1.一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，包括光源模塊、聚焦模塊、數字微鏡模塊、平臺模塊，還包括：信號采集模塊、顯示模塊和環(huán)境模塊，其中，
所述光源模塊、聚焦模塊、數字微鏡模塊、平臺模塊分別與所述環(huán)境模塊相連接，所述環(huán)境模塊與所述信號采集模塊相連接，所述信號采集模塊與所述顯示模塊相連接。
2.根據權利要求1所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，所述光源模塊、聚焦模塊、數字微鏡模塊、平臺模塊分別通過溫濕度傳感器與所述環(huán)境模塊相連接。
3.根據權利要求2所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，所述信號采集模塊包括信號調理器和模數轉換器，其中，
所述信號調理器對所述溫濕度傳感器采集的溫濕度參數信號進行放大、濾波調理，輸出模擬信號；
所述模數轉換器將所述模擬信號轉換為數字信號。
4.根據權利要求1所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，還包括信號比較模塊和報警模塊，其中，
所述信號采集模塊與所述信號比較模塊相連接，所述信號比較模塊與所述報警模塊相連接。
5.根據權利要求1所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，還包括氣路模塊，其中，
所述氣路模塊與所述環(huán)境模塊相連，所述氣路模塊上設置有真空度模塊，所述真空度模塊用于監(jiān)測所述氣路模塊的真空度。
6.一種遠程監(jiān)控系統，用于遠程監(jiān)控光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其特征在于，包括信號接收模塊以及如權利要求1-5任一項所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統，其中，
所述光刻機環(huán)境監(jiān)測系統中的信號采集模塊與所述信號接收模塊通信連接。
7.根據權利要求6所述的遠程監(jiān)控系統，其特征在于，所述光刻機環(huán)境監(jiān)測系統還包括信號加密模塊，其中，
所述信號加密模塊與所述信號采集模塊相連接。
8.根據權利要求7所述的遠程監(jiān)控系統，其特征在于，所述信號接收模塊還包括信號解密模塊。
9.根據權利要求8所述的遠程監(jiān)控系統，其特征在于，所述信號加密模塊為數據編碼器，所述信號解密模塊為數據解碼器。
10.根據權利要求6所述的遠程監(jiān)控系統，其特征在于，所述信號采集模塊與所述信號接收模塊通過無線通信相連接。