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一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置的制作方法

文檔序號:11604843閱讀:394來源:國知局
一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置的制造方法

本實用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種用于曝光機的曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置。



背景技術(shù):

制造PCB、LCD、觸摸屏等產(chǎn)品使用的曝光設(shè)備中,曝光系統(tǒng)通常采用多重透鏡獲得UV平行光源,需要多重校準(zhǔn),成本較高,維護復(fù)雜,且仍然會有部分大角度的光線產(chǎn)生,造成曝光解析度的降低。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)不足,本實用新型公開一種曝光系統(tǒng)雜散光過濾裝置,用于提高曝光解析度,其特征在于:在LED光源的光路方向上,有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板,可以過濾掉不需使用的大角度光線,且相鄰的開孔不會相互干擾光路。

每塊擋光板之間間隔一定的距離,且距離可調(diào),每塊擋光板與出光方向垂直,擋光板上的開孔中心與發(fā)光芯片光路的中心重合。

擋光板開孔的孔壁,表面為具備良好的紫外光吸光能力的顏色,不會造成光反射而影響出光角度,優(yōu)選將孔壁涂成黑色。

擋光板的開孔有一定的間隔,確??着c孔之間的光路不會相互交叉干擾。

該系統(tǒng)用于PCB、LCD、觸摸屏等領(lǐng)域曝光設(shè)備中,具有成本低廉,解析度高等優(yōu)勢。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1是本實用新型雜散光過濾裝置(反射式光源)的示意圖。

圖2是本實用新型雜散光過濾裝置(透鏡式光源)的示意圖。

具體實施方式

一種雜散光過濾裝置,如圖1所示,在反射式UV LED光源的上方,有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板,每塊擋光板之間間隔一定的距離(距離可調(diào)),每塊擋光板與出光方向垂直,擋光板上的開孔中心位于LED芯片的中心線上,可以過濾掉不需使用的大角度光線。擋光板開孔的孔壁,具備良好的吸光能力,不會造成光反射而影響出光角度。

一種雜散光過濾裝置,如圖2所示,在透鏡會聚式UV LED光源的上方,有復(fù)數(shù)層開孔直徑略大于LED芯片之間的擋光板,每塊擋光板之間間隔一定的距離(距離可調(diào)),每塊擋光板與出光方向垂直,擋光板上的開孔中心位于LED芯片的中心線上,可以過濾掉不需使用的大角度光線。擋光板開孔的孔壁涂成黑色,具備良好的吸光能力,不會造成光反射而影響出光角度。

雖然上述結(jié)合附圖描述了本實用新型的優(yōu)選實施例,但本實用新型并不限于上面所示和所描述的實施例,而是可在所附的權(quán)利要求的范圍內(nèi)以各種方式實現(xiàn)。

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