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可調(diào)諧電光濾波器的制作方法

文檔序號:11690612閱讀:236來源:國知局
可調(diào)諧電光濾波器的制造方法與工藝

符合示例性實施方式的裝置涉及使用電光方案的可調(diào)諧電光濾波器。



背景技術(shù):

可調(diào)諧電光濾波器是根據(jù)施加的電壓調(diào)制透射光或反射光的光譜的光學(xué)元件?;谝壕У碾姽鉃V波器通常采用立奧-渥曼(lyot-ohman)方案或法布里-珀羅(fabry-perot)方案。

使用立奧-渥曼(lyot-ohman)方案的電光濾波器包括分別設(shè)置在其輸入單元和輸出單元中的偏振板以及設(shè)置在偏振板之間的基于液晶的相位延遲器。被輸入單元中的偏振板偏振的光的偏振方向在穿過相位延遲器的同時被旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)角度根據(jù)光的波長由函數(shù)確定。當(dāng)偏振光穿過輸出單元的偏振板時,輸出光的光譜根據(jù)波長被調(diào)制?;谝壕У南辔谎舆t器包括多個級以根據(jù)施加的電壓來調(diào)制光的透射波長帶和帶寬。

使用法布里-珀羅(fabry-perot)方案的電光濾波器包括液晶層、用于向液晶層施加電壓的透明電極層、以及鏡層。當(dāng)向液晶層施加電壓時,液晶層的折射率和經(jīng)過光學(xué)諧振器的光的路徑改變。因此,光的透射諧振波長也改變。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

一個或更多個示例性實施方式可以提供一種可調(diào)諧電光濾波器,該可調(diào)諧電光濾波器具有寬的可變波長范圍而不管偏振如何。

一個或更多個示例性實施方式可以提供一種可調(diào)諧電光濾波器,該可調(diào)諧電光濾波器獨(dú)立于反射板之間的間距操作。

一個或更多個示例性實施方式可以提供一種可調(diào)諧電光濾波器,該可調(diào)諧電光濾波器包括設(shè)置在液晶層的相反側(cè)上的反射層或者包括設(shè)置在液晶層的至少一側(cè)上的圖案層。

另外的示例性方面將在以下描述中被部分陳述,并且部分地將從描述中是顯而易見的,或者可以通過提出的示例性實施方式的實踐而習(xí)之。

根據(jù)一示例性實施方式的一方面,一種可調(diào)諧電光濾波器包括液晶層、設(shè)置在液晶層的第一側(cè)上的第一電極層、設(shè)置在液晶層的第二側(cè)上的第二電極層、以及反射結(jié)構(gòu),該反射結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在液晶層的第一側(cè)上的第一反射層和設(shè)置在液晶層的第二側(cè)上的第二反射層,其中第一反射層和第二反射層的每一個具有超穎表面結(jié)構(gòu)。

第一反射層和第二反射層的每一個可以包括設(shè)置在透明基板的表面上的具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層。

圖案層可以包括電介質(zhì)材料或金屬。

圖案層可以包括一維格柵結(jié)構(gòu)或二維(2d)周期性/非周期性圖案結(jié)構(gòu)。

圖案層可以具有圓形、橢圓形或多邊形。

圖案層可以包括多個圖案以及填充在所述多個圖案之間的電介質(zhì)材料或聚合物。

可調(diào)諧電光濾波器可以還包括設(shè)置在液晶層與第一電極層之間的液晶配向?qū)右约霸O(shè)置在液晶層與第二電極層之間的液晶配向?qū)印?/p>

第一外基板、第一電極層和第一反射層可以順序地設(shè)置在液晶層的光入射到其上的那側(cè)上,第二反射層、第二電極層和第二外基板可以順序地設(shè)置在液晶層的與光入射到其上的那側(cè)相反的第二側(cè)上。

根據(jù)另一示例性實施方式的一方面,一種可調(diào)諧電光濾波器包括液晶層、與液晶層的第一側(cè)接觸的包括超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層、設(shè)置在液晶層的第一側(cè)上的第一電極層和設(shè)置在液晶層的第二側(cè)上的第二電極層。

