本實用新型涉及光刻機技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)及其遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體平臺、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等。

隨著科技的不斷發(fā)展，直寫式光刻機(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制電路板行業(yè)，因此保證光刻機的設(shè)備運行狀態(tài)正常具有重要的意義，光刻機的運行環(huán)境是直接影響光刻機的設(shè)備運行狀態(tài)。

光刻機的運行環(huán)境要求比較嚴(yán)格，而目前現(xiàn)有光刻機無法實現(xiàn)內(nèi)部運行運行環(huán)境的監(jiān)測，而且，常常是當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)問題時才能發(fā)現(xiàn)設(shè)備的內(nèi)部運行環(huán)境不正常，導(dǎo)致設(shè)備故障，此外，需要由技術(shù)人員定期檢查設(shè)備環(huán)境及運行狀態(tài)，不僅浪費人力物力，而且無法實時了解設(shè)備的內(nèi)部環(huán)境的運行情況。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)及其遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。以解決現(xiàn)有技術(shù)的光刻機無法監(jiān)測當(dāng)前環(huán)境是否符合達到設(shè)備運行環(huán)境的技術(shù)問題，能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備運行狀態(tài)環(huán)境的實時監(jiān)測。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，包括光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊，還包括：信號采集模塊、顯示模塊、環(huán)境模塊，其中，

所述光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別與所述環(huán)境模塊相連接，所述環(huán)境模塊與所述信號采集模塊相連接，所述信號采集模塊與所述顯示模塊相連接。

光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別與環(huán)境模塊相連接，環(huán)境模塊與信號采集模塊相連接，環(huán)境模塊直接采集光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊的運行環(huán)境參數(shù)，并由信號采集模塊處理環(huán)境參數(shù)，然后顯示在與信號采集模塊相連接的顯示模塊上，從而可以直觀地監(jiān)測光刻機各個模塊的運行環(huán)境，實現(xiàn)了實時、直觀的監(jiān)測光刻機設(shè)備的運行環(huán)境狀況，可以直觀的了解當(dāng)前環(huán)境是否符合設(shè)備運行環(huán)境的要求。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，所述光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別通過溫濕度傳感器與所述環(huán)境模塊相連接。

光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊的下方均設(shè)置有相應(yīng)的溫濕度傳感器，溫濕度傳感器可以將各模塊的溫濕度參數(shù)轉(zhuǎn)化為電信號傳遞給環(huán)境模塊，環(huán)境模塊將存儲和讀取到的溫濕度參數(shù)傳遞給信號采集模塊進行預(yù)處理。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，所述信號采集模塊包括信號調(diào)理器和模數(shù)轉(zhuǎn)換器，其中，

所述信號調(diào)理器對所述溫濕度傳感器采集的溫濕度參數(shù)信號進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號；

所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器將所述模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，還包括信號比較模塊和報警模塊，其中，

所述信號采集模塊與所述信號比較模塊相連接，所述信號比較模塊與所述報警模塊相連接。

信號比較模塊可以將采集到的信號與預(yù)設(shè)參數(shù)進行比較，超出預(yù)設(shè)范圍值時，通過與之相連接的報警模塊發(fā)出警報，提醒相關(guān)人員設(shè)備故障，方便及時維修，從而可以實現(xiàn)實時的對環(huán)境進行監(jiān)測，響應(yīng)時間快，在提示相關(guān)操作人員環(huán)境異常的同時對設(shè)備進行保護及報警。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，該光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還包括氣路模塊，其中，

所述氣路模塊與所述環(huán)境模塊相連，所述氣路模塊上設(shè)置有真空度模塊，所述真空度模塊用于監(jiān)測所述氣路模塊的真空度。

第二方面，本實用新型實施例還提供了一種遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，用于遠(yuǎn)程監(jiān)控光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，包括信號接收模塊以及第一方面及其可能的實施方式所述的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，其中，

所述光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)中的信號采集模塊與所述信號接收模塊通信連接。

為了進一步的實時監(jiān)測光刻機設(shè)備的狀態(tài)，在特殊情況下，例如當(dāng)人員離開時，設(shè)備斷電運行或者運輸過程中，對設(shè)備環(huán)境進行監(jiān)測，本實施例提供了一種遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)可以實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)測設(shè)備的運行環(huán)境狀態(tài)。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第一種可能的實施方式，其中，所述光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還包括信號加密模塊，其中，

所述信號加密模塊與所述信號采集模塊相連接。

信號加密模塊對采集的數(shù)據(jù)信號進行加密，保證了數(shù)據(jù)的安全性。

結(jié)合第二方面的第一種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第二方面的第二種可能的實施方式，其中，所述信號接收模塊還包括信號解密模塊。

