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一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置的制作方法

文檔序號:11604843閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板,可以過濾掉不需使用的大角度光線,且相鄰的開孔不會相互干擾光路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征為每塊擋光板之間間隔一定的距離,每塊擋光板與出光方向垂直,擋光板上的開孔中心與發(fā)光芯片光路的中心重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征為擋光板開孔的孔壁,表面為具備良好的紫外光吸光能力的顏色,不會造成光反射而影響出光角度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征為擋光板的開孔有一定的間隔,確??着c孔之間的光路不會相互交叉干擾。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征為所述擋光板之間間隔距離可調(diào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于曝光系統(tǒng)光源的雜散光過濾裝置,其特征為所述孔壁的表面為黑色。

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