本實用新型屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

CD是英文Compact Disc的縮寫，中文意思是“壓縮光盤”，簡稱“光盤”，CD紋是應(yīng)用精密的CD紋機(jī)在金屬表面去除材料而得到的一種類似與CD光盤紋路的效果。

現(xiàn)有的CD紋加工系統(tǒng)有三類：1)CNC機(jī)床精雕加工系統(tǒng)，不適用于脆性的藍(lán)寶石表面；2)采用印刷油墨然后烘烤的加工系統(tǒng)，此適用于藍(lán)寶石、玻璃等硬性材質(zhì)表面；3)采用制作CD紋模具模壓 UV透明樹脂進(jìn)行固化的加工系統(tǒng)，適用于塑性材料和金屬表面。

其中，對于第一種加工系統(tǒng)，目前國內(nèi)主要存在如下專利文獻(xiàn)：

專利公開號：CN105234493A，公開了一種CD紋機(jī)，包括機(jī)架、裝夾機(jī)構(gòu)、驅(qū)動裝夾機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動的動力裝置、及驅(qū)動對工件進(jìn)行CD紋加工的刀軸機(jī)構(gòu)，裝夾機(jī)構(gòu)包括用于固定連接于機(jī)架的定位座、和可轉(zhuǎn)動地連接于定位座的拉桿；拉桿上側(cè)設(shè)置有夾筒和用于鎖緊夾筒的夾筒套；夾筒的外壁橫截面呈圓形，且夾筒的外壁向下逐漸增大；夾筒套套設(shè)于夾筒外壁，且拉桿連接于夾筒套并使得夾筒套恒具有向下夾緊夾筒的動作趨勢；刀軸機(jī)構(gòu)包括進(jìn)給氣缸、連接于進(jìn)給氣缸輸出端的定位板、進(jìn)給氣缸驅(qū)動的加工刀具、限位基準(zhǔn)面、及連接于定位板且位于限位基準(zhǔn)面一側(cè)的緩沖器；當(dāng)進(jìn)給氣缸驅(qū)動加工刀具向工件移動時，緩沖器逐漸靠近并抵頂限位基準(zhǔn)面。該CD紋機(jī)能夠提高工件的加工質(zhì)量。然而，該專利主要通過加工刀具在工件表面形成CD 紋，對于硬度較大的基材、脆性基材及非平面基材，則加工難以實現(xiàn)，并且加工精度不高。

對于第二種加工系統(tǒng)，在基材表面加工的CD紋，其CD紋材質(zhì)為油墨，附著于基材表面，容易脫落、劃傷。

對于第三種加工系統(tǒng)，同樣不適用于非平面基材表面的CD紋加工。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為解決上述存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，屬于在基材表面精加工出CD紋，所形成的CD紋眩光效果好和立體感強特性。

為達(dá)到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是：一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，其特征在于，所述加工系統(tǒng)包括：一旋涂式勻膠機(jī)，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面左側(cè)的一個涂膠腔室，設(shè)置于臺面右側(cè)的第一熱板單元，設(shè)置于臺面中部的第一操控臺，第一操控臺上設(shè)有第一LCD顯示屏，所述涂膠腔室內(nèi)部設(shè)有一旋涂單元。一接近式光刻機(jī)，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面右側(cè)的控制單元，設(shè)置于臺面左側(cè)的基材放置單元，設(shè)置于臺面下方的汞燈調(diào)節(jié)單元；控制單元上表面左側(cè)設(shè)置一套刻對位CCD顯示屏，右側(cè)設(shè)置一光照單元。一顯影機(jī)，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面左側(cè)的一個顯影腔室，設(shè)置于臺面右側(cè)的第二熱板單元，設(shè)置于臺面中部的第二操控臺，設(shè)置于臺面下方的顯影液儲液桶和熱板溫度控制器。

