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光合波器的制造方法以及制造裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11333318

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本發(fā)明涉及例如在集成型光模塊等中使用的光合波器的制造方法以及制造裝置。背景技術(shù)近年來,光網(wǎng)絡(luò)的通信業(yè)務(wù)量增大,要求具有高的通信容量、更小型且低功耗的光模塊。為了實現(xiàn)小型化以及低功耗化,正在推進光模塊的集成化。例如,在下述專利文獻1中,公開了在一個封裝內(nèi)使用透鏡將四個波長不同的光元件和光合波器光學(xué)地耦合的光集成模塊。在該光集成模塊中,需要以使各光元件之間的光損耗偏差變小的方式,將來自四個光元件的發(fā)光安裝到光合波器。作為其對策,在下述專利文獻2中,提出了如下方法:在透鏡與光合波器之間,配置非線性光學(xué)...
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