本實用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種微調(diào)系統(tǒng)以及空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是指在光照作用下，借助光致抗蝕劑將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù)。光刻技術(shù)用于在基底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等芯片。

在直寫式光刻機的光刻系統(tǒng)中，特征圖形由空間光調(diào)制器微鏡陣列產(chǎn)生，這些微小鏡面可以獨立尋址單獨受控以不同的傾斜方向反射照射的光束，以產(chǎn)生空間光強調(diào)制，然后將特征圖形通過相應(yīng)成像光路投影到PCB板上。因此對空間光調(diào)制器相對于印刷電路板(Printed Circuit Board，簡稱PCB板)面的位置精度要求很高，尤其是在縱向上對成像質(zhì)量影響很大，而且在水平面的角度對成像的拼接影響很大。

目前，空間光調(diào)制器在縱向方面，主要是安裝時調(diào)整不同厚度的墊片進行微調(diào)，在空間光調(diào)制器的水平方面，主要靠旋轉(zhuǎn)鏡筒進行調(diào)節(jié)。但是，樣的調(diào)節(jié)方式使空間光調(diào)制器的安裝和調(diào)試很不方便，由于設(shè)備對空間光調(diào)制器的位置精度要求較高，尤其是縱向方面和水平方面的內(nèi)角度，單純的靠機加工很難保證且費用較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種微調(diào)系統(tǒng)以及空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，以使空間光調(diào)制器的安裝和設(shè)備的調(diào)試方便、簡單，同時對機加工的精度要求降低，減少機加工件的費用。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種微調(diào)系統(tǒng)，包括直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與微調(diào)設(shè)備；

直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置；

測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，直線滑臺裝置包括直線型軌道與第一螺旋測微器；直線型軌道通過固定直線軌跡控制微調(diào)設(shè)備的微調(diào)方向；第一螺旋測微器通過螺旋副傳動測量微調(diào)設(shè)備沿直線的微調(diào)幅度。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，直線滑臺裝置的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，測角儀滑臺裝置包括曲線型軌道與第二螺旋測微器；曲線型軌道通過固定圓弧軌跡控制微調(diào)設(shè)備的微調(diào)方向；第二螺旋測微器通過螺旋副傳動測量微調(diào)設(shè)備沿圓弧的微調(diào)角度。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，測角儀滑臺裝置的微調(diào)角度范圍為正負(fù)5度。

第二方面，本實用新型實施例還提供一種空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，包括：直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與空間光調(diào)制器；

直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置；

測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第一種可能的實施方式，其中，直線滑臺裝置包括直線型軌道與第一螺旋測微器；直線型軌道通過固定直線軌跡控制空間光調(diào)制器的微調(diào)方向；第一螺旋測微器通過螺旋副傳動測量空間光調(diào)制器沿直線的微調(diào)幅度。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第二種可能的實施方式，其中，直線滑臺裝置的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第三種可能的實施方式，其中，測角儀滑臺裝置包括曲線型軌道與第二螺旋測微器；曲線型軌道通過固定圓弧軌跡控制空間光調(diào)制器的微調(diào)方向；第二螺旋測微器通過螺旋副傳動測量空間光調(diào)制器沿圓弧的微調(diào)角度。

結(jié)合第二方面，本實用新型實施例提供了第二方面的第四種可能的實施方式，其中，測角儀滑臺裝置的微調(diào)角度范圍為正負(fù)1度。

本實用新型實施例帶來了以下有益效果：本實用新型實施例提供的一種微調(diào)系統(tǒng)，包括直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與微調(diào)設(shè)備；直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置；測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置。本實用新型實施例提供的一種空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，包括直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與空間光調(diào)制器；直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置；測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置。通過直線滑臺對微調(diào)設(shè)備或空間光調(diào)制器的縱向進行微調(diào)，通過測角儀滑臺對微調(diào)設(shè)備或空間光調(diào)制器的水平面角度進行微調(diào)，以使微調(diào)設(shè)備或空間光調(diào)制器的安裝和設(shè)備的調(diào)試方便、簡單，同時對機加工的精度要求降低，減少機加工件的費用。

本實用新型的其他特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型而了解。本實用新型的目的和其他優(yōu)點在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的微調(diào)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例中的直線滑臺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例中的測角儀滑臺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例中的直寫式光刻機的光刻系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：

1-微調(diào)系統(tǒng)；2-直線滑臺裝置；3-測角儀滑臺裝置；4-微調(diào)設(shè)備；21-直線型軌道；22-第一螺旋測微器；31-曲線型軌道；32-第二螺旋測微器；5-空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)；6-直線滑臺裝置；7-測角儀滑臺裝置；8-空間光調(diào)制器；9-光調(diào)制器支撐座；10-空間光調(diào)制器安裝座；11-遮光蓋板。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