信號解密模塊將加密的數(shù)據(jù)解密解析。

結(jié)合第二方面的第二種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第二方面的第三種可能的實施方式，其中，所述信號加密模塊為數(shù)據(jù)編碼器，所述信號解密模塊為數(shù)據(jù)解碼器。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第四種可能的實施方式，其中，所述信號采集模塊與所述信號接收模塊通過無線通信相連接。

無線通信方式不需要光纜的布線設(shè)置，可以有效地規(guī)避地形造成的麻煩，同時可以節(jié)省布線的成本。

本實用新型實施例帶來了以下有益效果：

光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊分別與環(huán)境模塊相連，環(huán)境模塊與信號采集模塊相連接，環(huán)境模塊直接采集光源模塊、聚焦模塊、數(shù)字微鏡模塊、平臺模塊的運行環(huán)境參數(shù)，并由信號采集模塊采集處理環(huán)境參數(shù)，然后顯示在與信號采集模塊相連接的顯示模塊上，從而可以直觀地監(jiān)測光刻機各個模塊的運行環(huán)境，實現(xiàn)了實時、直觀的監(jiān)測光刻機設(shè)備的運行環(huán)境狀況，同時可以及時發(fā)現(xiàn)故障，節(jié)省維修的時間、人力和成本。

本實用新型的其他特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型而了解。本實用新型的目的和其他優(yōu)點在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例所提供的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型提供的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的信號采集模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型優(yōu)選實施例1提供的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型優(yōu)選實施例2提供的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：1-光源模塊；2-聚焦模塊；3-數(shù)字微鏡模塊；4-平臺模塊；5-信號采集模塊；51-信號調(diào)理器；52-模數(shù)轉(zhuǎn)換器；6-顯示模塊；7-環(huán)境模塊；8-信號比較模塊；9-報警模塊；10-氣路模塊；101-真空度模塊；11-信號接收模塊；12-信號加密模塊；13-信號解密模塊。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

目前現(xiàn)有光刻機無法實現(xiàn)內(nèi)部運行運行環(huán)境的監(jiān)測，而且，常常是當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)問題時才能發(fā)現(xiàn)設(shè)備的內(nèi)部運行環(huán)境不正常，導(dǎo)致設(shè)備故障，此外，需要由技術(shù)人員定期檢查設(shè)備環(huán)境及運行狀態(tài)，不僅浪費人力物力，而且無法實時了解設(shè)備的內(nèi)部環(huán)境的情況。

為便于對本實施例進行理解，首先對本實用新型所提供的一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)進行詳細(xì)介紹。

圖1為本實用新型所提供的一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的基本結(jié)構(gòu)示意圖。

參照圖1，本實用新型實施例提供了一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)包括光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4，還包括：信號采集模塊5、顯示模塊6和環(huán)境模塊7，其中，

光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4分別與環(huán)境模塊7相連接，環(huán)境模塊7與信號采集模塊5相連接，信號采集模塊5與顯示模塊6相連接。進一步的是，光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4分別通過溫濕度傳感器與環(huán)境模塊7相連接。

圖中所示的光源模塊1、數(shù)字微鏡模塊3、聚焦模塊2、平臺模塊4按照光路依次連接。

進一步的是，光源模塊1為激光器，該光刻機為激光直寫式光刻機。優(yōu)選的是，激光器為半導(dǎo)體固態(tài)激光器，半導(dǎo)體固態(tài)激光器可以是紫外光、紅光、藍(lán)光等半導(dǎo)體固態(tài)激光器。激光器是光刻機的主要部分，但是激光器屬于損耗品，長時間的使用會使激光器的能量慢慢的衰減，利用率降低，達不到激光刻寫的程度，進而引起PCB板后續(xù)工作的進行。監(jiān)測激光器的運行狀態(tài)，便于激光器的維護與保養(yǎng)。激光器的下方設(shè)置有溫濕度傳感器。

聚焦模塊2主要包括電機、楔形棱鏡聚焦和階梯棱鏡聚焦，聚焦的控制是通過電機的移動完成聚焦操作，通過監(jiān)測電機的移動位移來判斷聚焦模塊2的運行環(huán)境狀態(tài)，在電機的下方設(shè)置有溫濕度傳感器。

數(shù)字微鏡模塊3(Digital Micromirror Device，簡稱DMD模塊)，包括DMD控制板和DMD鏡頭，DMD模塊主要是DMD控制板分析PCB數(shù)據(jù)控制DMD鏡頭翻轉(zhuǎn)，實現(xiàn)激光的反射，在數(shù)字微鏡模塊3的下方設(shè)置有溫濕度傳感器。

平臺模塊4作為防止曝光基底的載物平臺，監(jiān)測平臺模塊4的光路環(huán)境是非常重要的。在平臺模塊4上方及下方均設(shè)置有溫濕度傳感器，以全面監(jiān)測平臺模塊4的運行環(huán)境。

