技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種薄膜圖形化方法，其包括：提供一基板，基板包括薄膜堆積區(qū)域以及非薄膜堆積區(qū)域；在非薄膜堆積區(qū)域上形成一可剝膠層；對(duì)可剝膠層進(jìn)行固化處理；在可剝膠層以及薄膜堆積區(qū)域上形成一薄膜；去除可剝膠層以及位于可剝膠層上的薄膜。本發(fā)明的薄膜圖形化方法，采用可剝膠代替金屬掩膜板，在非薄膜沉積區(qū)域上先形成可剝膠，再進(jìn)行薄膜沉積，最后去除可剝膠，形成圖形化薄膜，使得整個(gè)圖形化步驟不會(huì)影響后續(xù)的制程，并且使用可剝膠代替金屬掩膜板，降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：陳永勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201610979758
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.08
技術(shù)公布日：2017.05.10