目前，空間光調(diào)制器在縱向主要是安裝時調(diào)整不同厚度的墊片進行微調(diào)，在水平方面主要靠旋轉(zhuǎn)鏡筒進行調(diào)節(jié)，這樣的調(diào)節(jié)方式使空間光調(diào)制器的安裝和調(diào)試很不方便，由于設(shè)備對空間光調(diào)制器的位置精度要求較高，尤其是縱向和水平方面的內(nèi)角度，單純的靠機加工很難保證且費用較高?；诖耍緦嵱眯滦蛯嵤├峁┑囊环N微調(diào)系統(tǒng)以及空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，可以使空間光調(diào)制器的安裝和設(shè)備的調(diào)試方便、簡單，同時對機加工的精度要求降低，減少機加工件的費用。

為便于對本實施例進行理解，首先對本實用新型實施例所公開的一種微調(diào)系統(tǒng)以及空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)進行詳細(xì)介紹，

實施例一：

如圖1所示，本實用新型提供的微調(diào)系統(tǒng)1，包括直線滑臺裝置2、測角儀滑臺裝置3與微調(diào)設(shè)備4，直線滑臺裝置2根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備4的位置，測角儀滑臺裝置3根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備4的位置。

本實施例中，對微調(diào)設(shè)備的二維調(diào)節(jié)主要是通過直線滑臺裝置2和測角儀滑臺裝置3來進行調(diào)節(jié)，在微調(diào)過程中，保持測角儀滑臺裝置3的運動軌跡所在平面始終垂直于直線滑臺裝置2的縱軸方向，并且測角儀滑臺裝置3的轉(zhuǎn)動軌跡是以直線滑臺裝置2的縱軸為中心軸點的圓弧。

其中，用直線滑臺裝置2調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備4在固定縱軸上的高低位置，用測角儀滑臺裝置3調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備4在固定圓弧曲線上相對于縱軸轉(zhuǎn)動的角度位置。

如圖2所示，直線滑臺裝置2包括直線型軌道21與第一螺旋測微器22，直線型軌道21通過固定直線軌跡控制微調(diào)設(shè)備4的微調(diào)方向，第一螺旋測微器22通過螺旋副傳動測量微調(diào)設(shè)備4沿直線的微調(diào)幅度。

進一步的是，直線滑臺裝置2的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

本實用新型實施例中的第一螺旋測微器22是應(yīng)用螺旋副傳動原理，通過將回轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動來測量長度，能夠準(zhǔn)確到0.01毫米，保證測量的精密度。

其中，第一螺旋測微器22的一部分加工成螺距為0.5毫米的螺紋，當(dāng)它在固定套管的螺套中轉(zhuǎn)動時，將前進或后退，活動套管和螺桿連成一體，其周邊等分成五十個分格。螺桿轉(zhuǎn)動的整圈數(shù)由固定套管上間隔0.5毫米的刻線去測量，不足一圈的部分由活動套管周邊的刻線去測量。

如圖3所示，測角儀滑臺裝置3包括曲線型軌道31與第二螺旋測微器32，曲線型軌道31通過固定圓弧軌跡控制微調(diào)設(shè)備4的微調(diào)方向，第二螺旋測微器32通過螺旋副傳動測量微調(diào)設(shè)備4沿圓弧的微調(diào)角度。

作為一個優(yōu)選方案，測角儀滑臺裝置3的微調(diào)角度范圍為正負(fù)5度。

本實施例中，第二螺旋測微器32是應(yīng)用螺旋副傳動原理，通過將回轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動來測量，能夠準(zhǔn)確到0.01毫米，保證測量的精密度。第二螺旋測微器32的一部分加工成螺距為0.5毫米的螺紋，當(dāng)它在固定套管的螺套中轉(zhuǎn)動時，將前進或后退，活動套管和螺桿連成一體，其周邊等分成五十個分格。螺桿轉(zhuǎn)動的整圈數(shù)由固定套管上間隔0.5毫米的刻線去測量，不足一圈的部分由活動套管周邊的刻線去測量。

本實用新型提供的微調(diào)系統(tǒng)，包括直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與微調(diào)設(shè)備；直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置；測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)微調(diào)設(shè)備的位置。通過直線滑臺對微調(diào)設(shè)備的縱向進行微調(diào)，與測角儀滑臺對微調(diào)設(shè)備的水平面角度進行微調(diào)，以使微調(diào)設(shè)備的安裝和設(shè)備的調(diào)試方便、簡單，同時對機加工的精度要求降低，減少機加工件的費用。

實施例二：

如圖4所示，本實用新型提供的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)5，包括直線滑臺裝置6、測角儀滑臺裝置7與空間光調(diào)制器8，直線滑臺裝置6根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器8的位置，測角儀滑臺裝置7根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器8的位置。