進(jìn)一步，所述第一操控臺還包括編程控制按鍵三、涂膠制程開始按鍵、熱板制程開始按鍵二，所述熱板制程開始按鍵二與熱板單元電連接。

另，所述控制單元還包括：第二LCD顯示屏，設(shè)置于套刻對位 CCD顯示屏的下方；第一編程控制按鍵，設(shè)置于第二LCD顯示屏的下方；氣壓調(diào)節(jié)旋鈕，設(shè)置于第一編程控制按鍵的右側(cè)；汞燈電流表、氣壓空氣計、真空計，設(shè)置于氣壓調(diào)節(jié)旋鈕的上方，所述汞燈電流表，氣壓空氣計，真空計一端伸入遮光罩內(nèi)。

另有，所述光照單元右側(cè)表面由上至下依次設(shè)有排風(fēng)，汞燈更換窗口，光照均勻性調(diào)節(jié)旋鈕，所述排風(fēng)，汞燈更換窗口，光照均勻性調(diào)節(jié)旋鈕一端伸入遮光罩內(nèi)。

再，所述基材放置單元由上至下依次設(shè)有緊急停止按鈕，遮光罩，載物臺。

再有，所述汞燈調(diào)節(jié)單元由上至下依次設(shè)有汞燈控制器，汞燈電源，調(diào)節(jié)閥。

且，所述第二操控臺上設(shè)有指示燈、第三LCD顯示屏、第二編程控制按鍵、顯影制程開始按鍵，第一熱板制程開始按鍵，所述第三 LCD顯示屏、第二編程控制按鍵及顯影制程開始按鍵的一端分別伸入顯影腔室內(nèi)側(cè)，另一端分別與所述第三LCD顯示屏電連接，所述指示燈與第三LCD顯示屏電連接。

本實用新型的有益效果在于：

本實用新型所述一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，采用旋涂式勻膠機(jī)、接近式光刻機(jī)、顯影機(jī)三機(jī)依次進(jìn)行涂膠、曝光、顯影的加工順序，對基材進(jìn)行CD紋加工，所得CD紋眩光效果好和立體感強特性且效率高，精度高(可達(dá)到微米級，最小CD紋線寬和線距可達(dá)到1um)。

附圖說明

圖1為本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)的組成示意圖。

圖2為本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中旋涂式勻膠機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中接近式光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中顯影機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中旋涂式勻膠機(jī)涂膠處理后的藍(lán)寶石側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中接近式光刻機(jī)進(jìn)行曝光處理后的藍(lán)寶石側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)中顯影機(jī)顯影處理后的藍(lán)寶石側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)在藍(lán)寶石表面加工所得CD紋的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)的加工流程圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。

參照圖1～圖9，本實用新型所述的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，所述加工系統(tǒng)包括：一旋涂式勻膠機(jī)100，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面左側(cè)的一個涂膠腔室102，設(shè)置于臺面右側(cè)的第一熱板單元103b，設(shè)置于臺面中部的第一操控臺，第一操控臺上設(shè)有第一LCD顯示屏104，所述涂膠腔室102內(nèi)部設(shè)有一旋涂單元103a。一接近式光刻機(jī)200，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面右側(cè)的控制單元，設(shè)置于臺面左側(cè)的基材放置單元，設(shè)置于臺面下方的汞燈調(diào)節(jié)單元；控制單元上表面左側(cè)設(shè)置一套刻對位CCD顯示屏202，右側(cè)設(shè)置一光照單元。一顯影機(jī)300，形狀為一臺式，其包括：設(shè)置于臺面左側(cè)的一個顯影腔室302，設(shè)置于臺面右側(cè)的第二熱板單元303，設(shè)置于臺面中部的第二操控臺，設(shè)置于臺面下方的顯影液儲液桶306 和熱板溫度控制器308。

進(jìn)一步，所述第一操控臺還包括編程控制按鍵三101、涂膠制程開始按鍵105、熱板制程開始按鍵二106，所述熱板制程開始按鍵二 106與熱板單元103b電連接。

另，所述控制單元還包括：第二LCD顯示屏201，設(shè)置于套刻對位CCD顯示屏202的下方；第一編程控制按鍵203，設(shè)置于第二LCD 顯示屏201的下方；氣壓調(diào)節(jié)旋鈕204，設(shè)置于第一編程控制按鍵203 的右側(cè)；汞燈電流表212、氣壓空氣計214、真空計215，設(shè)置于氣壓調(diào)節(jié)旋鈕的上方，所述汞燈電流表212，氣壓空氣計214，真空計 215一端伸入遮光罩208內(nèi)。

