本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置及其補(bǔ)償方法。

背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，光刻機(jī)的照明光瞳均一性系通過自動(dòng)光瞳補(bǔ)償濾片(AutoPupilCompensationFilter,AutoPCF)進(jìn)行補(bǔ)償，其功能是調(diào)整照明光瞳在X、Y方向上的四個(gè)位置之光亮均一性。作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，不難知道地，在補(bǔ)償過程中，機(jī)械自動(dòng)根據(jù)光瞳光亮的大小選擇合適的濾片，以調(diào)整Ia、Ib、Ic、Id的光亮，具體為根據(jù)X、Y、XY的以下公式來判斷光瞳均一性是否滿足要求：X＝{|Ic-Id|/(Ic+Id)}×100％Y＝{|Ia-Ib|/(Ia+Ib)}×100％XY＝{|(Ia+Ib)-(Ic+Id)×Rxy|/((Ia+Ib)+(Ic+Id)×Rxy)}×100％但是，上述補(bǔ)償結(jié)構(gòu)具有如下缺點(diǎn)：每個(gè)濾片安裝后僅能補(bǔ)償X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的濾片僅是存在角度差時(shí)，則一套補(bǔ)正機(jī)構(gòu)需要同時(shí)安裝兩個(gè)同樣的濾片，將占用兩個(gè)濾片槽的位置。故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置及其補(bǔ)償方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中，現(xiàn)有補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的每個(gè)濾片安裝后僅能補(bǔ)償X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的濾片僅是存在角度差時(shí)，則一套補(bǔ)正機(jī)構(gòu)需要同時(shí)安裝兩個(gè)同樣的濾片，將占用兩個(gè)濾片槽的位置等缺陷提供一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置。本發(fā)明之第二目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中，現(xiàn)有補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的每個(gè)濾片安裝后僅能補(bǔ)償X左右或者Y上下的光亮，如果X左右或者Y上下需要的濾片僅是存在角度差時(shí)，則一套補(bǔ)正機(jī)構(gòu)需要同時(shí)安裝兩個(gè)同樣的濾片，將占用兩個(gè)濾片槽的位置等缺陷提供一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置的補(bǔ)償方法。為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之目的，本發(fā)明提供一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置，所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置，包括：濾片槽輪盤，所述濾片槽輪盤上呈圓周間隔設(shè)置濾片槽；鎖固部件，所述鎖固部件之外圈設(shè)置卡口，并通過設(shè)置在所述卡口內(nèi)的定位栓固定設(shè)置在所述濾片槽輪盤之濾片槽內(nèi)，且在所述鎖固部件之外周上設(shè)置齒輪牙紋；補(bǔ)償濾片，所述補(bǔ)償濾片固定設(shè)置在所述鎖固部件內(nèi)圈；主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪之齒輪與所述鎖固部件之外周上的齒輪牙紋相嚙合，并通過聯(lián)軸器在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。可選地，所述鎖固部件之外圈設(shè)置的卡口數(shù)量為4個(gè)?？蛇x地，所述鎖固部件之外圈設(shè)置的卡口在X方向和Y方向上互成90°。可選地，所述濾片槽輪盤上設(shè)置的濾片槽之?dāng)?shù)量為12個(gè)?？蛇x地，所述濾片槽內(nèi)設(shè)置的補(bǔ)償濾片具有不同的光學(xué)透過率。為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之又一目的，本發(fā)明提供一種光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置的補(bǔ)償方法，所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置的補(bǔ)償方法，包括：當(dāng)所述濾片槽轉(zhuǎn)到補(bǔ)償位置，且不需要改變補(bǔ)償濾片90°位置時(shí)，通過所述定位栓將所述鎖固部件固定設(shè)置在所述濾片槽輪盤之濾片槽處；當(dāng)所述濾片槽轉(zhuǎn)到補(bǔ)償位置，且需要改變補(bǔ)償濾片90°位置時(shí)，所述定位栓退避卡口，并在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)90°后再次回歸卡口，實(shí)現(xiàn)鎖固。可選地，所述定位栓退避卡口和回歸卡口的動(dòng)作均通過壓力氣缸控制?？蛇x地，當(dāng)所述壓力氣缸充滿壓縮干燥空氣時(shí)，所述定位栓退避卡口；當(dāng)所述壓力氣缸釋放壓縮空氣時(shí)，所述定位栓回歸卡口。綜上所述，本發(fā)明光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置通過在所述補(bǔ)償濾片之鎖固部件的外周上設(shè)置齒輪牙紋，并將所述齒輪牙紋與通過聯(lián)軸器在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的主動(dòng)齒輪之齒輪相嚙合，以在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且通過所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)固定計(jì)數(shù)，不僅可以實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償濾片進(jìn)行90°自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，減少相同補(bǔ)償濾片的重復(fù)安裝，而且使得同一補(bǔ)償濾片根據(jù)需要可滿足X、Y方向的亮度調(diào)節(jié)，節(jié)省濾片槽的位置。附圖說明圖1所示為本發(fā)明光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置之結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。目前，在半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域，光刻機(jī)的照明光瞳均一性系通過自動(dòng)光瞳補(bǔ)償濾片(AutoPupilCompensationFilter,AutoPCF)進(jìn)行補(bǔ)償，其功能是調(diào)整照明光瞳在X、Y方向上的四個(gè)位置之光亮均一性。