本發(fā)明涉及用于照射偏振光的偏振元件單元以及偏振光照射裝置。

背景技術(shù)：

近年，關(guān)于以液晶面板為首的液晶顯示元件的取向膜及視角補償膜的取向?qū)拥鹊娜∠蛱幚?，采用照射?guī)定的波長的偏振光來進行取向的、被稱作光取向的技術(shù)。

在液晶面板中使用的光取向膜與液晶面板共同大型化，為了對這種寬度較寬且?guī)畹拈L工件進行光取向，使用將棒狀的燈與線柵偏振元件組合而成的偏振光照射裝置。

線柵偏振元件在供光透過的玻璃基板上具有沿一定的方向延伸的導電性或半導電性的線與間隔(lineandspace)圖案。在入射的光中，與柵格的長度方向平行的偏振成分的大部分被反射或被吸收，與柵格的長度方向正交的偏振成分則透過。

在專利文獻1中公開了一種偏振元件單元，具備多個線柵偏振元件，以及分別單獨地對該偏振元件進行保持的框架。在該偏振元件單元中，各偏振元件與燈等的線狀光源配合地排列成一列，在保持偏振元件的各框架設(shè)有用于分別調(diào)整偏振元件的朝向的調(diào)節(jié)機構(gòu)。

先行技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：專利第5652424號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

在上述專利文獻1所記載的技術(shù)中，為了使全部的偏振元件的偏振軸的角度一致，需要通過調(diào)節(jié)機構(gòu)分別對各偏振元件的角度進行調(diào)整。然而，上述作業(yè)耗費時間，且作業(yè)上的負擔較大。

因此，本發(fā)明的課題在于，提供一種不進行單個的偏振片的角度調(diào)整就能夠?qū)崿F(xiàn)均勻性較高的偏振軸的偏振元件單元以及偏振光照射裝置。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明涉及的偏振元件單元的一方式具備排列配置的多個偏振片；沿第一方向延伸的基準部件；以及隔著所述多個偏振片在正交于所述第一方向的第二方向上與所述基準部件相對置地配置，分別對所述多個偏振片進行保持的多個保持部件；所述多個保持部件分別向所述第二方向?qū)⑺龆鄠€偏振片的側(cè)面按壓于所述基準部件所具有的相同的基準面來進行保持。像這樣，由于使多個偏振片抵接并固定于共同的基準面，因此即使不單獨地調(diào)整偏振片的角度也能夠提高偏振片彼此的偏振軸的均勻性。

另外，在上述的偏振元件單元中，所述保持部件也可以經(jīng)由彈性部件按壓所述偏振片。在這種情況下，偏振片也可以由機械強度較低的玻璃等構(gòu)成，并能夠防止偏振片的歪斜或破損，且不對偏振片的功能產(chǎn)生影響。

并且，在上述的偏振元件單元中，還可以具備連結(jié)所述基準部件與所述保持部件的連結(jié)部件。在這種情況下，能夠抑制由于來自線狀光源的熱而因熱膨脹引起的基準部件與保持部件之間的間隔發(fā)生變化，能夠抑制偏振片的角度偏離。

另外，在上述的偏振元件單元中，所述多個偏振片也可以分別使所述第一方向的端部相互重合地配置。在這種情況下，能夠防止未偏振的光(非偏振光)被從偏振片的連接部分照射。另外，由于無需在偏振片的連接部分設(shè)置遮擋光的部件，因此能夠提高偏振片的排列方向上的偏振光的放射照度(以下，稱作“照度”。)的均勻性，作為整體也能夠提高偏振光的照度。

并且，在上述的偏振元件單元中，所述多個偏振片也可以分別相對于與所述第一方向以及所述第二方向平行的面傾斜地配置。在這種情況下，只要相對于第一方向朝向相同方向傾斜地配置多個偏振片，便能夠在更換多個偏振片中的某1個時不拆卸更換對象的偏振片以外的偏振片地、拆卸更換對象的偏振片。像這樣，能夠容易地進行偏振片的更換作業(yè)。

另外，本發(fā)明涉及的偏振光照射裝置的一方式具備光源以及對來自所述光源的光進行偏振的上述任一偏振元件單元，所述光源沿所述第一方向配置。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)不單獨地進行偏振片的角度調(diào)整地提高偏振軸的均勻性的偏振光照射裝置。

