本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)，是在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱(chēng)為電子抗蝕劑或光刻膠) 進(jìn)行曝光，它常用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備、電路板和其他要求精細(xì)印制領(lǐng)域。

傳統(tǒng)手動(dòng)曝光機(jī)一般需要一名曝光手和三名對(duì)位手作業(yè)，即需要一個(gè)曝光工位和三個(gè)對(duì)位工位，由對(duì)位手將材料對(duì)位后再給曝光手進(jìn)行曝光，如此大大增加了人力成本，且在遇在柔性電路板(柔性電路板)有漲縮的異常情況時(shí)，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)對(duì)位時(shí)間增加和生產(chǎn)制品的返工，如此極大增加了生產(chǎn)成本，降低了生產(chǎn)效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種能降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率的曝光機(jī)。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：構(gòu)造一種曝光機(jī)，包括曝光機(jī)箱以及設(shè)置在所述曝光機(jī)箱上的可相互貼合的上臺(tái)面和下臺(tái)面，所述下臺(tái)面為透光臺(tái)面，所述下臺(tái)面上設(shè)置有至少一個(gè)用于將待曝光材料進(jìn)行定位的定位件。

優(yōu)選地，所述定位件為定位針。

優(yōu)選地，所述定位件為可伸縮的伸縮定位件。

優(yōu)選地，所述定位件為非伸縮定位件，所述上臺(tái)面對(duì)應(yīng)所述定位件開(kāi)設(shè)有避讓孔。

優(yōu)選地，所述下臺(tái)面設(shè)置在所述曝光機(jī)箱頂部，所述曝光機(jī)箱內(nèi)設(shè)有可發(fā)光且發(fā)出的光朝向所述下臺(tái)面的曝光燈。

優(yōu)選地，在所述曝光機(jī)箱內(nèi)設(shè)有抽真空裝置，所述下臺(tái)面設(shè)有用于抽真空的第一溝槽，所述第一溝槽內(nèi)設(shè)置有第一槽孔，所述第一槽孔與所述抽真空裝置連通。

優(yōu)選地，所述第一溝槽將所述下臺(tái)面分為多個(gè)區(qū)域，每個(gè)所述區(qū)域內(nèi)均設(shè)置有所述定位件。

優(yōu)選地，所述上臺(tái)面設(shè)有用于抽真空的第二溝槽，所述第二溝槽內(nèi)設(shè)置有第二槽孔。

優(yōu)選地，所述上臺(tái)面也設(shè)置有所述定位件。

優(yōu)選地，所述上臺(tái)面和下臺(tái)面為柔性且透光的亞克力板。

實(shí)施本實(shí)用新型的曝光機(jī)，具有以下有益效果：本實(shí)用新型曝光機(jī)包括曝光機(jī)箱以及設(shè)置在所述曝光機(jī)箱上的可相互貼合的上臺(tái)面和下臺(tái)面，所述下臺(tái)面為透光臺(tái)面，所述下臺(tái)面上設(shè)置有至少一個(gè)用于定位的定位件，該定位件將待曝光材料固定住從而不會(huì)出現(xiàn)位移而造成曝光偏位的異常，保證對(duì)位的精確度，提高生產(chǎn)效率；同時(shí)該曝光機(jī)實(shí)現(xiàn)由單人即可完成對(duì)位、曝光的工序，減少了人力成本。

附圖說(shuō)明

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中：

圖1是使用本實(shí)用新型曝光機(jī)進(jìn)行曝光的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型曝光機(jī)的下臺(tái)面的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型曝光機(jī)的上臺(tái)面的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型曝光機(jī)的工位示意圖；

