光取向用偏振光照射裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種光取向用偏振光照射裝置。本實用新型的光取向用偏振光照射裝置包括：照射單元，設(shè)置有對被照射物照射偏振光的照射面；載臺，搭載被照射物；搬送機構(gòu)，搬送載臺，以使載臺上的被照射物以平行于照射面的方式通過從照射面照射偏振光的照射區(qū)域；位置檢測部件，在由搬送機構(gòu)所搬送的載臺的移動中，對至所述載臺或所述被照射物的距離進行測定，而對載臺或被照射物的位置進行檢測；以及控制部件，基于位置檢測部件所檢測出的檢測結(jié)果，來進行規(guī)定的控制。藉此，可適當(dāng)管理偏振光相對于被照射物的照射狀態(tài)，從而抑制了被照射物的制造品質(zhì)下降。
【專利說明】
光取向用偏振光照射裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及一種光取向用偏振光照射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板(panel)等的制造工序中，要對液晶面板的取向膜或視角補償薄膜(film)的取向?qū)拥缺徽丈湮镞M行取向處理。在取向處理中，已知有一種為了進行所謂的光取向而使用的光取向用偏振光照射裝置，所述光取向是指通過對取向膜照射規(guī)定波長的偏振光來進行取向。
[0003]作為此種光取向用偏振光照射裝置，例如存在如下構(gòu)成，其具備:照射單元(unit)，設(shè)置有照射偏振光的照射面;載臺(stage)，搭載形成有取向膜的基板；以及搬送機構(gòu)，搬送載臺。照射單元具有從照射面照射偏振光的照射區(qū)域。搬送機構(gòu)搬送載臺，以使載臺上的基板以平行于照射面的方式通過照射單元的照射區(qū)域。
[0004]而且，作為與所述光取向用偏振光照射裝置類似的裝置，已知有一種曝光裝置，其以搭載有基板的第I載臺及第2載臺通過用以對基板照射曝光用光的曝光部的方式來搬送第I載臺及第2載臺。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻I:日本專利特開2008-191302號公報【實用新型內(nèi)容】
[0008][實用新型所要解決的問題]
[0009]然而，在液晶面板的制造工序中，有時要求下述精度，S卩，將對作為被照射物的取向膜照射的偏振光的光軸的位置偏離控制在±0.1°左右的容許值內(nèi)。另一方面，所述光取向用偏振光照射裝置中，在由搬送機構(gòu)所搬送的載臺的移動中，有可能會伴隨搬送機構(gòu)的搬送狀態(tài)的經(jīng)時變化或搬送機構(gòu)的劣化等而導(dǎo)致載臺產(chǎn)生振動。在移動中的載臺產(chǎn)生振動的情況下，基板通過照射區(qū)域時偏振光對取向膜的照射狀態(tài)將發(fā)生變動，因此存在導(dǎo)致取向膜的品質(zhì)下降的問題。尤其，存在下述傾向，即，載臺相對于與照射單元的照射面正交的軸周向的位置偏離或振動會對取向膜的品質(zhì)造成大的影響。
[0010]因此，本實用新型的目的在于提供一種光取向用偏振光照射裝置，能夠適當(dāng)管理偏振光對被照射物的照射狀態(tài)，從而能夠抑制被照射物的制造品質(zhì)下降。
[0011][解決問題的技術(shù)手段]
[0012]實施方式的光取向用偏振光照射裝置包括:照射單元，設(shè)置有對被照射物照射偏振光的照射面;載臺，搭載所述被照射物;搬送機構(gòu)，搬送所述載臺，以使所述載臺上的所述被照射物以平行于所述照射面的方式通過從所述照射面照射的偏振光的照射區(qū)域;位置檢測部件，在由所述搬送機構(gòu)所搬送的所述載臺的移動中，對至所述載臺或所述被照射物的距離進行測定，而對所述載臺或所述被照射物的位置進行檢測；以及控制部件，基于所述位置檢測部件所檢測出的檢測結(jié)果，來進行規(guī)定的控制。
[0013]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述位置檢測部件是在與所述照射面正交的軸周向，對所述載臺或所述被照射物相對于所述載臺的搬送方向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測。
[0014]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述位置檢測部件在所述照射區(qū)域內(nèi)，相對于所述照射區(qū)域而配置在所述載臺的搬送方向上的其中一側(cè)及另一側(cè)的至少一處。
[0015]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述位置檢測部件是配置成:對與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向中的至少一方向上的、所述載臺或所述被照射物的位置進行檢測。
[0016]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，還包括:照射部，具有所述照射單元，所述位置檢測部件被設(shè)置于所述照射部。
[0017]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，還包括:照射部，具有所述照射單元，所述搬送機構(gòu)具有第I搬送路徑及第2搬送路徑，所述第I搬送路徑設(shè)置在所述載臺朝向所述照射區(qū)域開始移動的開始位置與所述照射部之間，所述第2搬送路徑設(shè)置在通過所述照射區(qū)域后的所述載臺所停止的停止位置與所述照射部之間，所述位置檢測部件是設(shè)置在沿著所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一個的位置。
[0018]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述位置檢測部件被設(shè)置于所述載臺。
[0019]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述位置檢測部件是配置成:對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向中的至少一方向的位置進行檢測。