并且，本發(fā)明涉及的偏振光照射方法的一方式，照射通過多個偏振片將來自沿第一方向配置的光源的光偏振而得的偏振光，所述多個偏振片被排列配置，且分別被保持部件向正交于所述第一方向的第二方向按壓于沿所述第一方向延伸的基準部件所具有的相同的基準面來被保持。由此，即使不單獨進行偏振片的角度調(diào)整也能夠照射提高了偏振軸的均勻性的偏振光。

根據(jù)本發(fā)明，由于使多個偏振片抵接于1個基準面而固定，因此能夠?qū)崿F(xiàn)不單獨進行偏振片的角度調(diào)整的均勻性較高的偏振軸。

附圖說明

圖1為表示本實施方式的偏振光照射裝置的概略構(gòu)成圖。

圖2為表示偏振元件單元的結(jié)構(gòu)的圖。

圖3為表示偏振元件單元的具體的結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖4為表示偏振片的固定方法的圖。

圖5為表示拆卸了偏振元件單元的偏振片后的狀態(tài)的圖。

圖6為表示臺座部件的結(jié)構(gòu)的圖。

圖7為表示偏振片與罩部件的位置關(guān)系的圖。

圖8為偏振片的其他配置例。

圖9為偏振片的其他配置例。

圖10為表示偏振元件單元的組裝步驟的圖。

圖11為燈長度方向上的累積曝光量的變化的圖。

圖12為表示基準部件的調(diào)整機構(gòu)的圖。

符號說明

10…光照射部，11…燈，12…反射鏡，13…偏振元件單元，13a…偏振片，13b…框架部件，14…燈室，20…輸送部，21…工作臺，100…偏振光照射裝置，131a、131b…單元基體，132…基準部件，132a…基準面，133…保持部件，133a…彈性部件，134…罩部件，135…罩部件，136…臺座部件，136a…傾斜面，136b…保護部，138…連結(jié)部件，w…工件。

具體實施方式

以下，基于附圖說明本發(fā)明的實施方式。

(第一實施方式)

圖1為表示本實施方式的偏振光照射裝置100的概略構(gòu)成圖。

偏振光照射裝置100具備光照射部10，以及輸送工件w的輸送部20。在這里，工件w例如是形成有光取向膜的矩形形狀的基板。偏振光照射裝置100從光照射部10照射偏振光(偏振后的光)，同時通過輸送部20使工件w直線移動，對工件w的光取向膜照射上述偏振光來進行光取向處理。

光照射部10具備作為線狀的光源的燈11，以及反射燈11的光的反射鏡12。另外，光照射部10具備配置于該光出射側(cè)的偏振元件單元13。進而，光出射部10具備收容燈11、反射鏡12以及偏振元件單元13的燈室14。光照射部10被以燈11的長度方向與正交于工件w的輸送路延伸的方向即輸送方向的方向一致的狀態(tài)而設(shè)置。在本說明書中，設(shè)工件w的輸送方向為x方向(第二方向)，與x方向正交的水平方向為y方向(第一方向)，鉛垂方向為z方向(第三方向)。

此外，在圖1中，設(shè)燈具(光照射部)為1個燈，但也可以是2個燈以上。燈具為2個燈以上時，各燈具在x方向排列設(shè)置。燈具的數(shù)量可根據(jù)光取向處理所需的光量或生產(chǎn)節(jié)拍時間等來確定。

以下，說明光照射部10的具體的結(jié)構(gòu)。

燈11為長條狀的所謂的長弧放電燈，其發(fā)光部具有對應于與工件w的輸送方向正交的方向的寬度的長度。該燈11例如是高壓水銀燈、或向水銀加入其他金屬和鹵而成的金屬鹵化物燈、封入水銀以外的金屬和鹵而成的金屬鹵化物燈等的放電燈，根據(jù)封入的發(fā)光種類放射波長200nm～400nm的紫外光。

作為光取向膜的材料，已知有由波長254nm的光進行取向的材料、以波長313nm的光進行取向的材料、以波長365nm的光進行取向的材料等，光源的種類根據(jù)所需的波長來適當選擇。

