刻。
[0109]首先，在步驟S200中，進(jìn)行使存儲于作業(yè)存儲部41的作業(yè)信息60A顯示于顯示裝置43的控制。此時(shí)，系統(tǒng)控制部40在存儲有多個(gè)作業(yè)信息60A的情況下，進(jìn)行使各作業(yè)信息60A以列表形式顯示的控制。使用者將通過作為執(zhí)行對象的作業(yè)信息60A的描繪片數(shù)信息表示的片數(shù)的被曝光基板C配置在第一曝光描繪裝置2的第一傳送部6的上游側(cè)。并且，使用者經(jīng)由輸入裝置44，對顯示的作業(yè)信息60A進(jìn)行選擇指定，從而輸入由指定的作業(yè)信息60A表示的作業(yè)的執(zhí)行指示。
[0110]在接下來的步驟S201中，待機(jī)至上述作業(yè)的執(zhí)行指示被輸入為止，在接下來的步驟S203中，從與被指示執(zhí)行的作業(yè)(以下，稱為“執(zhí)行第一面作業(yè)”)對應(yīng)的作業(yè)信息60A取得圖像信息62。另外，在本實(shí)施方式中，在取得描繪的圖像的圖像信息62時(shí)，取得存儲于自身的作業(yè)存儲部41的圖像信息(作業(yè)信息60A的圖像信息62)，但并未限定于此。S卩，也可以是，預(yù)先向作業(yè)信息60A賦予上述圖像識別信息，并基于該圖像識別信息從控制裝置5或外部的存儲裝置取得描繪的圖像的圖像信息。
[0111]在接下來的步驟S205中，決定通過執(zhí)行第一面作業(yè)的執(zhí)行而在被曝光基板C描繪圖像時(shí)的曝光條件。此時(shí)，系統(tǒng)控制部40基于執(zhí)行第一面作業(yè)的作業(yè)信息60A中的基板尺寸信息、描繪片數(shù)信息、標(biāo)記信息及敏化材料種類信息來決定曝光條件。在本實(shí)施方式中，首先，系統(tǒng)控制部40通過攝影部23對設(shè)置于被曝光基板C的上述標(biāo)記進(jìn)行攝影，根據(jù)通過攝影得到的圖像來計(jì)測該標(biāo)記的位置。而且，系統(tǒng)控制部40基于計(jì)測到的標(biāo)記的位置來決定描繪圖像的描繪區(qū)域。進(jìn)而，系統(tǒng)控制部40基于決定的描繪區(qū)域的尺寸和形狀，使作為描繪對象的圖像變形。并且，系統(tǒng)控制部40根據(jù)上述敏化材料種類信息所表示的敏化材料種類，來決定曝光的光束的強(qiáng)度、臺10的移動(dòng)速度(或光束的曝光時(shí)間)等。
[0112]在接下來的步驟S207中，根據(jù)決定的曝光條件，開始在被曝光基板C將光束曝光而描繪圖像的曝光描繪處理。在本實(shí)施方式所涉及的曝光描繪處理中，系統(tǒng)控制部40將基于變形的圖像而調(diào)制的光束通過曝光頭16a進(jìn)行曝光，從而將該變形的圖像描繪于被曝光基板C。
[0113]在接下來的步驟S209中，判定預(yù)先確定的錯(cuò)誤是否發(fā)生。此時(shí)，系統(tǒng)控制部40在由于被曝光基板C的變形或定位不良、光源單元17、圖像處理單元19和曝光部16等的進(jìn)行曝光描繪時(shí)使用的部位的故障等而使曝光描繪處理在中途停止的情況等，判定為錯(cuò)誤發(fā)生。在步驟S209中為肯定判定的情況下向步驟S211轉(zhuǎn)移，將表示發(fā)生了錯(cuò)誤的錯(cuò)誤信息向控制裝置5發(fā)送，結(jié)束本第一作業(yè)執(zhí)行處理程序。對此，接收到錯(cuò)誤信息的控制裝置5進(jìn)行使錯(cuò)誤信息顯示于顯示部52的控制。另外，系統(tǒng)控制部40也可以將錯(cuò)誤信息向第二曝光描繪裝置3發(fā)送。對此，接收到錯(cuò)誤信息的第二曝光描繪裝置3進(jìn)行將該錯(cuò)誤信息顯示于顯示裝置43的控制，或刪除與發(fā)生了錯(cuò)誤的執(zhí)行第一面作業(yè)對應(yīng)的作業(yè)的作業(yè)信息60B。
[0114]另一方面，在步驟S209中為肯定判定的情況下，向步驟S213轉(zhuǎn)移。
[0115]在步驟S213中，判定對I片被曝光基板C的曝光描繪處理是否完成。在步驟S213中為否定判定的情況下，返回上述步驟S209，而在步驟S213中為肯定判定的情況下，向步驟S215轉(zhuǎn)移。
[0116]在步驟S215中，將執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63向第二曝光描繪裝置3發(fā)送。另外，在本實(shí)施方式中，從第一曝光描繪裝置2向第二曝光描繪裝置3發(fā)送執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63，但是并不限定于此。即，發(fā)送的信息只要是第二曝光描繪裝置3包含執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63的信息即可，因此可以是例如作業(yè)信息60A其本身。而且，發(fā)送的信息也可以是執(zhí)行第一面作業(yè)的曝光條件信息63所包含的預(yù)先確定的信息(例如僅基板尺寸信息、基板尺寸及標(biāo)記信息等)。
[0117]在接下來的步驟S217中，判定執(zhí)行第一面作業(yè)是否完成。此時(shí)，在對曝光條件信息63的描