第一液晶配向?qū)涌梢栽O(shè)置在液晶層的第一側(cè)上,圖案層可以設(shè)置在第一液晶配向?qū)由稀?/p>

圖案層可以直接設(shè)置在第一液晶配向?qū)拥谋砻嫔喜⑶铱梢园ǔ壕酉騼?nèi)突出的多個圖案。

液晶層的靠近圖案層的第一區(qū)域的折射率可以不同于液晶層的不同于第一區(qū)域的第二區(qū)域的折射率。

液晶配向?qū)涌梢栽O(shè)置在液晶層的第一側(cè)和第二側(cè)的每一個上,圖案層可以設(shè)置在液晶配向?qū)拥拿恳粋€上。

根據(jù)另一示例性實施方式的一方面,一種可調(diào)諧電光濾波器包括液晶層、設(shè)置在液晶層的第一側(cè)上的第一電極層、設(shè)置在液晶層的第二側(cè)上的第二電極層、以及反射結(jié)構(gòu),該反射結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在液晶層的第一側(cè)上的第一反射層和設(shè)置在液晶層的第二側(cè)上的第二反射層,其中第一反射層和第二反射層的每一個包括其中交替堆疊具有不同厚度的至少兩個電介質(zhì)材料層的結(jié)構(gòu)。

第一反射層和第二反射層的電介質(zhì)材料層的厚度可以在從濾波器的光入射側(cè)到濾波器的光輸出側(cè)的方向上增大。

第一反射層可以包括其中交替堆疊不同的電介質(zhì)材料的多個層,并且第一反射層的所述多個層的厚度可以在從濾波器的光入射側(cè)到濾波器的光輸出側(cè)的方向上增大。

第二反射層可以包括其中交替堆疊不同的電介質(zhì)材料的多個層,并且第二反射層的所述多個層的厚度可以在從濾波器的光入射側(cè)到濾波器的光輸出側(cè)的方向上增大。

第一反射層和第二反射層的反射相位梯度可以彼此相反。

附圖說明

這些和/或另外的示例性方面和優(yōu)點(diǎn)將從以下結(jié)合附圖對示例性實施方式的描述中變得顯而易見和更容易理解,在附圖中:

圖1是根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖;

圖2a、2b、2c和2d示出根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器中的具有超穎表面(metasurface)的反射層的各種不同的形式;

圖3a、3b和3c是示出相對于可見波長范圍內(nèi)的反射相位梯度中的變化的根據(jù)一示例性實施方式的圖1中所示的可調(diào)諧電光濾波器的透射光譜中的變化的曲線圖。

圖4是根據(jù)一示例性實施方式的包括形成在液晶層的一側(cè)上并且具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖;

圖5是示出圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器中的圖案層周圍的液晶層的折射率中的變化的截面圖;

圖6是示出圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器的透射光譜中的變化的曲線圖;

圖7是根據(jù)一示例性實施方式的圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖,該可調(diào)諧電光濾波器包括直接形成在液晶層的相反側(cè)上并且具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層;以及

圖8是根據(jù)另一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖。

具體實施方式

現(xiàn)在將詳細(xì)參照實施方式,實施方式的示例在附圖中示出,其中相同的附圖標(biāo)記通篇指代相同的元件。就這方面,給出的示例性實施方式可以具有不同的形式并且不應(yīng)被解釋為限于在此闡明的描述。因此,通過參照附圖,示例性實施方式以下僅被描述用于解釋多個方面。諸如“中的至少一個”的表述當(dāng)在一列元素之后時,修飾整列元素而不修飾該列中的單個元素。

在下文中,將參照附圖描述示例性實施方式。貫穿附圖,相同的附圖標(biāo)記指代相同的元件,并且為了描述的清楚和方便,每一個元件可以在尺寸上被夸大。同時,以下示例性實施方式僅是說明性的,并且各種不同的變型從示例性實施方式中是可能的。在以下描述的層結(jié)構(gòu)中,諸如“在……之上”或“在……上面”的表述可以不僅包括“以接觸方式直接在……上面”的意思,而且包括“以非接觸方式在……上面”的意思。