此外，作為光源，也可以使用在y方向直線狀地排列并配置放射紫外光的led或ld而成的線狀光源。此時，排列l(wèi)ed或ld的方向相當于燈11的長度方向。

另外，也可以在y方向上排列配置短弧放電燈或長度較短的長弧放電燈。此外，在長度較短的長弧放電燈的情況下，燈的長度方向既可以是y方向也可以是x方向。

反射鏡12使來自燈11的放射光向規(guī)定的方向反射，其為截面呈橢圓形或拋物線狀的筒狀會聚鏡。反射鏡12被配置為其長度方向與燈11的長度方向一致。

燈室14在其底面具有供來自燈11的放射光以及由反射鏡12反射的反射光通過的光出射口。偏振元件單元13安裝于燈室14的光出射口，使通過該光出射口的光偏振。

如圖2所示，偏振元件單元13具有沿y方向、即本實施方式中的燈11的長度方向排列配置多個偏振器(偏振片)13a的結(jié)構(gòu)。這些多個偏振片13a例如由框架部件13b進行支承。偏振片13a例如是線柵型偏振元件，偏振片13a的個數(shù)配合對偏振光進行照射的區(qū)域的大小而適當選擇。此外，構(gòu)成1個偏振元件單元13的各偏振片13a被配置為各自的透光軸朝向相同方向。后述偏振元件單元13的具體的結(jié)構(gòu)。

輸送部20具備載置工件w的工作臺21。工作臺21是能夠通過真空吸附等的方法對工件w進行吸附保持的平板狀的工作臺。此外，在本實施方式中，將工作臺21以及工件w設(shè)為矩形形狀，但不限于此，能夠設(shè)為任意的形狀。另外，不限定于用平板狀的工作臺吸附保持工件w的結(jié)構(gòu)，也可以通過多個銷對工件w進行吸附保持的結(jié)構(gòu)。

另外，輸送部20具備用于使工作臺21在x方向上移動的x方向驅(qū)動機構(gòu)22。x方向驅(qū)動機構(gòu)22例如是線性馬達驅(qū)動機構(gòu)，具備沿x方向延伸的2根導軌22a、在2根導軌22a之間配置的磁性板22b、以及線圈模塊22c。2根導軌22a與磁性板22b配置于未圖示的設(shè)置臺的上表面。磁性板22b由交替改變相鄰的磁極的極性地、沿x方向等間隔排列的多個磁鐵構(gòu)成。另外，線圈模塊22c在工作臺21的背面的中央部被安裝為與磁性板22b相對置。此外，作為x方向驅(qū)動機構(gòu)22也能夠采用例如利用滾珠螺桿的機構(gòu)。

像這樣，工作臺21構(gòu)成為能夠沿作為輸送軸的導軌22a在x方向上往返移動。此外，x方向驅(qū)動機構(gòu)22的結(jié)構(gòu)不限于圖1所示的結(jié)構(gòu)，只要是使工作臺21能夠在x方向上移動的結(jié)構(gòu)則可以采用任意的構(gòu)成。

并且，輸送部20也可以具備構(gòu)成使工作臺21能夠沿θ方向(繞z軸)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)控制部的θ移動機構(gòu)24。本實施方式中，工作臺21被安裝為能夠在固定基體25上向θ方向旋轉(zhuǎn)，θ移動機構(gòu)24能夠調(diào)整工作臺21的θ方向的旋轉(zhuǎn)角度。

工作臺21的移動路徑被設(shè)計成通過光照射部10的下方。輸送部20構(gòu)成為，將工件w輸送至由光照射部10照射偏振光的照射區(qū)域，且使工件w通過該照射區(qū)域。另外，輸送部20也可以構(gòu)成為，在工件w完全通過照射區(qū)域后，使該工件w折返而再次通過該照射區(qū)域。

以下，說明偏振元件單元13的具體的結(jié)構(gòu)。

圖3為表示偏振元件單元13的具體結(jié)構(gòu)的立體圖。保持偏振片13a的框架部件13b具備沿y方向延伸的2根縱長狀的單元空間131a以及131b。在一方的單元基體(第一基體)131a設(shè)有基準部件132，在另一方的單元基體(第二基體)131b設(shè)有保持部件133。第一基體131a以及第二基體131b通過螺紋緊固等固定于燈室14(圖1)。

