技術(shù)特征：

1.一種基于雙目標(biāo)遺傳算法的寬角度EUV多層膜魯棒性膜系設(shè)計(jì)，其特征在于，該方法包括如下步驟：

步驟一：輸入適用于寬角度極紫外多層膜膜系設(shè)計(jì)的實(shí)數(shù)編碼非支配排序遺傳算法(NSGA-II)的初始參數(shù)值，其中包括種群規(guī)模N、多層膜優(yōu)化設(shè)計(jì)的膜層數(shù)2p、變異概率p_m、交叉概率p_c、交叉算子η_c、變異算子η_p、進(jìn)化代數(shù)j以及多層膜中膜層厚度參數(shù)的搜索區(qū)間；

步驟二：生成適用于寬角度極紫外多層膜膜系設(shè)計(jì)的NSGA-II的初始化父代種群Q，種群Q表示為

Q＝[a₁,a₂,a₃,…,a_i,…,a_N-1,a_N]， (1)

其種群中任意個(gè)體a_i的參數(shù)個(gè)數(shù)為2p，而p為設(shè)計(jì)的EUV多層膜的周期數(shù)，即

a_i＝[d₁,d₂,d₃,…,d_i,…,d_2p-1,d_2p]。 (2)

步驟三：評(píng)估父代種群中個(gè)體的雙目標(biāo)適應(yīng)度，第一個(gè)適應(yīng)度為表征多層膜膜系的個(gè)體的光學(xué)性能；第二個(gè)適應(yīng)度為膜層厚度存在高斯分布的隨機(jī)誤差下，表征膜系的個(gè)體的主動(dòng)魯棒性膜系設(shè)計(jì)的評(píng)價(jià)系數(shù)；

步驟四：對(duì)表征多層膜膜系的種群進(jìn)行非支配排序，得出每個(gè)個(gè)體的非支配排序；對(duì)于同序列的非支配個(gè)體，采用擁擠度距離進(jìn)一步排序；

步驟五：采用輪賽選擇機(jī)制，對(duì)表征多層膜膜系的個(gè)體進(jìn)行交叉操作，以此生成子代種群；

步驟六：對(duì)表征多層膜膜系的子代種群進(jìn)行變異操作；

步驟七：將表征多層膜膜系的父代和子代種群進(jìn)行合并；

步驟八：對(duì)合并種群的個(gè)體的兩個(gè)優(yōu)化目標(biāo)進(jìn)行雙目標(biāo)適應(yīng)度計(jì)算；

步驟九：對(duì)表征多層膜膜系的合并種群進(jìn)行非支配排序，對(duì)同序列的非支配個(gè)體再依據(jù)擁擠度距離進(jìn)一步排序，進(jìn)而基于非支配排序和擁擠度篩選出新的父代種群，返回步驟三，直到進(jìn)化到要求的代數(shù)；

步驟十：通過NSGA-II算法的進(jìn)化，獲得EUV多層膜膜系以寬角度反射譜的光學(xué)性能和主動(dòng)性魯棒設(shè)計(jì)性能為雙目標(biāo)的接近Pareto前沿的非支配解集，優(yōu)化的非支配解集中的個(gè)體提供了一系列可供選擇的寬角度EUV多層膜膜系，其中主動(dòng)魯棒性膜系設(shè)計(jì)的評(píng)價(jià)系數(shù)較小的膜系即為魯棒性膜系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟一的過程中，種群規(guī)模N為50-200，變異概率p_m為0.1-1.0，交叉概率p_c為0.1-1.0，交叉算子η_c為1-50，變異算子η_p為1-50，進(jìn)化代數(shù)j為1000-3000。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟一的過程中，種群規(guī)模N為100；變異概率p_m為0.1；交叉概率p_c為0.9；交叉算子η_c為2；變異算子η_p為2；進(jìn)化代數(shù)j為3000。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟三的過程中，雙目標(biāo)適應(yīng)度的評(píng)價(jià)函數(shù)為

$\begin{array}{c}{f}_1=\underset{{\mathrm{\θ}}_{\min }}{\overset{{\mathrm{\θ}}_{\max }}{\∫}}{\[R\left(\mathrm{\θ}\right)-\tilde{R}\left(\mathrm{\θ}\right)\]}^{2}d\mathrm{\θ}\\ f_2=f_1+\frac{1}{2}\underset{i=1}{\overset{2p}{\Σ}}\frac{{\∂}^2{f}_1}{\∂d_i^2}{\mathrm{\δ}}_{d,i}^2\end{array},---\left(3\right)$

其中θ為入射角，寬入射角帶寬為θ_min＝0°和θ_max＝16°(或θ_max＝18°)。評(píng)價(jià)函數(shù)f₁為表征多層膜膜系的個(gè)體的光學(xué)性能的適應(yīng)度，R(θ)為膜系計(jì)算反演的理論反射率，而為膜系設(shè)計(jì)的反射率目標(biāo)；評(píng)價(jià)函數(shù)f₂為膜層厚度經(jīng)膜厚誤差多次擾動(dòng)后評(píng)價(jià)函數(shù)f₁的統(tǒng)計(jì)平均值，而δ_d,i為第i層膜層的幾何厚度誤差的標(biāo)準(zhǔn)差。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟五的交叉操作中，采用對(duì)個(gè)體的全部基因參數(shù)進(jìn)行交叉操作。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟六的過程中，在變異操作中，僅對(duì)表征多層膜膜系的個(gè)體的單一基因參數(shù)進(jìn)行變異操作，以此進(jìn)一步更新子代種群。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，在所述步驟七的過程中，在父代和子代種群的合并中，對(duì)合并種群中的個(gè)體逐一進(jìn)行對(duì)比操作。如果兩個(gè)個(gè)體的基因完全相同，則保留其一，而對(duì)另一個(gè)體的基因參數(shù)重新進(jìn)行隨機(jī)賦值。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，所述的寬角度極紫外多層膜包括Mo/Si、Rh/Si、Ni/C和Ru/C中任一組合或兩種以上組合的交替層疊結(jié)構(gòu)。