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微調(diào)系統(tǒng)以及空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12780033閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,包括:直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與微調(diào)設(shè)備;

所述直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運(yùn)行幅度調(diào)節(jié)所述微調(diào)設(shè)備的位置;

所述測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于所述縱軸方向垂直的水平面,通過沿所述縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)所述微調(diào)設(shè)備的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述直線滑臺裝置包括直線型軌道與第一螺旋測微器;

所述直線型軌道通過固定直線軌跡控制所述微調(diào)設(shè)備的微調(diào)方向;

所述第一螺旋測微器通過螺旋副傳動測量所述微調(diào)設(shè)備沿直線的微調(diào)幅度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述直線滑臺裝置的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述測角儀滑臺裝置包括曲線型軌道與第二螺旋測微器;

所述曲線型軌道通過固定圓弧軌跡控制所述微調(diào)設(shè)備的微調(diào)方向;

所述第二螺旋測微器通過螺旋副傳動測量所述微調(diào)設(shè)備沿圓弧的微調(diào)角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述測角儀滑臺裝置的所述微調(diào)角度范圍為正負(fù)5度。

6.一種空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,包括:直線滑臺裝置、測角儀滑臺裝置與空間光調(diào)制器;

所述直線滑臺裝置根據(jù)沿縱軸方向的運(yùn)行幅度調(diào)節(jié)所述空間光調(diào)制器的位置;

所述測角儀滑臺裝置根據(jù)相對于所述縱軸方向垂直的水平面,通過沿所述縱軸轉(zhuǎn)動角度調(diào)節(jié)所述空間光調(diào)制器的位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述直線滑臺裝置包括直線型軌道與第一螺旋測微器;

所述直線型軌道通過固定直線軌跡控制所述空間光調(diào)制器的微調(diào)方向;

所述第一螺旋測微器通過螺旋副傳動測量所述空間光調(diào)制器沿直線的微調(diào)幅度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述直線滑臺裝置的微調(diào)幅度范圍為正負(fù)15毫米。

9.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述測角儀滑臺裝置包括曲線型軌道與第二螺旋測微器;

所述曲線型軌道通過固定圓弧軌跡控制所述空間光調(diào)制器的微調(diào)方向;

所述第二螺旋測微器通過螺旋副傳動測量所述空間光調(diào)制器沿圓弧的微調(diào)角度。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的空間光調(diào)制器微調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述測角儀滑臺裝置的所述微調(diào)角度范圍為正負(fù)1度。

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