圖5是本實(shí)用新型曝光機(jī)的對(duì)位方式示意圖；

圖6是本實(shí)用新型曝光機(jī)的上臺(tái)面和下臺(tái)面組合的示意圖；

圖7是傳統(tǒng)曝光機(jī)的工位示意圖；

圖8是傳統(tǒng)型曝光機(jī)的對(duì)位方式示意圖；

圖9是傳統(tǒng)曝光機(jī)的上臺(tái)面和下臺(tái)面組合的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種曝光機(jī)，可用于柔性電路板(FPC)4、觸摸屏ITO 層等的曝光工序。如圖1所示，該曝光機(jī)包括曝光機(jī)箱(圖未示出)以及設(shè)置在曝光機(jī)箱上的可相互貼合的上臺(tái)面1和下臺(tái)面2，下臺(tái)面2為透光臺(tái)面，下臺(tái)面2上設(shè)置有至少一個(gè)用于將待曝光材料進(jìn)行定位的定位件3。本實(shí)用新型通過(guò)定位件3將待曝光材料固定住從而不會(huì)出現(xiàn)位移而造成曝光偏位的異常，保證對(duì)位的精確度，提高生產(chǎn)效率；同時(shí)該曝光機(jī)實(shí)現(xiàn)由單人即可完成對(duì)位、曝光的工序，減少了人力成本。

曝光機(jī)的上臺(tái)面1和下臺(tái)面2設(shè)置在曝光機(jī)箱上，下臺(tái)面2優(yōu)選地設(shè)置在曝光機(jī)箱頂部，曝光機(jī)箱內(nèi)設(shè)有可發(fā)光且發(fā)出的光朝向下臺(tái)面2的曝光燈6。由于曝光燈6設(shè)置在曝光機(jī)箱內(nèi)，且位于下臺(tái)面2的下方，因此下臺(tái)面2宜采用可透光的材料制成；當(dāng)采用雙面曝光時(shí)，上臺(tái)面1和下臺(tái)面2均需要采用可透光的材料，以使曝光燈6發(fā)出的光能夠穿過(guò)上臺(tái)面1和下臺(tái)面2。本實(shí)用新型優(yōu)選使用具有柔性(撓性)且透光的亞克力板作為上臺(tái)面和下臺(tái)面，從而能有利于在下臺(tái)面2上設(shè)置定位件3并同時(shí)使曝光燈6發(fā)出的光能夠穿透過(guò)下臺(tái)面2。

曝光機(jī)箱內(nèi)還設(shè)有抽真空裝置，如圖2所示，下臺(tái)面2設(shè)有用于抽真空的第一溝槽21，第一溝槽21內(nèi)設(shè)置有第一槽孔22，第一槽孔22與抽真空裝置連通。優(yōu)選地，第一溝槽21將下臺(tái)面2分為多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域內(nèi)均設(shè)置有定位件3。下臺(tái)面2的各個(gè)區(qū)域面積可依據(jù)待曝光材料的單片面積大小而定，例如，待曝光的為柔性電路板時(shí)，各個(gè)區(qū)域的面積根據(jù)柔性電路板的單PNL (片)的尺寸而定。

如圖3所示，上臺(tái)面1設(shè)有用于抽真空的第二溝槽11，第二溝槽11內(nèi)設(shè)置有第二槽孔12，在上臺(tái)面1和下臺(tái)面2均設(shè)置溝槽和槽孔，以保證抽真空的徹底性，避免曝光不良的產(chǎn)生。當(dāng)抽真空裝置開(kāi)啟時(shí)，通過(guò)槽孔可以將上臺(tái)面1和下臺(tái)面2之間抽成真空，使待曝光材料與上下臺(tái)面2貼得更緊密，防止待曝光材料不平整，以避免曝光不良的產(chǎn)生。

定位件3用于將待曝光材料進(jìn)行定位，在抽真空的過(guò)程中，由于定位件3 的存在使待曝光材料不會(huì)出現(xiàn)移位而造成曝光偏位的異常。在不影響待曝光材料排版的情況下，應(yīng)盡可能地增加定位件3的空間和數(shù)量，以保證對(duì)位精準(zhǔn)。定位件3優(yōu)選地為可伸縮的伸縮定位件，從而上臺(tái)面1向下與下臺(tái)面2壓合時(shí)定位件會(huì)收縮，不會(huì)影響上臺(tái)面1向下和下臺(tái)面2貼合得緊密。若使用的定位件3為非伸縮定位件，則上臺(tái)面1對(duì)應(yīng)定位件3開(kāi)設(shè)有避讓孔，使定位件可以避位到避讓孔中，優(yōu)選地，定位件3為定位針(或稱(chēng)定位PIN)，使用可伸縮或不可伸縮定位針均可。定位針優(yōu)選地為可伸縮的伸縮定位針，從而上臺(tái)面1 向下與下臺(tái)面2壓合時(shí)定位針會(huì)收縮，不會(huì)影響上臺(tái)面1向下和下臺(tái)面2貼合得緊密。若使用的定位針為非伸縮定位針，則上臺(tái)面1對(duì)應(yīng)定位針開(kāi)設(shè)有避針孔，使定位針可以避位到避針孔中，以免將上臺(tái)面1頂起，而導(dǎo)致上臺(tái)面1 和下臺(tái)面2無(wú)法貼合緊密。

