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一種全光二極管的制作方法

文檔序號:12905574閱讀:309來源:國知局
一種全光二極管的制作方法與工藝

本實用新型涉及納米光子學(xué)領(lǐng)域及集成光學(xué)領(lǐng)域,尤其涉及一種基于光學(xué)Tamm態(tài)的全光二極管。



背景技術(shù):

全光二極管是未來集成光子回路中不可缺少的元件之一,與電子二極管類似,它允許光波僅在一個方向傳播。目前已經(jīng)提出的納米級全光二極管的方案中,主要使用的結(jié)構(gòu)有:非線性光子晶體和光子帶隙微腔、具有各向異性缺陷層的手性光子晶體、具有Kerr非線性缺陷層的左旋周期結(jié)構(gòu)、低對稱磁性光子晶體、周期性極化鈮酸鋰波導(dǎo)、光子晶體光纖。由于常規(guī)材料相對較小的非線性光學(xué)敏感性和磁光系數(shù),所以一般要求工作閾值非常高,通常在幾千兆瓦每立方厘米。此外,它們實現(xiàn)的透射率對比度非常低,通常小于0.9。例如Xue等人設(shè)計了一種基于一維光子晶體的、含金屬的復(fù)合異質(zhì)結(jié)構(gòu)的全光二極管器件,其正反透射比為0.8148,正向透射率為42%。而Hwang和Song指出通過結(jié)合光子帶隙效應(yīng)和不對稱液晶光子帶隙異質(zhì)結(jié)構(gòu)的獨特界面特性,不用調(diào)節(jié)光學(xué)非線性就能實現(xiàn)低功率全光二極管,但是它的正向透過率也并不高,約為40%。一個高效率的全光二極管不僅需要較大的正反透射比,也需要較高的正向透射率。而基于光學(xué)Tamm態(tài)(Optic Tamm states,OTS)的全光二極管可以實現(xiàn)具有高正反透射比和單向透射率的全光二極管器件。

OTS是由A.V.Kavokin于2005年提出的一種新型的無耗散局域界面模式,目前能夠觀測到OTS的結(jié)構(gòu)主要有兩種:一維光子晶體異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)和金屬-DBR結(jié)構(gòu)。這種新型的光學(xué)表面態(tài)是由電子表面態(tài)類比而來,相對于表面等離子體激元(SPPs),OTS在激發(fā)機(jī)制和光學(xué)特性上具有諸多優(yōu)勢:OTS色散曲線位于光錐內(nèi)側(cè),入射光能夠直接激發(fā)OTS,不需要特定結(jié)構(gòu);TE和TM偏振光都能夠有效激發(fā)OTS,沒有偏振依賴性;OTS極化激元線寬極窄,比SPPs的線寬小接近一個數(shù)量級,具有更強(qiáng)的局域場增強(qiáng)效應(yīng);OTS形成于光子晶體界面上,損耗更小,因此,OTS為新型微納光子器件的設(shè)計開辟了新途徑。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了解決上述問題,基于光學(xué)Tamm態(tài)的局域場增強(qiáng)特性,提出一種具有高正反透射比和單向透射率的全光二極管器件。

一種全光二極管,包括MIM(Metal Insulator Metal,金屬-介質(zhì)-金屬)波導(dǎo)結(jié)構(gòu),所述波導(dǎo)內(nèi)包括DBR(Distributed Bragg Reflection,分布式布拉格反射鏡)-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu),所述DBR由高折射率介質(zhì)A和低折射率介質(zhì)B周期性排列構(gòu)成,其周期數(shù)為N,所述介質(zhì)A與所述介質(zhì)B的折射率分別為nA、nB,厚度分別為dA、dB,滿足條件其中ω0為Bragg頻率;所述DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的金屬厚度小于所述全光二極管工作波長λ的趨膚深度;所述DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的均勻介質(zhì)折射率為nC,厚度為dC,對于全光二極管器件的工作波長λ,滿足F-P共振條件nCdC=j(luò)λ/2,其中j為整數(shù)。

優(yōu)選的,所述高折射率介質(zhì)A為GaAs或TiO2

優(yōu)選的,所述高折射率介質(zhì)B為Al2O3或SiO2。

優(yōu)選的,所述金屬-介質(zhì)-金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的金屬與所述DBR-金屬-均勻介質(zhì)中的金屬相同,均為Ag。

優(yōu)選的,所述DBR的周期數(shù)N的范圍是5~10。

更優(yōu)選的,所述DBR的周期數(shù)N為7。

本實用新型是一種全光二極管器件,基于OTS的局域場增強(qiáng)效應(yīng),利用OTS和F-P腔模的相互耦合作用實現(xiàn)光的單向透射。TM偏振光正向(由DBR側(cè))入射時,MIM波導(dǎo)內(nèi)的等離子體激元(SPPs)模式得到有效激發(fā),SPPs沿著波導(dǎo)傳輸,到達(dá)金屬-DBR界面,當(dāng)金屬與DBR之間的虛相位及虛阻抗?jié)M足匹配條件時,可以進(jìn)一步在金屬與DBR界面處激發(fā)出OTS,如果金屬厚度較薄(小于工作波長的趨膚深度),OTS可以透過金屬,在金屬另一側(cè)的均勻介質(zhì)中形成F-P共振,并透射出去;TM偏振光反向(由均勻介質(zhì)側(cè))入射時,雖然也能激發(fā)MIM波導(dǎo)內(nèi)的SPPs和金屬與DBR界面處的OTS,但是由于入射光波長位于DBR禁帶中,不能透射,從而實現(xiàn)全光二極管的單向?qū)üδ?。本實用新型的全光二極管器件其正反透射比可達(dá)0.982,正向透射率可達(dá)87%。本實用新型的全光二極管器件具有結(jié)構(gòu)簡單、尺寸小、且工作波長可調(diào)等特點,在光子集成、全光網(wǎng)絡(luò)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用前景。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例全光二極管器件的剖面視圖;