圖1是根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖。

參照圖1,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器100可以具有包括設(shè)置在液晶層18的相反側(cè)上的反射結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。第一基板10、第一電極層12以及第一反射層14和14a可以形成在液晶層18的光l11入射到其上的一側(cè)上。第二反射層24和24a、第二電極層22以及第二基板20可以形成在液晶層18的另一側(cè)上,光l11在可調(diào)諧電光濾波器100中被調(diào)制之后穿過該另一側(cè)。第一液晶配向?qū)?6形成在液晶層18與第一反射層14和14a之間,第二液晶配向?qū)?6形成在液晶層18與第二反射層24和24a之間。

電壓施加單元v電連接到在液晶層18的相反側(cè)上的第一電極層12和第二電極層22,并且通過第一電極層12和第二電極層22向液晶層18施加電壓。

根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器100可以包括分別形成在液晶層18的相反側(cè)上的第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a。第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a一起形成光學(xué)諧振器結(jié)構(gòu)。第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a中的至少一個可以具有超穎表面結(jié)構(gòu)。更具體地,超穎表面結(jié)構(gòu)可以包括在基板上的多個圖案,所述多個圖案包括具有一維格柵結(jié)構(gòu)或二維(2d)結(jié)構(gòu)的電介質(zhì)材料或金屬材料。

第一反射層14和14a可以包括基板14和形成在基板14的表面上的圖案層14a。第二反射層24和24a可以包括基板24和形成在基板24的表面上的圖案層24a。圖案層14a和24a可以通過分別在透明基板14和24的表面上沉積電介質(zhì)材料或金屬材料,然后執(zhí)行圖案化成為期望的形式而形成。圖案層14a和24a可以包括具有各種不同形狀的多個圖案,并且每個圖案的尺寸或形狀以及圖案之間的間距不被具體地限制。圖案層14a和24a的每一個可以包括具有圓形、橢圓形和多邊形中的至少一種的圖案。圖案層14a和24a的圖案可以在其間以周期性或非周期性間距形成。圖案層14a和24a的圖案可以形成為具有一維格柵結(jié)構(gòu)或2d周期性/非周期性結(jié)構(gòu)。

通過使用用于根據(jù)本公開的可調(diào)諧電光濾波器的超穎表面結(jié)構(gòu)形成的第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a,光學(xué)諧振器被實現(xiàn)。第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a對稱地形成使得第一反射層14和14a關(guān)于液晶層18面對第二反射層24和24a。形成超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層14a和24a的材料、圖案形狀和圖案間距可以被調(diào)節(jié)以控制對應(yīng)于光波長的反射率和在反射時的相位延遲。

圖2a至2d示出根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器中的具有超穎表面的示例性反射層的各種不同的形式。

參照圖2a至2d,多個圖案32a、32b、34a、34b、36a、36b、38a和38b形成在基板30上。在圖2a中,在一方向上形成的直線圖案32a和32b被形成為凹進(jìn)基板30中。圖案32a和32b形成為在其間具有間隔地彼此平行。在圖2b和2c中,矩形圖案34a和34b以及圓形圖案36a和36b形成為其間相隔特定的間隔排列。照此,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的反射層的超穎表面結(jié)構(gòu)可以包括在基板30上的具有特定形狀和間距的圖案32a、32b、34a、34b、36a、36b、38a和38b。

如圖2d中所示,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的反射層的超穎表面結(jié)構(gòu)可以包括隨機(jī)形成在基板30上的圓形圖案38a和38b,其間沒有任何周期性間距。用這種方法,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的反射層的超穎表面結(jié)構(gòu)可以被電光濾波器的用戶設(shè)計和選擇。形成在基板30上的所述多個圖案32a、32b、34a、34b、36a、36b、38a和38b的尺寸、間距和高度可以被適當(dāng)?shù)剡x擇而不被具體地限制。