[0020]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，還包括:照射部，具有所述照射單元，所述照射部具有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向的位置進行檢測。
[0021]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，所述照射單元具有出射偏振光的偏振元件、及保持所述偏振元件的保持構(gòu)件，在所述保持構(gòu)件上設(shè)置有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向的位置進行檢測。
[0022]根據(jù)實施方式的光取向用偏振光照射裝置，還包括:照射部，具有所述照射單元，所述搬送機構(gòu)具有第I搬送路徑及第2搬送路徑，所述第I搬送路徑設(shè)置在所述載臺朝向所述照射區(qū)域開始移動的開始位置與所述照射部之間，所述第2搬送路徑設(shè)置在通過所述照射區(qū)域后的所述載臺所停止的停止位置與所述照射部之間，在沿著所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一個的位置，設(shè)置有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向的位置進行檢測。
[0023](實用新型的效果)
[0024]根據(jù)本實用新型，能夠適當(dāng)管理偏振光對被照射物的照射狀態(tài)，從而能夠抑制被照射物的制造品質(zhì)下降。
【附圖說明】
[0025]圖1是表示第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置的立體圖。
[0026]圖2是表示第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0027]圖3是表示第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0028]圖4是用于說明在第I實施方式的光取向用偏振光照射裝置中基于光傳感器的檢測結(jié)果的處理的流程圖。
[0029]圖5是表示第I實施方式的變形例I的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0030]圖6是表示第I實施方式的變形例2的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0031]圖7是表示第I實施方式的變形例2的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0032]圖8是示意性地表示第I實施方式的變形例3的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0033]圖9是表示第2實施方式的光取向用偏振光照射裝置的立體圖。
[0034]圖10是表示第2實施方式的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0035]圖11是表示第2實施方式的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0036]圖12是表示第2實施方式的變形例I的光取向用偏振光照射裝置的平面圖。
[0037]圖13是表示第2實施方式的變形例I的光取向用偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0038][符號的說明]
[0039]1:光取向用偏振光照射裝置
[0040]2、3、4、5、6:偏振光照射裝置
[0041]11:基板
[0042]12:照射部
[0043]13:照射單元
[0044]13a:光源
[0045]13b、29:反射板
[0046]13c:偏光板
[0047]丨3d:保持構(gòu)件
[0048]14、23a、33a:框架
[0049]15:載臺
[0050]16:搬送機構(gòu)
[0051]16a:導(dǎo)軌
[0052]16b:驅(qū)動單元
[0053]17:搬送路徑
[0054]17a:第I搬送路徑
[0055]17b:第2搬送路徑
[0056]17c:第3搬送路徑
[0057]18:光傳感器
[0058]19:控制部
[0059]20:操作部
[0060]20a:顯示面板
[0061]21:支撐體
[0062]23:傳感器支撐部
[0063]25:位置修正機構(gòu)
[0064]29a:基準(zhǔn)面
[0065]33:反射板支撐部
[0066]A:照射區(qū)域
[0067]B:照射面
[0068]Pl:開始位置
[0069]P2:停止位置
[0070]X、Y、Z:軸
[0071]S1、S2、S3:步驟
【具體實施方式】
[0072]以下要說明的實施方式的光取向用偏振光照射裝置(以下稱作偏振光照射裝置)1具備照射單元13、載臺15、搬送機構(gòu)16、作為位置檢測部件的光傳感器18以及作為控制部件的控制部19。在照射單元13中設(shè)置有照射面B。照射面B具有對作為被照射物的基板11照射偏振光的照射區(qū)域A。在載臺15上搭載基板11。搬送機構(gòu)16搬送載臺15，以使載臺15上的基板11以平行于照射面B的方式通過照射區(qū)域A。光傳感器18在由搬送機構(gòu)16所搬送的載臺15的移動中，檢測載臺15或基板11的位置?？刂撇?9基于光傳感器18所檢測出的檢測結(jié)果來進行規(guī)定的控制。
[0073]而且，以下要說明的實施方式的偏振光照射裝置I所具有的光傳感器18是在與照射面B正交的軸周向，對載臺15或基板11相對于載臺15的搬送方向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測。
[0074]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置I所具有的光傳感器18是在照射區(qū)域A內(nèi)，相對于照射區(qū)域A而配置在載臺15的搬送方向上的其中一側(cè)及另一側(cè)中的至少一處。
[0075]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置I所具有的光傳感器18配置成:對與照射面B正交的方向及與照射面B平行的方向中的至少一方向上的、載臺15或基板11的位置進行檢測。
[0076]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置I包括具有照射單元13的照射部12。光傳感器18被設(shè)置于照射部12。