圖2為TM偏振光正向(由DBR側(cè))入射時,全光二極管器件中的場強(qiáng)分布圖;

圖3為TM偏振光反向(由均勻介質(zhì)側(cè))入射時,全光二極管器件中的場強(qiáng)分布圖;

圖4為全光二極管器件正向和反向入射時的透射率隨入射波長的變化關(guān)系,即透射譜圖;其中,實線為正向入射時的透射譜,虛線為反向入射時的透射譜

附圖標(biāo)記說明:

1—MIM波導(dǎo)、2—介質(zhì)B、3—介質(zhì)A、4—金屬層、5—介質(zhì)C。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

如圖1所示為一種全光二極管器件的剖面視圖,包括金屬-介質(zhì)-金屬波導(dǎo)結(jié)構(gòu)MIM和波導(dǎo)內(nèi)的分布式布拉格反射鏡(DBR)-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)。MIM波導(dǎo)1和波導(dǎo)內(nèi)的DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)的尺寸與入射光波長具有相同量級,但小于入射光波長。構(gòu)成MIM波導(dǎo)1的金屬和DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的金屬可以相同,也可以不同,通常采用貴金屬Ag、Au等。在本實施例中,MIM等離子體波導(dǎo)寬度W=80nm,結(jié)構(gòu)中的介質(zhì)為空氣,金屬為Ag,其介電常數(shù)參考Drude模型:其中ε=3.7為帶間躍遷對介電常數(shù)的貢獻(xiàn),ωp=9.1eV為等離子體共振頻率,γ=0.018eV為電子碰撞頻率,ω為真空中的入射光頻率。

DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的DBR,由高折射率介質(zhì)A3和低折射率介質(zhì)B2周期性排列組成,周期數(shù)為7。本實施例中,介質(zhì)A3為GaAs,介質(zhì)B2為Al2O3,折射率分別為nA=3.56,nB=1.7,厚度分別為dA=68nm,dB=94nm;DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的金屬為Ag,其介電常數(shù)同樣參考Drude模型,其厚度小于入射光波長的趨膚深度,取為dm=10nm;DBR-金屬-均勻介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的介質(zhì)C5也為GaAs,厚度dC=143nm,對于全光二極管器件的工作波長需滿足F-P腔共振條件。通過調(diào)節(jié)全光二極管器件中介質(zhì)A3、介質(zhì)B2、介質(zhì)C5的材料和厚度,DBR的周期數(shù)、以及波導(dǎo)中金屬層的厚度等結(jié)構(gòu)參數(shù),可靈活調(diào)節(jié)全光二極管器件的工作波長,通常,DBR的周期數(shù)N為5~10;介質(zhì)A3和介質(zhì)B2滿足條件其中ω0為Bragg頻率。本實施例中全光二極管器件的工作波長為1310nm。

圖2所示為TM偏振光正向(由DBR側(cè))入射時,全光二極管器件中的場強(qiáng)分布。TM偏振光正向入射時,MIM波導(dǎo)內(nèi)的SPPs模式得到有效激發(fā),SPPs沿著波導(dǎo)傳輸,到達(dá)金屬-DBR界面,進(jìn)一步在金屬與DBR界面處激發(fā)出OTS,由于金屬厚度較薄(小于工作波長的趨膚深度),OTS可以透過金屬,在金屬另一側(cè)的均勻介質(zhì)中形成F-P共振,并透射出去。

圖3TM偏振光反向(由均勻介質(zhì)側(cè))入射時,全光二極管器件中的場強(qiáng)分布。TM偏振光反向入射時,雖然也能激發(fā)MIM波導(dǎo)內(nèi)的SPPs和金屬與DBR界面處的OTS,但是由于入射光波長位于DBR禁帶中,不能透射。

圖4全光二極管器件正向和反向入射時的透射率隨入射波長的變化關(guān)系,即透射譜。其中,實線為正向入射時的透射譜,在工作波長1310nm處有一透射峰,其透射率達(dá)87%;虛線為反向入射時的透射譜,由于工作波長1310nm位于DBR的禁帶中,其透射率幾乎為0。定義全光二極管器件的正反透射比(T+-T-)/(T++T-),T+表示正向透射率,T_表示反向透射率,計算可得,全光二極管器件的正反透射比為0.982。

本實用新型方案所公開的技術(shù)手段不僅限于上述實施方式所公開的技術(shù)手段,還包括由以上技術(shù)特征任意組合所組成的技術(shù)方案。

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