返回參照圖1,當(dāng)圖案層14a和24a分別形成在基板14和24的表面上時,圖案層14a和24a凹進(jìn)基板14和24的表面中以形成第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a的因此而產(chǎn)生的凹凸截面。為了在形成液晶層18之前在圖案層14a和24a上形成第一液晶配向?qū)?6和第二液晶配向?qū)?6,不同于圖案層14a和24a的材料的電介質(zhì)材料或者聚合物被填充在圖案層14a和24a之間用于第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a的表面的偏振??梢匀我膺x擇基板14和24的圍繞圖案層14a和24a的部分的突出高度。

在根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器100中,對于液晶配向?qū)?6和26以及液晶層18,可以使用如在光學(xué)濾波器中通常使用的液晶配向材料和液晶材料。例如,液晶配向?qū)?6和26可以包括包含高聚物化合物的聚合物材料。例如,液晶配向?qū)?6和26可以包括聚酰亞胺、聚酯、丙烯酸化合物、環(huán)氧化合物、氨基甲酸乙酯化合物等等。液晶層18可以包括被液晶配向?qū)?6和26配向的液晶化合物。

第一基板10和第二基板20可以包括如在光學(xué)濾波器中通常使用的任意基板材料。第一基板10和第二基板20可以包括關(guān)于打算入射到器件上的光l11和打算從器件發(fā)出的光l12具有優(yōu)秀的透光率的任意材料,諸如像玻璃、sio2等的透明電介質(zhì)材料。第一電極層12和第二電極層22可以包括諸如銦錫氧化物(ito)的透明導(dǎo)電材料,或者在光學(xué)濾波器中通常使用的任意透明電極材料。

圖3a至3c是示出相對于可見波長范圍內(nèi)的反射相位梯度中的變化的根據(jù)一示例性實施方式的圖1中所示的可調(diào)諧電光濾波器的透射光譜中的變化的曲線圖。在這里,圖3a至3c示出,當(dāng)?shù)谝环瓷鋵?4和14a的反射率r、第二反射層24和24a的反射率r以及指示相對于波長的相位變化的反射相位梯度在400nm到700nm的可見波長范圍內(nèi)變化時,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的透射光譜中的變化。

參照圖3a至3c,當(dāng)液晶層18的折射率改變到n=1.55、1.64和1.72時,以那樣的順序,峰值波長從450nm移動到大于500nm的波長。雖然當(dāng)如圖3a中所示地反射相位梯度是0時最大可變波長范圍是大約50nm,但是如果如圖3b中所示地反射相位梯度是大約2.67mrad/nm則最大可變波長范圍可以進(jìn)一步擴(kuò)展到大約100nm。如果如圖3c中所示地反射率r是0.9且反射相位梯度是大約3.67mrad/nm,最大可變波長范圍可以達(dá)到大約200nm。照此,通過基于用于根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a的超穎表面結(jié)構(gòu)的形成而控制反射相位,可以顯著提高用于調(diào)制透射光譜的自由度。

圖4是根據(jù)一示例性實施方式的其中具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層形成在液晶層的一側(cè)上的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖。圖5是示出圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器中的圖案層周圍的液晶層的折射率中的變化的截面圖。

參照圖4,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器200包括形成在液晶層18的一側(cè)上的第一圖案層120。第一基板10、第一電極層12和第一液晶配向?qū)?6形成在液晶層18的光l11入射到其的一側(cè)上。第一圖案層120形成在第一液晶配向?qū)?6的表面上并且朝著液晶層18向內(nèi)突出。第一圖案層120可以包括如圖2a至2d中所示的圖案32a、32b、34a、34b、36a、36b、38a和38b中的任意一種或更多種。在圖1中所示的可調(diào)諧電光濾波器100中,彼此面對的第一反射層14和14a以及第二反射層24和24a形成在液晶層18的相反側(cè)上以形成光學(xué)諧振器結(jié)構(gòu)。另一方面,如圖4中所示,第一圖案層120可以形成在液晶層18的一側(cè)上用于以非諧振方式的操作。