上述傳感器的選取根據(jù)實際使用的條件進行選取。需要說明的是，傳感器作為一種感知事物物理變化的工具，應(yīng)用越來越廣泛，其感知物理信息的準(zhǔn)確程度將直接影響相應(yīng)系統(tǒng)的決斷。而隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進步，傳感器的工作機理變得復(fù)雜，傳感器樣式多種多樣，因此選用不同精度的傳感器也就會導(dǎo)致測量方式的不同，合理選用傳感器會使測量精度和穩(wěn)定度提高，本實施例中傳感器的選用原則如下：

由監(jiān)測對像和監(jiān)測環(huán)境選定傳感器：根據(jù)特定的監(jiān)測對象和傳感器工作環(huán)境，選擇工作原理符合要求的傳感器。

靈敏度：根據(jù)現(xiàn)場要求，在測量范圍允許前提下，選擇靈敏度更高的。

響應(yīng)時間：在測量頻率范圍內(nèi)，傳感器能很好的滿足采集設(shè)備要求，最大限度降低延遲時間。

可靠性：傳感器的電氣參數(shù)滿足規(guī)定要求。

線性度：表征傳感器的工作量程的重要參數(shù)，一般在滿足精度、靈敏度前提下，選擇工作量程較大的傳感器。

進一步的是，信號采集模塊5包括信號調(diào)理器51和模數(shù)轉(zhuǎn)換器52，如圖2所示，其中，信號調(diào)理器51與模數(shù)轉(zhuǎn)換器52相連接。

信號調(diào)理器51對溫濕度傳感器采集的溫濕度參數(shù)信號進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號，信號調(diào)理器51對傳感器采集測量的信號進行放大、濾波等調(diào)理后，變成標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號，并將模擬信號傳遞給與之相連接的模數(shù)轉(zhuǎn)換器52。

模數(shù)轉(zhuǎn)換器52將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。

模數(shù)轉(zhuǎn)換器52即A/D轉(zhuǎn)換器，通常是指一個將模擬信號轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字信號的電子元件。由于數(shù)字信號本身不具有實際意義，僅僅表示一個相對大小，故任何一個模數(shù)轉(zhuǎn)換器都需要一個參考模擬量作為轉(zhuǎn)換的標(biāo)準(zhǔn)，比較常見的參考標(biāo)準(zhǔn)為最大的可轉(zhuǎn)換信號大小，而輸出的數(shù)字量則表示輸入信號相對于參考信號的大小。

顯示模塊6提供可視化人機交互界面，用戶可以直觀的監(jiān)測上述模塊的參數(shù)信息，方便直觀。進一步的是，顯示模塊6為液晶顯示屏，優(yōu)選的是，顯示模塊6為觸摸液晶顯示屏，可以進行觸屏操作，也可以切換模塊界面，查看信息。

環(huán)境模塊7用于監(jiān)測各模塊的運行環(huán)境，環(huán)境模塊7分別與光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4相連接。進一步的是，光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4分別通過溫濕度傳感器與環(huán)境模塊7相連接，環(huán)境模塊7對來自各個傳感器的參數(shù)進行分別進行讀取和存儲，能夠同時克服多個傳感器干擾導(dǎo)致傳輸數(shù)據(jù)不穩(wěn)定或出錯的問題。進一步的是，環(huán)境模塊7為單片機芯片，可以對信號進行讀取、存儲、處理和傳輸。優(yōu)選的是，環(huán)境模塊7是lpc2138單片機芯片。

光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4的下方均設(shè)置有相應(yīng)的溫濕度傳感器，溫濕度傳感器可以將上述各模塊的溫濕度參數(shù)轉(zhuǎn)化為電信號傳遞給環(huán)境模塊7，環(huán)境模塊7對電信號進行讀取存儲，環(huán)境模塊7將存儲和讀取到的溫濕度參數(shù)傳遞給信號采集模塊5進行預(yù)處理，信號采集模塊5的信號調(diào)理器51對溫濕度參數(shù)信號進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號；模數(shù)轉(zhuǎn)換器52將上述模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，傳遞給顯示模塊6，顯示模塊6進行顯示，從而實現(xiàn)實時、直觀的監(jiān)測各模塊的運行環(huán)境。

此外，需要說明的是，該光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還可以包括電源模塊。

電源模塊為光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)提供電力支持，光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4、信號采集模塊5、顯示模塊6、環(huán)境模塊7分別與電源模塊相連接；

電源模塊作為整個光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)提供電力支持，優(yōu)選的是，電源模塊為超大容量蓄電池，可以儲存電量，在緊急情況下，提供備用電力支持光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)運轉(zhuǎn)。