[0077]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置3包括具有照射單元13的照射部12。搬送機構(gòu)16具有第I搬送路徑17a與第2搬送路徑17b。第I搬送路徑17a設(shè)置在載臺15朝向照射區(qū)域A開始移動的開始位置Pl與照射部12之間。第2搬送路徑17b設(shè)置在通過照射區(qū)域A后的載臺15所停止的停止位置P2與照射部12之間。光傳感器18被設(shè)置在沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b中的至少一個的位置。
[0078]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置5所具有的光傳感器18被設(shè)置于載臺15。
[0079]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置5所具有的光傳感器18配置成:對載臺15相對于與照射面B正交的方向及與照射面B平行的方向中的至少一方向的位置進行檢測。
[0080]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置5包括具有照射單元13的照射部12。照射部12具有基準(zhǔn)面29a，該基準(zhǔn)面29a用于通過光傳感器18，來對載臺15相對于與照射面B正交的方向及與照射面B平行的方向的位置進行檢測。
[0081]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置5所具有的照射單元13包括作為偏振元件的偏光板13c以及保持構(gòu)件13d ο偏光板13c出射偏振光。保持構(gòu)件13d保持偏光板13c。在保持構(gòu)件13d上設(shè)置有基準(zhǔn)面29a，該基準(zhǔn)面29a用于通過光傳感器18，來對載臺15相對于與照射面B正交的方向的位置進行檢測。
[0082]而且，以下說明的實施方式的偏振光照射裝置6包括具有照射單元13的照射部12。搬送機構(gòu)16具有第I搬送路徑17a與第2搬送路徑17b。第I搬送路徑17a設(shè)置在載臺15朝向照射區(qū)域A開始移動的開始位置Pl與照射部12之間。第2搬送路徑17b設(shè)置在通過照射區(qū)域A后的載臺15所停止的停止位置P2與照射部12之間。在沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b中的至少一個的位置，設(shè)置有基準(zhǔn)面29a，該基準(zhǔn)面29a用于通過光傳感器18，來對載臺15相對于與照射面B正交的方向及與照射面B平行的方向的位置進行檢測。
[0083](第丨實施方式)
[0084]以下，參照附圖來說明實施方式的偏振光照射裝置。本實施方式的偏振光照射裝置是被用于:對形成有作為被照射物的取向膜的基板照射直線偏振光等偏振光，由此來進行光取向。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用于液晶面板的取向膜或視角補償薄膜等光學(xué)薄膜的取向?qū)拥闹圃臁?br>[0085](偏振光照射裝置的構(gòu)成)
[0086]圖1是表示第I實施方式的偏振光照射裝置的立體圖。圖2是表示第I實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。圖3是表示第I實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。
[0087]第I實施方式的偏振光照射裝置I如圖1?圖3所示，具備:具有照射單元13的照射部12、載臺15、搬送機構(gòu)16、以及作為位置檢測部件的多個光傳感器18。而且，偏振光照射裝置I具備作為控制部件的控制部19。
[0088]如圖2及圖3所示，照射部12具有照射單元13以及支撐照射單元13的框架14。照射單元13如圖3所示，使具有照射偏振光的照射區(qū)域A的照射面B朝向形成有作為被照射物的取向膜的矩形基板11(以下簡稱作基板11)。照射面B是與圖2中所示的X-Y平面平行地配置，照射面B的面積相當(dāng)于照射區(qū)域A。
[0089]而且，照射單元13如圖3所示，具有:發(fā)出包含紫外線的光的管狀光源13a、及對光源13a發(fā)出的光進行反射的反射板13b。而且，照射單元13具有:作為偏振元件的偏光板13c，使光源13a發(fā)出的光與被反射板13b反射的光入射而出射偏振光；以及框狀的保持構(gòu)件13d，保持偏光板13c。
[0090]另外，此處所述的“照射區(qū)域A”是指如下所述的范圍，S卩:從照射單元13最下表面的開口，即，從照射單元13中配置在最靠近被照射物的位置的開口偏振光所照射到的范圍。而且，“照射面B”是指在配置于照射單元13最下表面的光學(xué)元件中，出射偏振光的出射面。例如，當(dāng)在照射單元13的最下表面配置有偏光板13c時，從配置有偏光板13c的開口偏振光所照射到的范圍相當(dāng)于照射區(qū)域A，偏光板13c的出射面相當(dāng)于照射面B。而且，當(dāng)在較偏光板13c更靠被照射物側(cè)配置有遮光板(未圖示)時，從配置有遮光板的開口偏振光所照射到的范圍相當(dāng)于照射區(qū)域A，遮光板的出射面相當(dāng)于照射面B。進而，當(dāng)在遮光板上配置有保護玻璃(未圖示)時，從配置有保護玻璃的開口偏振光所照射到的范圍相當(dāng)于照射區(qū)域A，保護玻璃的出射面相當(dāng)于照射面B。
[0091]光源13a例如使用在紫外線透射性的玻璃管內(nèi)封入有汞、氬、氙等稀有氣體的高壓萊燈或者在高壓萊燈中進而封入有鐵或碘等金屬鹵化物(metal halide)的金屬鹵化物燈等管型放電燈，具有直線狀的發(fā)光部。光源13a中，發(fā)光部的長邊方向與載臺15相對于照射單元13的搬送方向正交，發(fā)光部的長度長于基板11的一邊的長度。光源13a能夠從直線狀的發(fā)光部發(fā)出例如包含波長為200nm左右至400nm左右為止的紫外線的光。光源13a發(fā)出的光是具有各種偏振軸成分的所謂的非偏振光。
