技術(shù)編號(hào):12780036
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種光刻機(jī)環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及其遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。背景技術(shù)光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體平臺(tái)、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等。隨著科技的不斷發(fā)展,直寫(xiě)式光刻機(jī)(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制電路板行業(yè),因此保證光刻機(jī)的設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)正常具有重要的意義,光刻機(jī)的運(yùn)行環(huán)境是直接影響光刻機(jī)的設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。光刻機(jī)的運(yùn)行環(huán)境要求比較嚴(yán)格,而目前現(xiàn)有光刻機(jī)無(wú)法實(shí)...
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