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多功能曝光平臺的制作方法

文檔序號:11303078閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種多功能曝光平臺,其特征在于,包括控制單元以及依次相接設置的滾輪上料機構、平臺主體與滾輪下料機構,所述平臺主體的上方設有導向推板機構,所述導向推板機構包括開口方向面向所述滾輪上料機構所在一側的L型導向推板以及驅動所述L型導向推板在所述平臺主體上方分別沿X軸方向及Y軸方向平移的XY平面運動機構,所述L型導向推板包括相互垂直設置的X軸方向推板及Y軸方向推板,所述X軸方向推板面向所述滾輪上料機構的一側設有到位檢測結構,所述平臺主體包括氣浮吸附一體平面,且所述平臺主體的底側設有若干升降支腳,所述控制單元分別與所述XY平面運動機構、所述到位檢測結構以及所述若干升降支腳電性連接,所述X軸方向平行于所述滾輪上料結構的送料方向,所述Y軸方向垂直于所述滾輪上料結構的送料方向。

2.如權利要求1所述的多功能曝光平臺,其特征在于,所述到位檢測結構包括兩沿所述Y軸方向間隔設置的壓力傳感器,每一所述壓力傳感器與所述控制單元電性連接。

3.如權利要求1所述的多功能曝光平臺,其特征在于,所述到位檢測結構包括兩沿所述Y軸方向間隔設置的光電傳感器,每一所述光電傳感器與所述控制單元電性連接。

4.如權利要求1所述的多功能曝光平臺,其特征在于,所述氣浮吸附一體平面為多孔材料介質層,且所述多孔材料介質層上開設有若干分布均勻的細微氣孔。

5.如權利要求4所述的多功能曝光平臺,其特征在于,所述平臺主體還包括一空氣泵,所述平臺主體的底側開設有連通各所述細微氣孔的進氣口。

6.如權利要求4或5所述的多功能曝光平臺,其特征在于,所述多孔材料介質層為陶瓷層或鋁金屬材料層。

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