[0092]反射板13b在與光源13a相向的面上，具有將光源13a發(fā)出的光予以反射的反射面，反射面是形成為呈楕圓的一部分的形狀。由此，反射板13b構(gòu)成為對光源13a發(fā)出的光進行聚光的所謂聚光型的反射板。偏光板13c能夠從光源13a發(fā)出的并包含一樣地朝所有方向振動的各種偏振軸成分的光中，導(dǎo)出僅朝基準(zhǔn)方向振動的偏振軸的光。另外，一般將僅朝基準(zhǔn)方向振動的偏振軸的光稱作直線偏振光。而且，偏振軸是指光的電場及磁場的振動方向。
[0093]照射部12的框架14如圖2及圖3所示，跨及搬送機構(gòu)16的后述的導(dǎo)軌(guide rail)16a而配置。在框架14的內(nèi)部的上方，支撐有照射單元13。
[0094]載臺15形成為矩形的板狀，搭載形成有取向膜的基板11。如圖2及圖3所示，載臺15可沿Y軸方向移動地由搬送機構(gòu)16予以支撐。而且，載臺15的外形尺寸優(yōu)選設(shè)定為后述的多個光傳感器18的各檢測光可同時照射到的大小，可根據(jù)I個光傳感器18的構(gòu)成來適當(dāng)設(shè)定。
[0095]搬送機構(gòu)16如圖2及圖3所示，具有直線狀的導(dǎo)軌16a、及沿著導(dǎo)軌16a上移動的驅(qū)動單元16b。導(dǎo)軌16a是以載臺15在開始位置Pl與停止位置P2之間往復(fù)移動的方式設(shè)置，所述開始位置Pl是載臺15朝向照射部12的照射區(qū)域A開始移動的位置，所述停止位置P2是通過照射部12后的載臺15所停止的位置。由導(dǎo)軌16a構(gòu)成沿著Y軸方向來搬送載臺15的直線狀的搬送路徑17。而且，在驅(qū)動單元16b上，固定有載臺15。并且，搬送機構(gòu)16通過使驅(qū)動單元16b沿著導(dǎo)軌16a移動，從而以載臺15上的基板11通過照射區(qū)域A的方式而與照射面B平行地搬送載臺15。
[0096]搬送路徑17包括:開始位置Pl與照射部12之間的第I搬送路徑17a、照射部12與停止位置P2之間的第2搬送路徑17b、以及在第I搬送路徑17a與第2搬送路徑17b之間配置于照射部12內(nèi)的第3搬送路徑17c。
[0097]多個光傳感器18是以在由搬送機構(gòu)16所搬送的載臺15的移動中，對載臺15的位置進行檢測的方式而配置。雖未圖示，但光傳感器18具有發(fā)出檢測光的發(fā)光部、及接受由載臺15所反射的檢測光的受光部。
[0098]第I實施方式中，在照射部12的內(nèi)部，在與照射單元13的照射面B為同一面上(X-Y平面上)，隔開規(guī)定的間隔而配置有3個光傳感器18。3個光傳感器18是在與通過照射部12內(nèi)的載臺15的搭載面相向的位置，朝著使檢測光朝向下方出射的方向配置。通過配置在X-Y平面上的3個光傳感器18中的沿Y軸方向隔開間隔而配置的各光傳感器18，來對載臺15相對于X軸周向的振動進行檢測。而且，通過配置在X-Y平面上的3個光傳感器18中的沿X軸方向隔開間隔而配置的各光傳感器18，來對載臺15相對于Y軸周向的振動進行檢測。
[0099]而且，3個光傳感器18被固定于照射單元13的保持偏光板13c的保持構(gòu)件13d。根據(jù)該構(gòu)成，無須經(jīng)由支撐光傳感器18的支撐體來將光傳感器18安裝于照射部12，可實現(xiàn)安裝結(jié)構(gòu)的簡化。而且，光傳感器18能夠?qū)⒄丈鋯卧?3的照射面B作為基準(zhǔn)面來檢測載臺15的位置，因此能夠容易地確保適當(dāng)?shù)臋z測精度。
[0100]而且，在照射部12的內(nèi)部，在側(cè)面(Y-Z平面)，沿載臺15的搬送方向(Y軸方向)隔開規(guī)定的間隔而配置有2個光傳感器18。2個光傳感器18經(jīng)由支撐體21而固定于框架14，且配置在相對于載臺15的搬送方向的、照射區(qū)域A的兩側(cè)。而且，2個光傳感器18是與載臺15的側(cè)面所通過的位置相向地朝著使檢測光朝向載臺15的側(cè)面出射的方向而配置。通過在Y-Z平面上相對于Y軸方向隔開間隔而配置的各光傳感器18，來對載臺15相對于Z軸周向的振動進行檢測。
[0101]而且，配置于X-Y平面上的3個光傳感器18并不限定于配置在載臺15上方的構(gòu)成，也可如圖3所示，配置在載臺15的下方。在此構(gòu)成的情況下，3個光傳感器18例如是在與導(dǎo)軌16a鄰接的位置，隔開規(guī)定的間隔而朝著使檢測光朝向上方出射的方向而配置。
[0102]通過使用多個光傳感器18，在載臺15的移動中，分別對與圖1所示的X軸、Y軸及Z軸這三軸周向相關(guān)的載臺15的位置進行檢測，從而對載臺15相對于三軸周向的振動進行檢測。換言之，通過使用多個光傳感器18，從而針對相對于Y軸方向而處于移動中的載臺15，對相對于X軸周向即偏擺軸(yaw axi s)周向的振動、相對于Y軸周向即滾動軸(ro 11 axi s)周向的振動、相對于Z軸周向即俯仰軸(pitch axis)周向的振動分別進行檢測。本實施方式中，X軸及Y軸的方向相當(dāng)于與照射單元13的照射面B平行的方向，為水平方向。而且，本實施方式中，Z軸相當(dāng)于與照射面B正交的軸，為鉛垂方向。
[0103]而且，存在下述傾向，S卩:相對于三軸周向的各振動中，尤其是相對于與照射單元13的照射面B正交的Z軸周向而產(chǎn)生的載臺15的位置偏離或振動會對取向膜的品質(zhì)造成大的影響。因此，使用在Y-Z平面上沿著Y軸方向而配置的2個光傳感器18，至少在載臺15相對于Z軸周向的振動中對載臺15相對于Y軸方向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測，由此能夠抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0104]另外，第I實施方式中，使用5個光傳感器18，但并不限定光傳感器18的個數(shù)。在使用光傳感器18的位置檢測中，通過增加對移動中的載臺15的位置進行同時檢測的光傳感器18的個數(shù)，并加大對載臺15的位置進行同時檢測的各光傳感器18間的間隔，從而能夠提高檢測精度。因此，光傳感器18的個數(shù)或配置可根據(jù)在三軸方向上對載臺15的振動進行檢測的方向或檢測精度的要求來適當(dāng)設(shè)定。
[0105]如圖1所示，控制部19是與多個光傳感器18及操作部20電連接，基于多個光傳感器18所檢測出的檢測結(jié)果來控制操作部20。操作部20具有顯示面板20a，該顯示面板20a顯示包含警告的各種信息。