偏振片13a被基準部件132與保持部件133夾持，從保持部件133朝向基準部件132地向x方向按壓從而被保持。保持部件133被設(shè)為與偏振片13a的數(shù)量相同的數(shù)量。例如，偏振元件單元13具有20張偏振片13a的情況下，該偏振元件單元13具有分別與20張偏振片13a對應的20個保持部件132。另外，在基準部件132、保持部件133安裝有分別與各偏振片13a對應的罩部件134、135，限制偏振片13a在z方向上的移動。此外，在圖3中，為方便說明，示出將罩部件134、135拆卸了一部分的狀態(tài)。

如圖4所示，基準部件132具有供多個偏振片13a抵接的基準面132a。在本實施方式中，將該基準面132a設(shè)為與z方向及y方向平行的平面。偏振片13a是矩形形狀的板材，將形成有線柵的面朝向上方(燈11側(cè))，側(cè)面與基準部件132的基準面132a抵接而被固定。此外，在本實施方式中，說明了將基準部件132的基準面132a設(shè)成與y方向及z方向平行的面的情況，但基準面132a也可以是相對于yz平面而傾斜的面。

另外，保持部件133具有彈性部件133a，并經(jīng)由彈性部件133a向x方向按壓偏振片13a的與向基準面132a的抵接側(cè)相反的一側(cè)的側(cè)面，在這里，彈性部件133a例如是彈簧部件，更具體地是板簧。例如如圖4所示，板簧133a通過螺釘133b而固定于保持部件133。

此外，按壓偏振片13a的部件不限于彈性部件133a，例如也可以是螺釘部件。但是，偏振片13a多為將玻璃部件作為母材而制造，其厚度為1.0mm以下，因此若以較強的力向基準面132a按壓，有可能歪斜或破損。為此，為了不影響偏振片13a的功能，優(yōu)選使用彈簧部件等的彈性部件133a來彈性地保持偏振片13a。

并且，在本實施方式中，偏振片13a分別相對于水平面(xy平面)傾斜地被配置，并且排列方向(y方向)端部相互重合地被配置。此外，在這里所說的“重合”是指，從光源側(cè)即正上方向z方向下側(cè)觀察偏振片13a時y方向兩端相互重合而沒有間隙。

圖5為表示拆卸了偏振元件單元13的偏振片13a后的狀態(tài)的圖。偏振元件單元13具備支承偏振片13a的x方向兩端部的臺座部件136。臺座部件136分別配置于基準部件132與保持部件133的附近。

臺座部件136的上表面136a載置偏振片13a，是支承該偏振片13a的端部下表面的支承面，并成為圖6所示的傾斜面。通過將臺座部件136設(shè)計成規(guī)定的形狀，能夠?qū)⑵衿?3a的斜向(日文：煽り)角度、偏振片13a間的重疊尺寸以及偏振片13a間的上下間隙設(shè)定為所需的值。在本實施方式中，如圖6所示，以將全部的偏振片13a向相同的朝向傾斜地配置、即配置成所謂的多米諾傾倒狀態(tài)的方式設(shè)計臺座部件136。

另外，也可以在臺座部件136設(shè)置保護部136b，對傾斜地配置的偏振片13a的傾斜方向下側(cè)的端部(圖6的左側(cè)端部)進行保護。保護部136被設(shè)置用于防止偏振片13的端部與臺座部件136抵接而缺失以及固定傾斜配置的偏振片136以避免使其滑動而向y方向移動。也就是說，保護部136與偏振片13a的傾斜方向的下端部抵接，并作為限制該偏振片13a向傾斜方向的下側(cè)移動的移動限制部發(fā)揮功能。保護部136能夠由氟樹脂(例如，teflon(鐵氟龍)(注冊商標))等保護偏振片13的端部的材料構(gòu)成。

另外，優(yōu)選的是，重合的各偏振片13a以不互相損傷的方式在上下方向上空開間隔地配置。但是，以非偏振光不從偏振片13a彼此的間隙漏出的方式對偏振片13a的傾斜角度及偏振片13a在y方向的重疊尺寸進行設(shè)定。例如，能夠設(shè)偏振片13a的傾斜角度θ＝0.7度，設(shè)偏振片13a在y方向的長度為145mm，設(shè)y方向的重疊尺寸為15mm，設(shè)上下的間隙為0.9mm。