參照圖5,如果電壓通過第一電極層12和第二電極層22從電壓施加單元v被施加到液晶層18,則液晶層18可以具有第一折射率no,在第一圖案層120的附近區(qū)域ai中的液晶層18可以具有不同于第一折射率no的第二折射率ne或者可以具有在第一折射率no與第二折射率ne之間的折射率。就是說,在具有超穎表面結(jié)構(gòu)的第一圖案層120的附近區(qū)域ai中的液晶層18的折射率改變?yōu)榕c在不同于第一圖案層120的附近區(qū)域ai的區(qū)域中的液晶層18的折射率不同。

當(dāng)入射到根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器200上的光l21穿過液晶層18時,隨著液晶層18的液晶折射率改變,光l21經(jīng)歷其透射率中的變化,然后光l21被發(fā)出為l22。照此,圖4中所示的根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器200利用隨具有超穎表面結(jié)構(gòu)的第一圖案層120的附近折射率變化而變化的光散射現(xiàn)象。

圖6是示出圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器的透射光譜中的變化的曲線圖。

參照圖5和6,第一圖案層120形成在具有第一折射率no的液晶層18的一側(cè)上,并且在第一圖案層120的附近區(qū)域ai中的液晶層18可以具有例如第二折射率ne。照此,當(dāng)折射率隨著液晶層18的區(qū)域變化時,光l21的透射光譜可以如圖6中所示地變化。在圖6中,透射主要隨著光l21的大約460nm的波長附近的液晶折射率而變化。根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器200取決于具有超穎表面結(jié)構(gòu)的第一圖案層120和第一圖案層120的附近區(qū)域ai的折射率中的變化,從而防止透射波長如在傳統(tǒng)的法布里-珀羅(fabry-perot)方案中那樣關(guān)于諧振器間距敏感地變化。

圖7是根據(jù)一示例性實施方式的圖4中所示的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖,在該可調(diào)諧電光濾波器中具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層直接形成在液晶層的相反側(cè)上。

參照圖7,根據(jù)一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器200可以包括形成在液晶層18的相反側(cè)上的第一圖案層120和第二圖案層220。第一基板10、第一電極層12和第一液晶配向?qū)?6形成在液晶層18的光l11入射到其的一側(cè)上。在第一液晶配向?qū)?6的表面上,第一圖案層120遠(yuǎn)離第一液晶配向?qū)?6的表面突出。第二基板20、第二電極層22和第二液晶配向?qū)?6形成在液晶層18的光l22從其發(fā)出的另一側(cè)上,第二圖案層220形成在第二液晶配向?qū)?6的表面上。第二圖案層220朝著液晶層18從第二液晶配向?qū)?6的表面突出。

照此,第一圖案層120和第二圖案層220分別直接形成在第一液晶配向?qū)?6和第二液晶配向?qū)?6的表面上,用這樣的方式朝著液晶層18向內(nèi)突出。第一圖案層120和第二圖案層220關(guān)于液晶層18彼此面對以形成光學(xué)諧振器結(jié)構(gòu)。第一圖案層120和第二圖案層220可以包括具有如圖2a至2d中所示的形狀和布置的圖案32a、32b、34a、34b、36a、36b、38a和38b中的任意一種或更多種。

圖8是根據(jù)另一示例性實施方式的可調(diào)諧電光濾波器的截面圖。

參照圖8,可調(diào)諧電光濾波器300包括形成在液晶層18的相反側(cè)上的反射結(jié)構(gòu)。第一基板10、第一反射層cm1和第一電極層12形成在液晶層18的光l31入射到其的一側(cè)上。第一液晶配向?qū)?6形成在第一電極層12與液晶層18之間。第二電極層22、第二反射層cm2和第二基板20形成在液晶層18的另一側(cè)上,由可調(diào)諧電光濾波器300調(diào)制的光l31從該另一側(cè)發(fā)出。第二液晶配向?qū)?6形成在液晶層18與第二電極層22之間。

圖8中所示的可調(diào)諧電光濾波器300的第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個包括具有多層結(jié)構(gòu)的電介質(zhì)材料。例如,第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個包括si氧化物、si氮化物、ti氧化物、hf氧化物、al氧化物、zn氧化物等中的一種或更多種。第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個具有其中交替形成不同材料的多層結(jié)構(gòu)。