[0106]控制部19判定由多個光傳感器18檢測出的載臺15的振動是否處于規(guī)定范圍內(nèi)。當(dāng)載臺15的振動大于規(guī)定范圍內(nèi)時，控制部19控制操作部20來使顯示面板20a顯示警告。此時，在顯示面板20a上，例如顯示包括與載臺15的位移量相關(guān)的檢測值、或使用檢測值而算出的算出值等信息在內(nèi)的警告。而且，控制部19也可根據(jù)需要來進行使警告燈點亮或使警報器響起警告聲等的控制，從而發(fā)出其他警告。
[0107]而且，通過將用于對載臺15的振動進行判定的規(guī)定范圍設(shè)定為例如可適當(dāng)獲得基板11的取向膜的品質(zhì)的振幅的上限值及下限值，從而能夠在制造出品質(zhì)不良的取向膜之前，在適當(dāng)?shù)臅r機(timing)進行維護作業(yè)。
[0108]另外，本實施方式中，采用了使用多個光傳感器18來檢測載臺15的振動的構(gòu)成，但也可采用對載臺15上的基板11的振動進行檢測的構(gòu)成。在直接檢測基板11的振動的情況下，能夠?qū)⒍ㄎ挥谳d臺15上的基板11的搭載位置的偏差的影響予以排除，從而能夠進一步提高取向膜的位置檢測精度。
[0109](偏振光照射時的動作)
[0110]如圖2及圖3所示，在偏振光照射裝置I中，在開始位置Pl處，在載臺15上搭載基板11，并通過搬送機構(gòu)16來使載臺15在開始位置Pl與停止位置P2之間往復(fù)移動。當(dāng)載臺15在開始位置Pl與停止位置P2之間往復(fù)移動時，載臺15上的基板11以平行于照射面B的方式受到搬送而通過照射區(qū)域A，由此來對基板11上的取向膜進行所需的光取向。
[0111]在如此那樣由搬送機構(gòu)16予以搬送的載臺15的移動中，載臺15通過多個光傳感器18進行檢測的檢測位置，由此，對載臺15相對于三軸周向的振動分別進行檢測。圖4是用于說明在第I實施方式的偏振光照射裝置I中基于多個光傳感器18的檢測結(jié)果的處理的流程圖。
[0112]如圖4所示，多個光傳感器18在載臺15上的基板11進入照射部12內(nèi)且基板11通過照射區(qū)域A時，對載臺15相對于X、Y、Z軸周向的各振動進行檢測(步驟SI)?？刂撇?9判定多個光傳感器18所檢測出的載臺15相對于Χ、Υ、Ζ軸周向的各振動是否分別處于規(guī)定范圍內(nèi)，例如判定載臺15的位移量即振幅是否處于規(guī)定的上限值與下限值的范圍內(nèi)(步驟S2)。而且，在使用光傳感器18來對載臺15相對于Z軸周向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測的情況下，控制部19判定X-Y平面上的載臺15相對于Y軸方向的旋轉(zhuǎn)角是否處于規(guī)定范圍內(nèi)。
[0113]并且，在步驟S2中，在載臺15相對于Χ、Υ、Ζ軸周向的振幅、或所述載臺15的旋轉(zhuǎn)角偏離規(guī)定范圍的情況下(步驟S2，否)，控制部19進行控制，以使用操作部20的顯示面板20a來發(fā)出警告(步驟S3)。而且，在步驟S2中，在載臺15的振動處于規(guī)定范圍內(nèi)的情況下(步驟S2，是)，例如，在載臺15的振幅處于規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，返回步驟SI，使用多個光傳感器8來繼續(xù)檢測載臺15的振動。
[0114]在步驟S3中控制部19發(fā)出了警告的情況下，在對移動中的載臺15上的基板11結(jié)束了偏振光的照射后，使用者對操作部20進行操作，以停止搬送機構(gòu)16。而且，控制部19也可進行控制，以發(fā)出警告，并且在對移動中的載臺15上的基板11結(jié)束了偏振光的照射后，停止搬送機構(gòu)16。而且，此時，進行與搬送機構(gòu)16的搬送狀態(tài)或載臺15的固定位置等相關(guān)的維護作業(yè)，以將移動中的載臺15的振幅或所述旋轉(zhuǎn)角調(diào)整至規(guī)定范圍內(nèi)。
[0115]第I實施方式的偏振光照射裝置I具有:光傳感器18，在載臺15的移動中檢測載臺15的位置；以及控制部19及顯示面板20a，基于光傳感器18所檢測出的檢測結(jié)果來發(fā)出警告。由此，能夠通過光傳感器18來對載臺15的移動中產(chǎn)生的振動進行檢測，從而能夠適當(dāng)管理偏振光對基板11的取向膜的照射狀態(tài)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。其結(jié)果，能夠提高取向膜的制造工序中的成品率。
[0116]而且，偏振光照射裝置I通過光傳感器18對載臺15相對于與照射面B正交的Z軸周向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測，從而能夠基于對取向膜品質(zhì)的影響大的位置偏離成分來有效地管理取向膜的品質(zhì)。
[0117]以下，參照附圖來說明第I實施方式的變形例、第2實施方式及第2實施方式的變形例的偏振光照射裝置。另外，在第I實施方式的變形例、第2實施方式及其變形例中，對于與第I實施方式相同的構(gòu)成構(gòu)件，標(biāo)注與第I實施方式相同的符號并省略說明。
[0118](第I實施方式的變形例I)
[0119]圖5是表示第I實施方式的變形例I的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。該變形例I中，光傳感器18的配置不同于第I實施方式。
[0120]如圖5所示，變形例I的偏振光照射裝置2所具有的多個光傳感器18被配置在照射部12的外側(cè)。對載臺15相對于X軸及Y軸周向的振動進行檢測的各光傳感器18是配置在載臺15的上方，且以與照射單元13的照射面B位于同一平面上(X-Y平面上)的方式而設(shè)置在照射部12的框架14的側(cè)面。而且，對載臺15相對于Z軸的振動進行檢測的各光傳感器18是與載臺15的側(cè)面所通過的位置相向地配置，且在與照射面B正交的Y-Z平面上沿Y軸方向隔開間隔，并經(jīng)由支撐體21而設(shè)置于框架14的側(cè)面。
[0121 ]而且，載臺15的外形尺寸等被設(shè)定成:在照射光被照射至載臺15上的基板11的期間，相對于載臺15的搬送方向隔開間隔而配置的各光傳感器18的檢測光可同時照射至載臺15上。另外，也可在各圖中所示的光傳感器18的位置配置多個光傳感器18，從而無論載臺15的大小如何，均能夠?qū)d臺15的振動進行檢測?；蛘?，也可構(gòu)成為:通過使用具有多個發(fā)光部及受光部的光傳感器18，從而能夠由I個光傳感器18來單獨檢測載臺15的振動。