并且，優(yōu)選的是，安裝于基準部件132的罩部件134以及安裝于保持部件133的罩部件135，分別以不接觸偏振片13a的上表面的方式進行配置。在圖7中示出罩部件134與偏振片13a的位置關(guān)系。在本實施方式中，如圖7所示，罩部件134以與偏振片13a相同的傾斜角度配置，在罩部件134的下表面與偏振片13a的上表面之間，在偏振片13a的傾斜方向上形成有一定的間隙。

在這里，罩部件134與偏振片13a之間的上下間隙與偏振片13a間的上下間隙相同，罩部件134的y方向的長度被設(shè)定為在y方向上不與鄰接的偏振片13a接觸的長度。在本實施方式中，如圖7所示，罩部件134在y方向上的一方的端部(圖7的左側(cè)端部)與在y方向上與該罩部件134鄰接的偏振片13a的一方的端部(圖7的右側(cè)端部)之間的間隙被盡可能窄地設(shè)定。

通過這樣的結(jié)構(gòu)，罩部件134能夠限制鄰接的偏振片13a在y方向上的移動。也就是說，罩部件134靠近偏振片13a的傾斜方向的上端部，并作為限制該偏振片13a向傾斜方向的上側(cè)移動的移動限制部發(fā)揮功能。此外，關(guān)于罩部件135，與罩部件134相同。

此外，在本實施方式中，說明了將偏振片13a相對于水平面(xy平面)傾斜地配置的情況，但偏振片13a也可以水平配置。在這種情況下，例如如圖8所示，也可以在高度方向(z方向)配置2層偏振片13a，且以在y方向兩端部中上層與下層平行地重合的方式相互錯開地配置。另外，例如如圖9所示，也可以將全部的偏振片13a配置于相同平面上。如圖9所示，在將偏振片13a在相同平面上排列配置的情況下，也可以在偏振片13a的連接部分設(shè)置用于防止非偏振光的漏出的遮擋部件136c。

接下來，說明偏振元件單元13的組裝步驟。

首先，如圖10(a)所示，將第一基體131a與第二基體131b平行地配置，在其間夾著具有規(guī)定的寬度的調(diào)整寬度塊夾具137來固定間隔。然后，在該狀態(tài)下，通過連結(jié)部件138連結(jié)并固定第一基體131a與第二基體131b。

連結(jié)部件138將基體131a、131b間的距離保持為固定，被設(shè)置以強化基體131a、131b間的固定。該連結(jié)部件138在第一基體131a與第二基體131b之間，例如通過螺釘緊固等而固定。通過設(shè)置連結(jié)部件138，能夠防止基體131a、131b熱膨脹而偏振片13a的角度偏離。此外，為了減少遮光成分，優(yōu)選連結(jié)部件138的根數(shù)少于偏振片13a的個數(shù)。例如，在偏振片13a為23張的情況下，連結(jié)部件138設(shè)為4根。

接下來，如圖10(b)所示，在第一基體131a上安裝基準部件132。然后，從y方向上的一方側(cè)依次組入偏振片13a。此時，如圖10(c)所示，各偏振片13a的x方向端部與基準部件132的基準面132a抵接而配置。另外，偏振片13a使y方向端部相互重合地配置。之后，如圖4所示，偏振片13a通過保持部件133向x方向被按壓而固定。由此，多個偏振片13a以全部共同的基準部件132的基準面132a為基準設(shè)定配置角度。

如上所述，偏振元件單元13具備沿y方向排列配置的多個偏振片13a、具有規(guī)定的基準面132a的基準部件132、以及將多個偏振片13a向x方向按壓于基準面132a來進行保持的保持部件133。像這樣，由于具有使多個偏振片13a抵接并固定于共同的基準面132a的結(jié)構(gòu)，因此即使不單獨地調(diào)整偏振片13a的角度也能夠提高偏振片13a彼此的偏振軸的均勻性。這是由于多個偏振片13a的角度的基準被基準部件132的基準面132a統(tǒng)一。

近年，偏振片的制造技術(shù)得到提高，不再需要對因偏振片的制造誤差而引起的偏振軸的偏離進行調(diào)整。也就是說，即使不單獨地旋轉(zhuǎn)偏振片來調(diào)整偏振軸的角度，只要統(tǒng)一偏振片的配置角度便能夠使偏振軸的角度統(tǒng)一。因此，像本實施方式這樣，使矩形形狀的多個偏振片的側(cè)面抵接并固定于1個基準面，從而能夠容易地實現(xiàn)偏振軸的均勻性。