另有，所述光照單元右側(cè)表面由上至下依次設(shè)有排風(fēng)210，汞燈更換窗口211，光照均勻性調(diào)節(jié)旋鈕213，所述排風(fēng)210，汞燈更換窗口211，光照均勻性調(diào)節(jié)旋鈕213一端伸入遮光罩208內(nèi)。

再，所述基材放置單元由上至下依次設(shè)有緊急停止按鈕216，遮光罩208，載物臺209。

再有，所述汞燈調(diào)節(jié)單元由上至下依次設(shè)有汞燈控制器206，汞燈電源207，調(diào)節(jié)閥205。

且，所述第二操控臺上設(shè)有指示燈301、第三LCD顯示屏304、第二編程控制按鍵305、顯影制程開始按鍵307，第一熱板制程開始按鍵309，所述第三LCD顯示屏304、第二編程控制按鍵305及顯影制程開始按鍵307的一端分別伸入顯影腔室302內(nèi)側(cè)，另一端分別與所述第三LCD顯示屏電304連接，所述指示燈301與第三LCD顯示屏304電連接。

本實用新型所提供的一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)的加工流程如下：

1)首先操作人員對旋涂式勻膠機(jī)100、接近式光刻機(jī)200、顯影機(jī)300進(jìn)行點檢；

2)操作人員將基材500(晶片形式)裝入標(biāo)準(zhǔn)制程晶舟，打開旋涂式勻膠機(jī)100的左旋涂單元103a，將裝有基材500放置于防護(hù)罩102內(nèi)的指定位置，并操作第一顯示屏104，選擇正確程序并開始制程，即，進(jìn)行涂膠處理，制程結(jié)束后，操作人員將已涂膠的裝有基材500的從左側(cè)旋涂單元103a取出，在基材500表面得到一層膜厚均勻的光阻薄膜501，然后將基材500放置于烘烤單元103b，并按下烘烤制程開始按鍵106，使光阻中溶劑揮發(fā)及光阻固化，如圖5所示。

3)操作人員將取出已涂膠的裝有基材500放入接近式光刻機(jī) 200載片臺209中，并操作編程控制按鈕203，選擇正確程序并開始制程，進(jìn)行曝光處理，曝光后進(jìn)行烘烤，制程結(jié)束后將已曝光的基材 500從載片臺209取出，其中，接近式光刻機(jī)曝光的工作原理，如圖 6所示，紫外光502通過掩膜版503的透光區(qū)域503a，照射光阻薄膜 501，并使光阻薄膜501發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，而沒有被紫外光502照射到的光阻薄膜501不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

4)操作人員將已曝光的基材500放入顯影機(jī)300的顯影單元 302，并操作編程控制按鍵305，選擇正確程序并開始制程，進(jìn)行顯影處理，顯影完成后，將基材500取出放置于烘烤單元303中，按下熱板制程開始按鍵309，通過烘烤，使光阻薄膜501充分固化，有利于提高CD紋品質(zhì)，制程結(jié)束后，指示燈301亮燈，以提醒操作人員，并將已顯影的基材500烘烤單元303取出，其中，顯影處理的工作原理如圖7所示，被紫外光502照射的光阻薄膜501將溶解于顯影液中，而沒有被紫外光502照射到的光阻薄膜501不溶解于顯影液，故，顯影之后仍保留在基材500上。

另，如圖8所示，所述CD紋501由若干同心圓環(huán)501a組成，每個圓環(huán)501a線寬相同，線寬最小為300nm，每兩個相鄰圓環(huán)501a之間線距相等，線距最小為300nm。

本實用新型所述一種在基材表面制作CD紋的加工系統(tǒng)，采用旋涂式勻膠機(jī)、接近式光刻機(jī)、顯影機(jī)三機(jī)依次進(jìn)行涂膠、曝光、顯影的加工順序，對基材進(jìn)行CD紋加工，加工得到的CD紋眩光效果好和立體感強特性，效率高，精度高(可達(dá)到微米級，最小CD紋線寬和線距可達(dá)到1um)。

需要說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非限制。盡管參照較佳實施例對本實用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實用新型技術(shù)方案的范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍中。