[0122]另外，在變形例I中，配置于X-Y平面上的多個光傳感器18也可配置在載臺15的下方。此時，光傳感器18朝著使檢測光朝向上方出射的方向而配置。
[0123]在以上述方式構(gòu)成的變形例I中，也與第I實施方式同樣地，能夠通過多個光傳感器18來檢測載臺15相對于三軸周向的振動，因此能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0124]除此以外，根據(jù)變形例I，與在照射部12的內(nèi)側(cè)配置有各光傳感器18的第I實施方式相比，能夠加寬各光傳感器18相對于載臺15的搬送方向(Y軸方向)的間隔。因此，變形例I尤其能夠提高載臺15相對于Z軸周向的振動的檢測精度。
[0125](第I實施方式的變形例2)
[0126]圖6是表示第I實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的平面圖。圖7是表示第I實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。該變形例2中，光傳感器18的配置不同于第I實施方式及變形例I。
[0127]如圖6及圖7所示，變形例2的偏振光照射裝置3具有設(shè)置有光傳感器18的一組傳感器支撐部23。一組傳感器支撐部23是在載臺15的搬送方向(Y軸方向)上，配置在沿著搬送機構(gòu)16中的第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b的位置。換言之，變形例2中的各光傳感器18分別配置于沿著開始位置Pl與照射部12之間的第I搬送路徑17a的位置、與沿著照射部12與停止位置P2之間的第2搬送路徑17b的位置。
[0128]一組傳感器支撐部23具有支撐各光傳感器18的框架23a?？蚣?3a是跨及搬送路徑17的導(dǎo)軌16a而配置。在框架23a的上部，在沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b而移動的載臺15的上方，配置有對載臺15相對于X及Y軸周向的振動進行檢測的光傳感器18。而且，在框架23a的側(cè)部，與沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b而移動的載臺15的側(cè)面相向地，配置有對載臺15相對于Z軸周向的振動進行檢測的光傳感器18。該光傳感器18經(jīng)由支撐體21而設(shè)置于框架23a的側(cè)部。
[0129]另外，各圖中簡略地表示了光傳感器18，但例如也可構(gòu)成為:I個光傳感器18具有多個發(fā)光部及受光部，從而能夠單獨檢測載臺15相對于X、Y及Z軸周向的振動。
[0130]在以上述方式構(gòu)成的變形例2中，也與第I實施方式同樣地，能夠通過多個光傳感器18來檢測載臺15相對于三軸周向的振動，因此能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0131](第I實施方式的變形例3)
[0132]圖8是示意性地表示第I實施方式的變形例3的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。該變形例3與第I實施方式的不同之處在于，基于光傳感器18的檢測結(jié)果來修正載臺15的位置。
[0133]如圖8所示，變形例3的偏振光照射裝置4具備:位置修正機構(gòu)25，相對于Χ、Υ及Z軸周向可移動地支撐載臺15;以及作為控制部件的控制部19，基于各光傳感器18所檢測出的檢測結(jié)果來控制位置修正機構(gòu)25。
[0134]變形例3中的各光傳感器18例如是與所述第I實施方式及其變形例1、變形例2同樣地配置。位置修正機構(gòu)25與控制部19電連接?？刂撇?9基于各光傳感器18的檢測結(jié)果來控制位置修正機構(gòu)25，從而通過位置修正機構(gòu)25來將移動中的載臺15的位置修正至適當(dāng)?shù)奈恢?。控制?9例如基于在載臺15的移動中由光傳感器18檢測出的載臺15的振動，來控制位置修正機構(gòu)25，以使載臺15的振幅處于規(guī)定范圍內(nèi)。
[0135]而且，位置修正機構(gòu)25對載臺15的位置進行修正的時機并不限定于由搬送機構(gòu)16所搬送的載臺15的移動中，也可在其他時機進行控制。例如，也可在對載臺15上的基板11結(jié)束了偏振光的照射，且載臺15返回了開始位置Pl后，控制部19基于在載臺15此前的移動中由光傳感器18檢測出的檢測結(jié)果來進行對位置修正機構(gòu)25的控制，以修正待機中的載臺15的位置。
[0136]根據(jù)以上述方式構(gòu)成的變形例3，通過基于光傳感器18的檢測結(jié)果，利用位置修正機構(gòu)25來修正載臺15的位置，從而能夠進一步抑制取向膜的品質(zhì)下降。因此，在變形例3中，也與第I實施方式同樣地，能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0137]第I實施方式及其變形例I?變形例3中，使用了光傳感器18來作為位置檢測部件，但例如也可使用超聲波位置傳感器等其他非接觸式位置傳感器。而且，位置檢測部件并不限定于非接觸式的位置傳感器，例如也可使用具有與載臺15接觸的接觸件的接觸式位移傳感器。而且，作為光傳感器18，并不限定于所述的反射型傳感器，也可使用透射型傳感器。此時，例如也可通過接受透射過載臺15上所設(shè)的透光部的檢測光，從而檢測載臺15的位置。
[0138]在使用接觸式位移傳感器的情況下，例如在沿著載臺15的搬送路徑的位置處，以與移動中的載臺15相接觸的方式來配置多個位移傳感器。而且，在使用此種位移傳感器的情況下，也可在規(guī)定的時機將位移傳感器按壓至載臺15，由此來檢測載臺15的位置。
[0139](第2實施方式)
[0140]圖9是表示第2實施方式的偏振光照射裝置的立體圖。圖10是表示第2實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。圖11是表示第2實施方式的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。第2實施方式與第I實施方式及其變形例的不同之處在于，光傳感器18被配置于載臺15側(cè)。
[0141]如圖9?圖11所示，第2實施方式的偏振光照射裝置5所具有的多個光傳感器18被設(shè)置于載臺15上。偏振光照射裝置5具有:作為位置檢測部件的光傳感器18;以及反射板29，具有用于供光傳感器18檢測位置的基準(zhǔn)面29a。光傳感器18在載臺11的移動中接受被基準(zhǔn)面29a反射的檢測光，從而檢測載臺11的振動。
