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光罩結(jié)構(gòu)及COA型陣列基板的制作方法

文檔序號(hào):12459138閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光罩結(jié)構(gòu)及COA型陣列基板。所述光罩結(jié)構(gòu)包括中心遮光部(1)、包圍所述中心遮光部(1)并與中心遮光部(1)的外輪廓形狀一致的外圍遮光部(3)、以及夾在所述外圍遮光部(3)與中心遮光部(1)之間的環(huán)形的鏤空狹縫(5),曝光光線(xiàn)經(jīng)過(guò)所述鏤空狹縫(5)會(huì)發(fā)生衍射,產(chǎn)生傳播反向的彎散及能量強(qiáng)度的漸變,配合負(fù)性光阻,能夠使得最終制得的彩膜層過(guò)孔的坡度變緩,從而改善像素電極和金屬材質(zhì)的信號(hào)線(xiàn)之間的電連接質(zhì)量,避免出現(xiàn)顯示不良。

技術(shù)研發(fā)人員:孫濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201710146792
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.13
技術(shù)公布日:2017.05.31

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