本實(shí)施例中，在下臺(tái)面2設(shè)置了定位件3。在其他實(shí)施例中，例如采用雙面曝光時(shí)，在上臺(tái)面1也設(shè)置有定位件3。

下面以具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

本實(shí)施例中，使用本實(shí)用新型的曝光機(jī)對(duì)柔性電路板(FPC)4進(jìn)行曝光，使用菲林5作為感光膠片。如圖5所示，柔性電路板4對(duì)應(yīng)定位件3設(shè)有可供定位件3穿過(guò)的第一通孔41，菲林5設(shè)置在柔性電路板4與下臺(tái)面2之間，菲林5對(duì)應(yīng)定位件3也設(shè)有可供定位件3穿過(guò)的第二通孔51。

如圖1所示，采用固定于下臺(tái)面2的定位件3，將菲林5和柔性電路板 4在固定位置套住。在經(jīng)過(guò)抽真空的過(guò)程中，因?yàn)槎ㄎ患?的存在使菲林5 和柔性電路板4不會(huì)出現(xiàn)位移而造成曝光偏位的異常，當(dāng)抽真空后經(jīng)過(guò)曝光燈6發(fā)出的UV光線(xiàn)的照射，完成對(duì)柔性電路板4上面油墨的光聚合。

以下從三個(gè)方面對(duì)傳統(tǒng)曝光機(jī)和本實(shí)用新型曝光機(jī)進(jìn)行對(duì)比：

1、作業(yè)方式：

如圖7所示，現(xiàn)有技術(shù)的曝光機(jī)，一臺(tái)曝光機(jī)需對(duì)應(yīng)一名曝光員和三名對(duì)位員，即一臺(tái)曝光機(jī)一共需要四個(gè)人作業(yè)生產(chǎn)；

如圖4所示，本實(shí)用新型的曝光機(jī)只需要一名曝光員進(jìn)行上下料操作和對(duì)位即可，大大節(jié)省了人力成本。

2、對(duì)位方式：

如圖8所示，傳統(tǒng)曝光機(jī)的對(duì)位方式是使用傳統(tǒng)的菲林開(kāi)窗膠帶將菲林 5’貼敷于柔性電路板4’上，進(jìn)行對(duì)位粘貼，圖中的6’表示膠帶粘合口；

如圖5所示，本實(shí)用新型的曝光機(jī)使用固定于下臺(tái)面2的定位件3，將菲林5和柔性電路板4在固定位置套住。菲林5、柔性電路板4和下臺(tái)面2 三者的定位位置在同一位置。對(duì)于柔性電路板4的油墨處42和菲林5的曝光處51，在不影響排版的情況下，可以盡可能多地增加定位件3的空間和數(shù)量，保證對(duì)位精度。

3、臺(tái)面構(gòu)架：

如圖9所示，傳統(tǒng)曝光機(jī)的上臺(tái)面1’為有彈性的麥拉面，下臺(tái)面2’為光滑透光的玻璃臺(tái)面；

如圖6所示，本實(shí)用新型曝光機(jī)的上臺(tái)面1和下臺(tái)面2均為有柔性且透光的亞克力板臺(tái)面。

綜上，本實(shí)用新型的曝光機(jī)相對(duì)于傳統(tǒng)曝光機(jī)，由原來(lái)的四人操作改為一人操作，減少了人力成本，提高了生產(chǎn)效率；同時(shí)保證了對(duì)位精度，避免因制品漲縮而造成的對(duì)位偏移。

可以理解的，以上實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制；應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，可以對(duì)上述技術(shù)特點(diǎn)進(jìn)行自由組合，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍；因此，凡跟本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所做的等同變換與修飾，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求的涵蓋范圍。