技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種制作大面積光子晶體的方法，步驟如下：（1）將若干楔形棱鏡鑲嵌在平板上，楔形棱鏡的底邊朝向平板的中心，制成多楔鏡板；（2）將激光器（1）發(fā)出的激光束經(jīng)擴(kuò)束鏡擴(kuò)束，將擴(kuò)束后的光照射到步驟（1）制成的多楔鏡板上，光束經(jīng)過多楔鏡板后照射到光敏材料上，經(jīng)過曝光，得到光子晶體。本發(fā)明將大面積的多光束干涉強(qiáng)度圖案投射到光敏材料上即可制作出具有較大面積的光子晶體結(jié)構(gòu)。通過適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)多楔鏡板，該裝置可以靈活的制作不同周期尺度、不同形狀的光子晶體結(jié)構(gòu)。該方法和裝置適合應(yīng)用于大面積光子晶體結(jié)構(gòu)的加工制造。

技術(shù)研發(fā)人員：靳文濤;張雪華;李林;李紅;劉生滿;郭鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中原工學(xué)院
文檔號(hào)碼：201710240520
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.13
技術(shù)公布日：2017.06.13