用于光取向的偏振光照射裝置逐年大型化，出現(xiàn)了線狀光源超過3m的裝置。在這種偏振光照射裝置中，偏振片的張數(shù)也超過了每1個光源25張，有2根線狀光源的話則搭載50張以上的偏振片。將這些偏振片分別收納于單獨的框架，并分別單獨地進行角度調(diào)整的話，有時作業(yè)時間達到3小時以上。與此相對，在本實施方式中，由于能夠容易地進行多個偏振片的角度調(diào)整，因此能夠大幅度地縮短作業(yè)時間并減輕作業(yè)負擔。

另外，由于保持部件133經(jīng)由彈性部件133a按壓偏振片13a，因此能夠防止偏振片13a的歪斜或破損地對偏振片13a進行保持，能夠不對偏振片13a的功能產(chǎn)生影響。

并且，由于通過連結(jié)部件138將固定了基準部件132的第一基體131a與固定了保持部件133的第二基體131b連結(jié)，因此能夠強化基體間的固定。其結(jié)果，能夠抑制由燈11發(fā)熱導致的熱膨脹引發(fā)偏振片13a的角度偏離。

在這里，多個偏振片13a也可以使y方向的端部分別相互重合地配置。在這種情況下，能夠可靠地防止未偏振的光(非偏振光)從偏振片13a的連接部分照射工件w。另外，也可以設(shè)為，在偏振片13a的連接部分不存在用于防止非偏振光的漏出光的遮擋部件或分別單獨地保持各偏振片13a的框架部件等。因此，能夠提高燈長度方向上的照度的均勻性，作為整體也能夠提高偏振光的照度。

圖11為說明本實施方式的照度提高的效果的圖。該圖12為表示對圖6或圖8所示的使偏振片的端部重合的偏振元件單元、及圖9所示的在偏振片的連接部分設(shè)置遮擋部件的偏振元件單元比較了累積曝光量而得的結(jié)果的圖。在圖11中，橫軸為水平配置的長弧燈的長度方向的坐標，縱軸為偏振光的累積曝光量。

在虛線所示的在偏振片的連接部分設(shè)置遮擋部件的偏振元件單元中，可知隨著移動燈長度坐標、累積曝光量上下變動。這是由于遮擋部件的部分、即在偏振片的連接部分發(fā)生光量的下降。在該比較例中，可知燈長度方向的偏振光的照度的均勻度降低且整體的累積曝光量也降低。

與此相對，在使偏振片的端部重合的偏振元件單元中，雖然在偏振片的重合部分觀察到稍許光量降低，但照度的均勻度較優(yōu)，整體的累積曝光量也得到提高。

另外，多個偏振片13a也可以相對于xy方向傾斜地配置。在這種情況下，更換多個偏振片13a中的某1個時，能夠不拆卸更換對象的偏振片13a以外的偏振片地、拆卸更換對象的偏振片13a。因此，能夠容易地進行例如發(fā)生異常的偏振片13a的更換作業(yè)。

(變形例)

在上述實施方式中，說明了在構(gòu)成偏振元件單元13的第一基體131a配置1根基準部件132的情況，但也可以配置多根基準部件132。例如，如圖12(a)所示，也可以在第一基體131a沿y方向?qū)?根基準部件132a～132c排列配置為一列，并分別使各個多張偏振片13a與基準部件132a～132c抵接而固定。只要在基準部件132a～132c之間以形成相同的基準面的方式調(diào)整基準部件132a～132c的位置并固定于第一基體131a，便能夠獲得與全部偏振片13a與1根基準部件132抵接而固定的情況相同的效果。此外，在配置多根基準部件132的情況下，基準部件132的根數(shù)能夠根據(jù)燈11的發(fā)光長度適當設(shè)定。

另外，基準部件132也可以是經(jīng)由墊片部件固定于第一基體131a，并能夠相對于第一基體131a向θ方向(繞z軸)稍微進行位置調(diào)整的結(jié)構(gòu)。例如，如圖12(b)所示，也可以設(shè)為，在基準部件132b的y方向兩端部配置墊片部件139a以及139b，通過減少墊片部件139a并旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺釘，從而能夠進行基準部件132b的θ方向的角度調(diào)整。