現(xiàn)有的空間光調(diào)制器8縱向主要在安裝時調(diào)整不同厚度的墊片進行微調(diào)，水平主要靠旋轉(zhuǎn)鏡筒進行調(diào)節(jié)。本實施例中，縱向增加直線滑臺裝置6調(diào)整縱向位置，水平角度增加測角儀滑臺裝置7調(diào)整水平方向角度，方便了空間光調(diào)制器8的安裝和調(diào)試。

本實施例中，對空間光調(diào)制器8的二維調(diào)節(jié)主要是通過直線滑臺裝置6和測角儀滑臺裝置7調(diào)節(jié)，在微調(diào)過程中，保持測角儀滑臺裝置7的運動軌跡所在平面始終垂直于直線滑臺裝置6的縱軸方向，并且測角儀滑臺裝置7的轉(zhuǎn)動軌跡是以直線滑臺裝置6的縱軸為中心軸點的圓弧。

其中，用直線滑臺裝置6調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器8在固定縱軸上的高低位置，用測角儀滑臺裝置7調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器8在固定圓弧曲線上相對于縱軸轉(zhuǎn)動的角度位置。

如圖2所示，本實用新型實施例中的直線滑臺裝置6包括直線型軌道21與第一螺旋測微器22，直線型軌道21通過固定直線軌跡控制空間光調(diào)制器8的微調(diào)方向，第一螺旋測微器22通過螺旋副傳動測量空間光調(diào)制器8沿直線的微調(diào)幅度。

進一步的是，直線滑臺裝置6的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

本實用新型實施例中的第一螺旋測微器22是應(yīng)用螺旋副傳動原理，通過將回轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動來測量長度，能夠準(zhǔn)確到0.01毫米，保證測量的精密度。

其中，第一螺旋測微器22的一部分加工成螺距為0.5毫米的螺紋，當(dāng)它在固定套管的螺套中轉(zhuǎn)動時，將前進或后退，活動套管和螺桿連成一體，其周邊等分成五十個分格。螺桿轉(zhuǎn)動的整圈數(shù)由固定套管上間隔0.5毫米的刻線去測量，不足一圈的部分由活動套管周邊的刻線去測量。

如圖3所示，本實施例中，測角儀滑臺裝置7包括曲線型軌道31與第二螺旋測微器32，曲線型軌道31通過固定圓弧軌跡控制空間光調(diào)制器8的微調(diào)方向，第二螺旋測微器32通過螺旋副傳動測量空間光調(diào)制器8沿圓弧的微調(diào)角度。

作為一個優(yōu)選方案，測角儀滑臺裝置7的微調(diào)角度范圍為正負(fù)1度。

對于第二螺旋測微器32，是應(yīng)用螺旋副傳動原理通過將回轉(zhuǎn)運動變?yōu)橹本€運動來測量，能夠準(zhǔn)確到0.01毫米，保證測量的精密度。第二螺旋測微器32的一部分加工成螺距為0.5毫米的螺紋，當(dāng)它在固定套管的螺套中轉(zhuǎn)動時，將前進或后退，活動套管和螺桿連成一體，其周邊等分成五十個分格。螺桿轉(zhuǎn)動的整圈數(shù)由固定套管上間隔0.5毫米的刻線去測量，不足一圈的部分由活動套管周邊的刻線去測量。

如圖5所示，將本實用新型提供的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)5應(yīng)用于直寫式光刻機的光刻系統(tǒng)，該直寫式光刻機的光刻系統(tǒng)包括直線滑臺裝置6、測角儀滑臺裝置7、空間光調(diào)制器8、光調(diào)制器支撐座9、空間光調(diào)制器安裝座10與遮光蓋板11。

本實用新型提供的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，包括直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與空間光調(diào)制器；直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運行幅度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置；測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于縱軸方向垂直的水平面，通過沿縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)空間光調(diào)制器的位置。通過直線滑臺對空間光調(diào)制器的縱向進行微調(diào)，與測角儀滑臺對空間光調(diào)制器的水平面角度進行微調(diào)，以使空間光調(diào)制器的安裝和設(shè)備的調(diào)試方便、簡單，同時對機加工的精度要求降低，減少機加工件的費用。

本實用新型實施例提供的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)，與上述實施例提供的微調(diào)系統(tǒng)具有相同的技術(shù)特征，所以也能解決相同的技術(shù)問題，達(dá)到相同的技術(shù)效果。

另外，在本實用新型實施例的描述中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

最后應(yīng)說明的是：以上所述實施例，僅為本實用新型的具體實施方式，用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制，本實用新型的保護范圍并不局限于此，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，其依然可以對前述實施例所記載的技術(shù)方案進行修改或可輕易想到變化，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改、變化或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型實施例技術(shù)方案的精神和范圍，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。