正型感光性樹脂組合物、含有使用了其的固化膜的半導(dǎo)體器件的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及正型感光性樹脂組合物、含有使用了該組合物的固化膜的半導(dǎo)體器件 的制造方法。更詳細地說，涉及適用于半導(dǎo)體元件等的表面保護膜、層間絕緣膜、有機場致 發(fā)光元件的絕緣層等的正型感光性樹脂組合物。
【背景技術(shù)】
[0002] 一直以來，耐熱性、電絕緣性等優(yōu)異的聚酰亞胺類樹脂、聚苯并噁唑類樹脂被廣泛 用于半導(dǎo)體元件的表面保護膜或?qū)娱g絕緣膜、有機電解元件的絕緣層、TFT基板的平整膜。 在使聚酰亞胺前體、聚苯并噁唑前體的涂膜在熱的作用脫水閉環(huán)從而獲得耐熱性、機械特 性優(yōu)異的薄膜的情況下，通常需要350°C左右的高溫?zé)伞?br>[0003] 然而，近年來，基于降低對裝置的熱負(fù)荷、使裝置低翹曲化等的要求，需要一種可 以通過在250°C以下（進一步期望為200°C以下）的低溫下的燒成進行固化、并且高靈敏度 且高分辨率的正型感光性材料。
[0004] 作為可低溫固化的樹脂組合物，可舉出使用了閉環(huán)的聚酰亞胺、光酸產(chǎn)生劑、含有 羥甲基的熱交聯(lián)劑的感光性樹脂組合物（專利文獻1)。但是，由于彈性模量高、固化時的收 縮性也高，所以存在翹曲大的問題。
[0005] 此外，關(guān)于使用了導(dǎo)入有脂肪族的聚酰亞胺前體或聚苯并噁唑前體、和光酸產(chǎn)生 劑的感光性樹脂組合物（專利文獻2、3)，雖然可以實現(xiàn)低彈性模量化，但由于伴有由脫水 閉環(huán)導(dǎo)致的膜收縮，所以膜的翹曲大，即使是使用了這些樹脂的感光性樹脂組合物也不能 實現(xiàn)低翹曲。進而，為了實現(xiàn)低翹曲，可舉出一種水溶性感光性組合物，其特征在于，包含平 均分子量為2萬~20萬的多成分體系嵌段共聚聚酰亞胺樹脂、感光劑和水，所述多成分體 系嵌段共聚聚酰亞胺樹脂含有特定的二胺殘基和酸二酐殘基（專利文獻4)。然而，上述水 溶性感光性組合物由于使用了用于形成低線膨脹性的材料，所以曝光靈敏度差，進而由于 含有大量的水，所以用途受到限制，不能用于半導(dǎo)體元件等的表面保護膜、層間絕緣膜、有 機場致發(fā)光元件的絕緣層。另一方面，提出了一種負(fù)型感光性組合物，其包含導(dǎo)入有脂肪族 的二胺的可溶性聚酰亞胺、光聚合性化合物和光聚合引發(fā)劑（專利文獻5)。但是，不能滿足 作為半導(dǎo)體元件的表面保護膜的用途所必須的分辨率。
[0006] 專利文獻1 :日本特開2006-313237號公報
[0007] 專利文獻2 :日本特開2008-224984號公報
[0008] 專利文獻3 :國際公開號W02011/059089 [0009] 專利文獻4 :日本專利第4438227號公報 [0010] 專利文獻5 :日本特開2011-95355號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 本發(fā)明的目的在于提供一種正型感光性樹脂組合物，所述正型感光性樹脂組合物 經(jīng)250°C以下的低溫?zé)桑梢垣@得低翹曲、且高靈敏度和高分辨率的聚酰亞胺固化膜。
[0012] 為了解決上述問題，本發(fā)明的樹脂組合物包含下述構(gòu)成。即，一種正型感光性樹脂 組合物，其特征在于，含有（a)具有通式（1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的 聚酰亞胺樹脂和（b)醌二疊氮化合物（quinonediazide compound)，所述（a)具有通式（1) 所示的結(jié)構(gòu)單元和通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺樹脂的酰亞胺化率為85%以上，并 且，通式（1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的比在30 :70~90 :10的范圍。
[0013]
【主權(quán)項】
1. 一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，含有（a)具有通式（1)所示的結(jié)構(gòu)單元和 通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺樹脂、和（b)醌二疊氮化合物，所述（a)具有通式（1) 所示的結(jié)構(gòu)單元和通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺樹脂的酰亞胺化率為85%以上，并 且，通式（1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式（2)所示的結(jié)構(gòu)單元的比在30 :70~90 :10的范圍，
通式（1)中，&表示具有1~4個芳香族環(huán)的四羧酸殘基，Y 1表示具有1~4個芳香 族環(huán)的芳香族二胺殘基，
通式（2)中，&表示具有1~4個芳香族環(huán)的四羧酸殘基，￥2表示在主鏈上至少具有2 個以上的亞烷基二醇單元的二胺殘基。
2. 如權(quán)利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，在所述通式（2)中，￥2所 示的在主鏈上至少具有2個以上的亞烷基二醇單元的二胺殘基為通式（3)所示結(jié)構(gòu)的二胺 殘基，
通式（3)中，RnR2表示氫原子或碳原子數(shù)為1~20的烷基，同一殘基中的復(fù)數(shù)個R 1可 以相同也可以不同，η表示2~50的整數(shù)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，進一步含有（c)熱交 聯(lián)性化合物。
4. 如權(quán)利要求3所述的正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述（c)熱交聯(lián)性化合物 為具有苯并噁嗪結(jié)構(gòu)的化合物。
5. -種半導(dǎo)體器件的制造方法，其特征在于，將權(quán)利要求1~4中任一項所述的感光性 樹脂組合物涂布在基板上后，進行加熱從而形成固化膜。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種正型感光性樹脂組合物，所述正型感光性樹脂組合物經(jīng)250℃以下的低溫?zé)?，可以獲得低翹曲、且高靈敏度和高分辨率的優(yōu)異的固化膜。本發(fā)明的正型感光性樹脂組合物的特征在于，含有(a)具有通式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺樹脂、和(b)醌二疊氮感光劑，所述具有通式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的聚酰亞胺樹脂的酰亞胺化率為85％以上，并且，通式(1)所示的結(jié)構(gòu)單元和通式(2)所示的結(jié)構(gòu)單元的比為30：70～90：10。(通式(1)中，X1表示具有1～4個芳香族環(huán)的四羧酸殘基，Y1表示具有1～4個芳香族環(huán)的芳香族二胺殘基。通式(2)中，X2表示具有1～4個芳香族環(huán)的四羧酸殘基，Y2表示在主鏈上至少具有2個以上的亞烷基二醇單元的二胺殘基)。
【IPC分類】G03F7-004, C08G73-10, G03F7-023, C08L79-08
【公開號】CN104662475
【申請?zhí)枴緾N201380049169
【發(fā)明人】大西啟之, 增田有希, 富川真佐夫
【申請人】東麗株式會社
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年9月11日
【公告號】EP2902847A1, US20150212412, WO2014050558A1