[0142]在圖9以后，僅簡略地圖示了3個光傳感器18，且構(gòu)成為，能夠由I個光傳感器18來單獨檢測載臺15的振動。而且，為了對相對于三軸的各軸周向的振動(振幅)進行檢測，例如也可在載臺15上設(shè)置5個光傳感器18。載臺15上所設(shè)的光傳感器18的位置或個數(shù)并不限定于本實施方式，可根據(jù)與檢測振動的方向或檢測精度等相關(guān)的需要來適當(dāng)設(shè)定。
[0143]如圖10及圖11所示，在載臺15上，在從開始位置Pl朝向照射部12行進時的前方的側(cè)面的兩側(cè)，設(shè)置有對載臺15相對于X及Y軸周向的振動進行檢測的各光傳感器18。這些光傳感器18是朝著使檢測光朝載臺15的下方出射的方向而設(shè)置。而且，對應(yīng)于這些光傳感器18而在照射部12的內(nèi)部，以基準(zhǔn)面29a與照射單元13的照射面B位于同一面上(X-Y平面上)的方式設(shè)置有多個反射板29。
[0144]而且，在載臺15上，在與搬送方向平行的側(cè)面，設(shè)置有對載臺15相對于Z軸周向的振動進行檢測的光傳感器18。該光傳感器18是朝著下述方向而設(shè)置，S卩:在載臺15上的基板11在照射區(qū)域A內(nèi)移動的期間，向照射部12內(nèi)的側(cè)面照射檢測光的方向。而且，對應(yīng)于該光傳感器18而在照射部12的內(nèi)部，以基準(zhǔn)面29a位于側(cè)面上(Y-Z平面上)的方式設(shè)置有反射板29。該反射板29是以下述方式配置，S卩:在載臺15上的基板11在照射區(qū)域A內(nèi)移動的期間，基準(zhǔn)面29a與光傳感器18所通過的位置相向。
[0145]而且，對載臺15相對于X及Y軸周向的振動進行檢測的各光傳感器18是朝著使檢測光朝載臺15的下方出射的方向而設(shè)置，但也可如圖11所示，朝著使檢測光朝載臺15的上方出射的方向而設(shè)置。在以使檢測光朝載臺15的下方出射的方式來設(shè)置光傳感器18的情況下，在載臺15的下方，以與光傳感器18相向的方式來配置反射板29。該反射板29是在照射部12的內(nèi)部的下方沿著導(dǎo)軌16a而設(shè)置，且以與光傳感器18相向的基準(zhǔn)面29a位于與照射面B平行的X-Y平面上的方式配置。
[0146]而且，理想的是光傳感器18的個數(shù)或配置、基準(zhǔn)面29a的個數(shù)、基準(zhǔn)面29a相對于載臺15的搬送方向的尺寸是以下述方式來設(shè)定，S卩，在載臺15上的基板11在照射區(qū)域A內(nèi)移動的整個期間，能夠通過光傳感器18及基準(zhǔn)面29a來檢測載臺15的振動。
[0147]以上述方式構(gòu)成的第2實施方式中，也與第I實施方式及其變形例I?變形例3同樣地，能夠通過多個光傳感器18及反射板29來對載臺15相對于三軸周向的振動進行檢測，因此能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0148](第2實施方式的變形例I)
[0149]圖12是表示第2實施方式的變形例I的偏振光照射裝置的平面圖。圖13是表示第2實施方式的變形例I的偏振光照射裝置的側(cè)面圖。第2實施方式的變形例I中，光傳感器18所利用的基準(zhǔn)面29a的配置不同于第I實施方式。
[0150]如圖12及圖13所示，第2實施方式的變形例I的偏振光照射裝置6具有設(shè)置有反射板29的一組反射板支撐部33。一組反射板支撐部33是在載臺15的搬送方向(Y軸方向)上，配置在沿著搬送機構(gòu)16中的第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b的位置。換言之，該變形例I中的各反射板29的基準(zhǔn)面29a分別配置于沿著開始位置Pl與照射部12之間的第I搬送路徑17a的位置、與沿著照射部12與停止位置P2之間的第2搬送路徑17b的位置。
[0151]一組反射板支撐部33具有支撐各反射板29的框架33a?？蚣?3a是跨及搬送路徑17的導(dǎo)軌16a而配置。在框架33a的上部，在沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b而移動的載臺15的上方，以利用基準(zhǔn)面29a來對光傳感器18的檢測光進行反射方式配置有反射板29，該光傳感器18對載臺15相對于X及Y軸周向的振動進行檢測。而且，在框架33a的側(cè)部，與沿著第I搬送路徑17a及第2搬送路徑17b而移動的載臺15的側(cè)面相向地，以利用基準(zhǔn)面29a來對光傳感器18的檢測光進行反射的方式配置有反射板29，該光傳感器18對載臺15相對于Z軸周向的振動進行檢測。
[0152]在以上述方式構(gòu)成的第2實施方式的變形例I中，也與第I實施方式等同樣地，能夠通過光傳感器18及反射板29來對載臺15相對于三軸周向的振動進行檢測，因此能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0153](第2實施方式的變形例2)
[0154]作為位置檢測部件，也可取代對所述光傳感器18及具有基準(zhǔn)面29a的反射板29的使用，而在載臺15上設(shè)置陀螺儀傳感器(gyro sensor)。雖未圖示，但能夠通過I個陀螺儀傳感器來對載臺15相對于三軸周向的各振動進行檢測，從而能夠簡化位置檢測部件的構(gòu)成。
[0155]而且，通過將陀螺儀傳感器例如裝入載臺15的內(nèi)部，從而可避免陀螺儀傳感器暴露在照射單元13的照射區(qū)域A中，因此能夠提高陀螺儀傳感器的耐久性或檢測動作的可靠性。而且，也可采用陀螺儀傳感器通過無線通信來向控制部19發(fā)送檢測信號的構(gòu)成，從而可提高用于檢測載臺15的位置的構(gòu)成的自由度。
[0156]在以上述方式構(gòu)成的第2實施方式的變形例2中，也與第I實施方式等同樣地，能夠通過陀螺儀傳感器來對載臺15相對于三軸周向的振動進行檢測，因此能夠適當(dāng)管理取向膜的品質(zhì)，抑制取向膜的制造品質(zhì)下降。
[0157]而且，在第2實施方式及其變形例1、變形例2中，也可取代光傳感器18及反射板29，而使用例如超聲波位置傳感器等其他非接觸式位置傳感器或接觸式位移傳感器。
