技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明提供一種光照射裝置，在具有對由光源的劣化等引起的照度降低進行監(jiān)視的功能時，在機構不變得復雜，且不對生產(chǎn)率產(chǎn)生影響。在上側(cè)保持對象物(W)的工作臺(2)，通過搬運機構(3)在X方向上移動，在通過有效照射區(qū)域時工件(W)接受光照射。在工作臺(2)的側(cè)面(21)上安裝有照度計，與工作臺(2)一體地移動而通過有效照射區(qū)域。照度計(6)的測定值向控制器(7)輸送，控制器(7)所具備的光量計算單元(71)對光量進行計算而存儲于存儲部(72)。

技術研發(fā)人員：木村淳治
受保護的技術使用者：優(yōu)志旺電機株式會社
技術研發(fā)日：2016.09.29
技術公布日：2017.08.29