電源模塊主要是負(fù)責(zé)檢測整機運行時的工作電壓與電流，保證設(shè)備處于正常功率范圍。電源模塊下方設(shè)置有傳感器，進一步的是，傳感器包括電流傳感器和電壓傳感器。

實施例1：

圖3為本實用新型優(yōu)選實施例1提供的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

如圖3所示，本實用新型實施例提供了一種光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)包括光源模塊1、聚焦模塊2、數(shù)字微鏡模塊3、平臺模塊4、信號采集模塊5和顯示模塊6。

進一步的是，該光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還包括：信號比較模塊8和報警模塊9，其中，

信號采集模塊5與信號比較模塊8相連接，信號比較模塊8與報警模塊9相連接。

信號比較模塊8可以將采集到的信號與預(yù)設(shè)參數(shù)進行比較，超出預(yù)設(shè)范圍值時，通過與之相連接的報警模塊9發(fā)出警報，提醒相關(guān)人員設(shè)備運行出錯，出現(xiàn)故障，方便及時維修。進一步的是，信號比較模塊8為信號比較器，報警模塊9包括語音裝置，語音裝置為喇叭、揚聲器的一種或者其結(jié)合。

優(yōu)選的是，該光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還包括氣路模塊10，其中，

氣路模塊10與環(huán)境模塊7相連接，氣路模塊10上設(shè)置有真空度模塊101，真空度模塊101用于監(jiān)測所述氣路模塊10的真空度信號參數(shù)，進一步的是，真空度模塊101為真空壓力傳感器。

真空度模塊101將測得的氣路模塊10的真空度信號參數(shù)傳遞給環(huán)境模塊7，環(huán)境模塊7進行讀取存儲，環(huán)境模塊7將存儲和讀取的真空度信號參數(shù)環(huán)境模塊7將存儲和讀取到的真空度信號參數(shù)傳遞給信號采集模塊5進行預(yù)處理，信號采集模塊5的信號調(diào)理器51對真空度信號參數(shù)進行放大、濾波調(diào)理，輸出模擬信號；模數(shù)轉(zhuǎn)換器52將上述模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，傳遞給顯示模塊6，顯示模塊6進行顯示，從而實現(xiàn)實時、直觀的監(jiān)測光刻機設(shè)備氣路模塊10的真空度運行環(huán)境。

實施例2：

如圖4所示，本實用新型實施例還提供了一種遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，包括信號接收模塊11以及實施例1中的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)中的信號采集模塊5與信號接收模塊11通信連接。

進一步的是，信號采集模塊5與信號接收模塊11通過無線通信連接，優(yōu)選的是，信號采集模塊5與信號接收模塊11通過無線通信衛(wèi)星連接。

通過衛(wèi)星反饋，當(dāng)光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)斷網(wǎng)或是斷電情況下，衛(wèi)星反饋數(shù)據(jù)仍能實時監(jiān)測光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)狀態(tài)。

進一步的是，光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)還包括信號加密模塊12，其中，

信號加密模塊12與信號采集模塊5相連接。

信號加密模塊12將信號采集模塊5的數(shù)據(jù)信號進行數(shù)據(jù)加密處理，確保數(shù)據(jù)信號穩(wěn)定、安全傳輸。優(yōu)選的是，信號加密模塊12為數(shù)據(jù)編碼器。

進一步的是，信號接收模塊11還包括信號解密模塊13。

信號解密模塊13將接受到的數(shù)據(jù)信號進行解碼解析，還原成原始的數(shù)據(jù)信號，供用戶參考，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。優(yōu)選的是，信號信號解密模塊13為數(shù)據(jù)解碼器。

需要說明的是，信號接收模塊11可以是工業(yè)計算機，也可以是移動式設(shè)備，如手機、平板電腦、筆記本電腦等。

本實用新型實施例提供的遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，與上述實施例提供的光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)具有相同的技術(shù)特征，所以也能解決相同的技術(shù)問題，達到相同的技術(shù)效果。此外還可以實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控光刻機環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的運行狀態(tài)。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統(tǒng)和模塊的具體工作過程，可以參考前述方法實施例中的對應(yīng)過程，在此不再贅述。

另外，在本實用新型實施例的描述中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連接”、“相連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定相連接，也可以是可拆卸相連接，或一體地相連接；可以是機械相連接，也可以是電相連接；可以是直接相連接，也可以通過中間媒介間接相連接，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的模塊或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

最后應(yīng)說明的是：以上所述實施例，僅為本實用新型的具體實施方式，用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制，本實用新型的保護范圍并不局限于此，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，其依然可以對前述實施例所記載的技術(shù)方案進行修改或可輕易想到變化，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改、變化或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型實施例技術(shù)方案的精神和范圍，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。