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光合波器的制造方法以及制造裝置與流程

文檔序號(hào):11333318閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
關(guān)于光合波器的制造方法,光合波器具備具有相互平行的第一主面及第二主面的基底(31)、設(shè)置于第一主面的反射鏡(33)以及設(shè)置于第二主面的光學(xué)濾光器(32),該方法包括:在基底(31)的第一主面載置反射鏡(33),在使用自動(dòng)準(zhǔn)直儀61進(jìn)行基底(31)與反射鏡(33)之間的角度調(diào)整之后,將反射鏡(33)固定到基底(31)的步驟(s1);以及在基底(31)的第二主面載置光學(xué)濾光器(32),在使用自動(dòng)準(zhǔn)直儀(61)進(jìn)行基底(31)與光學(xué)濾光器(32)之間的角度調(diào)整之后,將光學(xué)濾光器(32)固定到基底(31)的步驟(s2)。

技術(shù)研發(fā)人員:小寺秀和;下野真也
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三菱電機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:2016.03.01
技術(shù)公布日:2017.10.13
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