作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，不難知道地，在補(bǔ)償過程中，機(jī)械自動(dòng)根據(jù)光瞳光亮的大小選擇合適的濾片，以調(diào)整Ia、Ib、Ic、Id的光亮，具體為根據(jù)X、Y、XY的以下公式來判斷光瞳均一性是否滿足要求：X＝{|Ic-Id|/(Ic+Id)}×100％Y＝{|Ia-Ib|/(Ia+Ib)}×100％XY＝{|(Ia+Ib)-(Ic+Id)×Rxy|/((Ia+Ib)+(Ic+Id)×Rxy)}×100％請參閱圖1，圖1所示為本發(fā)明光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置之結(jié)構(gòu)示意圖。所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置1，包括：濾片槽輪盤11，所述濾片槽輪盤11上呈圓周間隔設(shè)置濾片槽12；鎖固部件13，所述鎖固部件13之外圈設(shè)置卡口14，并通過設(shè)置在所述卡口14內(nèi)的定位栓15固定設(shè)置在所述濾片槽輪盤11之濾片槽12內(nèi)，且在所述鎖固部件13之外周上設(shè)置齒輪牙紋131；補(bǔ)償濾片16，所述補(bǔ)償濾片16固定設(shè)置在所述鎖固部件13內(nèi)圈；主動(dòng)齒輪17，所述主動(dòng)齒輪17之齒輪(未圖示)與所述鎖固部件13之外周上的齒輪牙紋131相嚙合，并通過聯(lián)軸器18在驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下轉(zhuǎn)動(dòng)。為了更直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案，凸顯本發(fā)明之有益效果，現(xiàn)結(jié)合具體實(shí)施方式，對所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置及其補(bǔ)償方法進(jìn)行闡述。在具體實(shí)施方式中，所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置的各功能器件之具體結(jié)構(gòu)、形狀、數(shù)量等僅為列舉，不應(yīng)視為對本發(fā)明技術(shù)方案的限制。請繼續(xù)參閱圖1，所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置1，包括：濾片槽輪盤11，所述濾片槽輪盤11上呈圓周間隔設(shè)置濾片槽12；更具體地，所述濾片槽輪盤11上設(shè)置的濾片槽12之?dāng)?shù)量為12個(gè)。所述濾片槽12內(nèi)設(shè)置的補(bǔ)償濾片16具有不同的光學(xué)透過率。鎖固部件13，所述鎖固部件13之外圈設(shè)置卡口14，并通過設(shè)置在所述卡口14內(nèi)的定位栓15固定設(shè)置在所述濾片槽輪盤11之濾片槽12內(nèi)，且在所述鎖固部件13之外周上設(shè)置齒輪牙紋131；作為具體實(shí)施方式，非限制性地，所述鎖固部件13為金屬元件。補(bǔ)償濾片16，所述補(bǔ)償濾片16固定設(shè)置在所述鎖固部件13之內(nèi)圈；主動(dòng)齒輪17，所述主動(dòng)齒輪17之齒輪與所述鎖固部件13之外周上的齒輪牙紋131相嚙合，并通過聯(lián)軸器18在驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下轉(zhuǎn)動(dòng)。作為具體的實(shí)施方式，當(dāng)所述濾片槽12轉(zhuǎn)到補(bǔ)償位置，且不需要改變補(bǔ)償濾片16之90°位置時(shí)，通過所述定位栓15將所述鎖固部件13固定設(shè)置在所述濾片槽輪盤11之濾片槽12處；當(dāng)所述濾片槽12轉(zhuǎn)到補(bǔ)償位置，且需要改變補(bǔ)償濾片16之90°位置時(shí)，所述定位栓15退避卡口14，并在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下旋轉(zhuǎn)90°后再次回歸卡口14，實(shí)現(xiàn)鎖固。其中，當(dāng)所述定位栓15退避卡口14后，所述主動(dòng)齒輪17抵近所述鎖固部件13之齒輪牙紋131，并在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且通過所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)固定計(jì)數(shù)。在本實(shí)施方案中，優(yōu)選地，所述定位栓15退避卡口14和回歸卡口14的動(dòng)作均通過壓力氣缸控制。更具體地，當(dāng)所述壓力氣缸沖充滿壓縮干燥空氣時(shí)，所述定位栓15退避卡口14；當(dāng)所述壓力氣缸釋放壓縮空氣時(shí)，所述定位栓15回歸卡口14。明顯地，本發(fā)明所述光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置1通過在所述補(bǔ)償濾片16之鎖固部件13的外周上設(shè)置齒輪牙紋131，并將所述齒輪牙紋131與通過聯(lián)軸器18在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的主動(dòng)齒輪17之齒輪相嚙合，以在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的作用下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且通過所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)19啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)固定計(jì)數(shù)，不僅可以實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償濾片16進(jìn)行90°自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，減少相同補(bǔ)償濾片16的重復(fù)安裝，而且使得同一補(bǔ)償濾片16根據(jù)需要可滿足X、Y方向的亮度調(diào)節(jié)，節(jié)省濾片槽12的位置。綜上所述，本發(fā)明光刻機(jī)之照明光瞳均一性補(bǔ)償裝置通過在所述補(bǔ)償濾片之鎖固部件的外周上設(shè)置齒輪牙紋，并將所述齒輪牙紋與通過聯(lián)軸器在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的主動(dòng)齒輪之齒輪相嚙合，以在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且通過所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)固定計(jì)數(shù)，不僅可以實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償濾片進(jìn)行90°自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，減少相同補(bǔ)償濾片的重復(fù)安裝，而且使得同一補(bǔ)償濾片根據(jù)需要可滿足X、Y方向的亮度調(diào)節(jié)，節(jié)省濾片槽的位置。本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時(shí)，認(rèn)為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。