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掩膜板的制作方法

文檔序號:12533515閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括:

支撐掩膜板;及

精密掩膜板,所述精密掩膜板位于所述支撐掩膜板上,所述精密掩膜板包括過渡區(qū),所述過渡區(qū)中具有第一圖案,所述第一圖案包括通孔,所述過渡區(qū)與所述支撐掩膜板對應(yīng)。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述精密掩膜板還包括有效區(qū),所述有效區(qū)中具有第二圖案。

3.如權(quán)利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述第一圖案與所述第二圖案相同。

4.如權(quán)利要求3所述的掩膜板,其特征在于,所述第一圖案與所述第二圖案同時形成。

5.如權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一圖案通過全刻蝕工藝形成。

6.如權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述通孔的數(shù)量為一個或者多個。

7.如權(quán)利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述通孔的形狀為方形、圓形或者三角形。

8.如權(quán)利要求7所述的掩膜板,其特征在于,所述通孔的最大截面寬度為10μm~100μm。

9.如權(quán)利要求1~8中任一項所述的掩膜板,其特征在于,所述精密掩膜板和支撐掩膜板的材料均為金屬。

10.如權(quán)利要求1~8中任一項所述的掩膜板,其特征在于,所述精密掩膜板和支撐掩膜板的厚度均為10μm~100μm。

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