就是說,第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個具有其中交替堆疊第一電介質(zhì)材料和第二電介質(zhì)材料的結(jié)構(gòu)。例如,第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個具有其中交替堆疊si氧化物和ti氧化物的結(jié)構(gòu)。第一反射層cm1和第二反射層cm2可以每一個具有其中交替堆疊兩個或更多個不同材料層的結(jié)構(gòu)。在第一反射層cm1和第二反射層cm2的每一個中,兩個或更多個材料層可以交替堆疊使得每個堆疊的材料層的厚度在光經(jīng)過該層的通道的方向上或在與光經(jīng)過該層的通道的方向相反的方向上變化。

如圖8中所示,第一反射層cm1可以包括包含第一層41至第六層46的多個材料層,在第一層41至第六層46中,第一層41、第三層43和第五層45每一個包括第一電介質(zhì)材料,第二層42、第四層44和第六層46每一個包括第二電介質(zhì)材料。材料層的厚度可以在從光l31入射到其上的第一層41到更靠近液晶層18的第六層46的方向上增大。

第二反射層cm2包括包含第一層51至第六層56的多個材料層,在第一層51至第六層56中,第一層51、第三層53和第五層55每一個包括第一電介質(zhì)材料,第二層52、第四層54和第六層56每一個包括第二電介質(zhì)材料。材料層的厚度可以在從更靠近液晶層18的第一層51到光l32經(jīng)過其從可調(diào)諧電光濾波器300發(fā)出的第六層56的方向上增大。

第一反射層cm1的第一至第六層41、42、43、44、45和46可以具有在遠(yuǎn)離液晶層18的方向上逐漸減小的厚度,第二反射層cm2的第一至第六層51、52、53、54、55和56可以具有在遠(yuǎn)離液晶層18的方向上逐漸增大的厚度。

照此,第一反射層cm1和第二反射層cm2的每一個可以具有其中交替堆疊不同電介質(zhì)材料的多層結(jié)構(gòu)。第一反射層cm1和第二反射層cm2的每一個中包括的每一層的厚度可以在從光l31經(jīng)過其入射的一側(cè)到光l32經(jīng)過其發(fā)出的一側(cè)的方向上增大。如上所述地構(gòu)建的第一反射層cm1和第二反射層cm2可以一起形成光學(xué)諧振器結(jié)構(gòu)。如上所述地構(gòu)建的第一反射層cm1和第二反射層cm2可以一起被稱為堆疊型的啁啾鏡。

第一反射層cm1和第二反射層cm2不是被成形為關(guān)于液晶層18對稱并且由于具有相反的極性而具有相反的反射相位梯度。圖8中所示的可調(diào)諧電光濾波器300可以被設(shè)計為通過第一反射層cm1和第二反射層cm2的異號反射相位梯度的添加而具有用戶期望的反射相位。

根據(jù)在此描述的一個或更多個示例性實施方式,反射相位通過在液晶層的相反側(cè)上形成具有超穎表面結(jié)構(gòu)的反射結(jié)構(gòu)被控制,從而提高用于調(diào)制透射光譜的自由度。此外,通過在液晶層的至少一側(cè)上形成具有超穎表面結(jié)構(gòu)的圖案層,防止透射波長相對于諧振器間距敏感地變化。此外,具有相異厚度的多個電介質(zhì)材料作為反射結(jié)構(gòu)被提供在液晶層的相反側(cè)上,從而提供具有用戶期望的反射相位的電光濾波器。

應(yīng)理解,在此描述的示例性實施方式應(yīng)只在描述性的意義上被考慮而非出于限制的目的。對每種示例性實施方式內(nèi)的特征或方面的描述通常應(yīng)被視為可用于另外的示例性實施方式中的另外的類似特征或方面。

雖然已經(jīng)參照附圖描述了一個或更多個示例性實施方式,但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解,可以在此作出形式和細(xì)節(jié)上的各種不同的變化而不背離如所附權(quán)利要求界定的精神和范圍。

本申請要求2016年1月13日向韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請第10-2016-0004411號的優(yōu)先權(quán),其全部內(nèi)容通過引用合并于此。

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