技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種COA基板，包括多個陣列排布在基板上的子基板單元，所述子基板單元具有顯示區(qū)和環(huán)繞在顯示區(qū)外的非顯示區(qū)，子基板單元包括陣列基板以及依次形成在陣列基板上的鈍化層、色阻層，基板上設(shè)有量測區(qū)域，量測區(qū)域位于子基板單元的非顯示區(qū)中，量測區(qū)域中設(shè)有量測結(jié)構(gòu)，量測區(qū)域?qū)⒘繙y結(jié)構(gòu)裸露，所述量測結(jié)構(gòu)包括量測鈍化層以及量測色阻層，所述量測結(jié)構(gòu)的表面形成量測面。本發(fā)明還提供了一種COA基板色阻層膜厚檢測方法，包括如下步驟：通過將膜厚量測探針接觸量測面，并沿量測區(qū)域的長度方向移動，從而量測獲得量測色阻層的厚度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，可實時對基板靠近邊緣位置的色阻層的膜厚狀況進行量測，從而根據(jù)監(jiān)控結(jié)果調(diào)整涂布等參數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：施秋霞
受保護的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.11
技術(shù)公布日：2017.10.27