[0158]而且，在第2實施方式及其變形例1、變形例2中，也可與第I實施方式的變形例3同樣地采用下述構(gòu)成，即，基于作為位置檢測部件的光傳感器18及反射板29或陀螺儀傳感器所檢測出的檢測結(jié)果，通過位置修正機構(gòu)25來修正載臺15的位置。
[0159]而且，所述實施方式及變形例中，采用了搬送機構(gòu)16搬送I個載臺15的構(gòu)成，但也可采用相對于照射單元13的照射區(qū)域A而交替地搬送多個載臺15的構(gòu)成。在此構(gòu)成的情況下，通過利用位置檢測部件來檢測移動中的各載臺15的位置，也能夠獲得與所述實施方式及變形例同樣的效果。
[0160]而且，實施方式中，照射單元13是以朝鉛垂下方照射偏振光的方式配置，但并不限定偏振光的照射方向。例如，載臺15的搬送方向也可相對于水平方向而傾斜，且對載臺15上的基板11所照射的偏振光的光軸也可相對于鉛垂方向而傾斜。
[0161]所述的各實施方式中，是具備I個照射單元13而構(gòu)成，但并不限定于該構(gòu)成。例如也可隔開規(guī)定間隔而設(shè)置多個照射單元13。此時，照射區(qū)域A不僅設(shè)為多個照射單元13的正下方，也設(shè)為從設(shè)置于一端的照射單元13的最下表面的開口的一端，直至另一端的照射單元13的最下表面的開口的另一端之間的區(qū)域。
[0162]對本實用新型的實施方式進行了說明，但實施方式僅為例示，并不意圖限定本實用新型的范圍。實施方式能夠以其他的各種形態(tài)來實施，在不脫離實用新型的主旨的范圍內(nèi)，能夠進行各種省略、置換、變更。實施方式及其變形包含在本實用新型的范圍或主旨內(nèi)，同樣包含在權(quán)利要求書所記載的實用新型及其均等的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射單元，設(shè)置有對被照射物照射偏振光的照射面； 載臺，搭載所述被照射物； 搬送機構(gòu)，搬送所述載臺，以使所述載臺上的所述被照射物以平行于所述照射面的方式通過從所述照射面照射的偏振光的照射區(qū)域； 位置檢測部件，在由所述搬送機構(gòu)所搬送的所述載臺的移動中，對至所述載臺或所述被照射物的距離進行測定，而對所述載臺或所述被照射物的位置進行檢測；以及控制部件，基于所述位置檢測部件所檢測出的檢測結(jié)果，來進行規(guī)定的控制。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述位置檢測部件是在與所述照射面正交的軸周向，對所述載臺或所述被照射物相對于所述載臺的搬送方向的旋轉(zhuǎn)角進行檢測。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述位置檢測部件在所述照射區(qū)域內(nèi)，相對于所述照射區(qū)域而配置在所述載臺的搬送方向上的其中一側(cè)及另一側(cè)的至少一處。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述位置檢測部件是配置成:對與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向中的至少一方向上的、所述載臺或所述被照射物的位置進行檢測。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射部，具有所述照射單元， 所述位置檢測部件被設(shè)置于所述照射部。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射部，具有所述照射單元， 所述搬送機構(gòu)具有第I搬送路徑及第2搬送路徑，所述第I搬送路徑設(shè)置在所述載臺朝向所述照射區(qū)域開始移動的開始位置與所述照射部之間，所述第2搬送路徑設(shè)置在通過所述照射區(qū)域后的所述載臺所停止的停止位置與所述照射部之間， 所述位置檢測部件是設(shè)置在沿著所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一個的位置。7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述位置檢測部件被設(shè)置于所述載臺。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述位置檢測部件是配置成:對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向中的至少一方向的位置進行檢測。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射部，具有所述照射單元， 所述照射部具有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向的位置進行檢測。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于， 所述照射單元具有出射偏振光的偏振元件及保持所述偏振元件的保持構(gòu)件， 在所述保持構(gòu)件上設(shè)置有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向的位置進行檢測。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光取向用偏振光照射裝置，其特征在于，包括: 照射部，具有所述照射單元， 所述搬送機構(gòu)具有第I搬送路徑及第2搬送路徑，所述第I搬送路徑設(shè)置在所述載臺朝向所述照射區(qū)域開始移動的開始位置與所述照射部之間，所述第2搬送路徑設(shè)置在通過所述照射區(qū)域后的所述載臺所停止的停止位置與所述照射部之間， 在沿著所述第I搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一個的位置，設(shè)置有基準(zhǔn)面，所述基準(zhǔn)面用于通過所述位置檢測部件，來對所述載臺相對于與所述照射面正交的方向及與所述照射面平行的方向的位置進行檢測。
【文檔編號】G02F1/1337GK205507314SQ201620216526
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月21日
【發(fā)明人】田中貴章, 田內(nèi)亮彥, 中川幸信, 前田祥平, 加藤剛雄, 藤岡純, 日野弘喜
【申請人】東芝照明技術(shù)株式會社