本申請的發(fā)明涉及一種朝對象物照射光的裝置。

背景技術(shù)：

光在工業(yè)上的利用在各種領(lǐng)域中正在發(fā)展，以各種目的來進(jìn)行向?qū)ο笪镎丈涔?。特別是，通過光是對象物的性質(zhì)變化的光處理的技術(shù)，在各種制品的制造工序中被廣泛利用。

例如，在液晶顯示器的制造工序中，近年，變得較多采用被稱為光取向的光處理。光取向?yàn)槿缦录夹g(shù)：在得到液晶顯示器用的取向?qū)?、視場角補(bǔ)償膜用的取向?qū)訒r，通過對取向?qū)佑玫哪げ倪M(jìn)行光照射，由此得到取向膜(成為取向?qū)拥哪?。

在這樣的光處理的領(lǐng)域中，有時采用如下的構(gòu)成：預(yù)先向某個設(shè)定的區(qū)域照射光，將光處理的對象物(以下，稱為工件)以在該區(qū)域(以下，稱為照射區(qū)域)通過的方式進(jìn)行搬運(yùn)，由此進(jìn)行光處理。如專利文獻(xiàn)1所示那樣，在上述光取向的領(lǐng)域中也使用采用了這種構(gòu)成的裝置。

圖9是這種以往的光照射裝置的概略圖，圖9(1)為主視概略圖，圖9(2)為側(cè)視概略圖。如圖9所示那樣，光照射裝置具備向照射區(qū)域照射光的光照射器1以及搬運(yùn)工件w的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3。

在圖9中，照射區(qū)域是寬度比工件w的寬度稍大的方形區(qū)域。光照射器1構(gòu)成為，以能夠按照該方形圖案進(jìn)行光照射的方式具備光源11、鏡12。例如，構(gòu)成為，具備寬度方向較長的棒狀的光源11、以及從上側(cè)覆蓋光源11的長條的鏡12。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3的搬運(yùn)路成為水平方向，貫穿照射區(qū)域而設(shè)定。

工件w被保持在工作臺2上，工作臺2在通過照射區(qū)域的同時進(jìn)行移動，由此向工件w進(jìn)行光照射。在進(jìn)行光取向的情況下，光照射器1的構(gòu)造為，在光源11的出射側(cè)保持有偏振元件14，使通過了偏振元件14的光(偏振光)向工件w照射。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014－174287號公報(bào)

在進(jìn)行上述那樣的光處理的光照射裝置中，需要對工件賦予足夠的光量，但光量不足時，一般來說光處理變得不充分。在此，光照射裝置所具備的光源為，光輸出逐漸降低的情況較多。該情況是由劣化導(dǎo)致的情況較多，但即使沒有達(dá)到劣化程度，有時光輸出性能也從最初的狀態(tài)降低若干。

上述那樣的光照射裝置，以在照射區(qū)域中以規(guī)定的照度進(jìn)行光照射的情況為前提，以規(guī)定的速度對工件進(jìn)行搬運(yùn)而使其通過照射區(qū)域，由此對工件賦予規(guī)定量的光量。由此，當(dāng)照度從預(yù)定的值降低時，直接導(dǎo)致光量的降低，成為光處理不足。

因此，經(jīng)常進(jìn)行定期地測定照度，并檢查是否能夠得到足夠的照射強(qiáng)度或者照射量。然后，在照射強(qiáng)度或者照射量降低了限度以上的情況下，采取對光源進(jìn)行交換等措施。

照射強(qiáng)度、照射量的檢查所需要的照度計(jì)6，以往，如圖9(2)所示那樣，設(shè)置在光照射器1內(nèi)。照度計(jì)6的位置為不遮擋向照射區(qū)域的光照射的位置。

在這樣的以往的光照射裝置中，進(jìn)行照度測定的位置，不是對工件w實(shí)際進(jìn)行光照射的位置(照射區(qū)域內(nèi)的位置)，因此存在的問題為，未忠實(shí)地監(jiān)視對于工件w的實(shí)際的照射強(qiáng)度或者照射量的降低。

例如，在光處理的領(lǐng)域中，利用紫外區(qū)域的光的較高能量來進(jìn)行處理的情況較多，作為棒狀的光源而使用高壓水銀燈那樣的放電燈的情況較多。關(guān)于棒狀的放電燈，有時隨時間經(jīng)過在兩端的電極附近產(chǎn)生黑化等，而光輸出降低。即使在兩端部光輸出降低，在包括中央部的其他部分存在足夠的光輸出，也能夠足夠使用的情況較多。即，在照射區(qū)域中以足夠的照度進(jìn)行光照射的情況較多。

在這樣的情況下，當(dāng)還是如圖9(2)所示那樣，照度計(jì)6設(shè)置于從照射區(qū)域脫離的位置時，有時照度計(jì)6會檢測到照度降低，并判斷為光源11的交換時期到來。即，有時雖然還能夠足夠地使用，但會顯示出應(yīng)進(jìn)行光源11的交換的含義的指示。

由此，照度計(jì)6優(yōu)選盡量配置于接近照射區(qū)域的場所。在該情況下，更優(yōu)選將照度計(jì)6配置于照射區(qū)域內(nèi)而對照射區(qū)域的照度進(jìn)行測定，但由于在工件w的處理中(通過照射區(qū)域時)不能夠位于照射區(qū)域內(nèi)，因此作為其結(jié)果，保持使光源11點(diǎn)亮的狀態(tài)，在處理的間隙使照度計(jì)6配置于照射區(qū)域、或者通過照射區(qū)域，而進(jìn)行照度測定。該構(gòu)成如專利文獻(xiàn)1所示。

如專利文獻(xiàn)1那樣，在處理的間隙是照度計(jì)配置于照射區(qū)域、或者通過照射區(qū)域并且進(jìn)行照度測定時，存在兩個較大問題。一個問題為，為了使照度計(jì)移動而另外需要特別的機(jī)構(gòu)，在機(jī)構(gòu)上變得復(fù)雜。另一個問題為，由于設(shè)置在處理的間隙進(jìn)行照度測定的步驟，因此會對生產(chǎn)率帶來影響。在專利文獻(xiàn)1中，對于后者的問題，利用處理結(jié)束后的工件的排出時間來進(jìn)行照度測定，因此對生產(chǎn)間隔時間無影響。然而，這種裝置中的工件的排出，通常使用機(jī)器人來進(jìn)行，其動作速度比較快。另一方面，在專利文獻(xiàn)1中，以與工件的速度相同的速度使照度傳感器移動，在照射光量較多的處理的情況下使速度變慢，照度傳感器的移動速度也變慢。在該情況下，即使工件的排出結(jié)束，照度傳感器的移動(照度測定)也有可能還沒有結(jié)束，會對生產(chǎn)間隔時間產(chǎn)生影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本申請的發(fā)明是考慮上述那樣的情況而進(jìn)行的，其目的在于提供一種光照射裝置，具備對由光源的劣化等引起的照度降低進(jìn)行監(jiān)視的功能，該光照射裝置具有的構(gòu)造為，在機(jī)構(gòu)上不會變得復(fù)雜，且不會對生產(chǎn)率產(chǎn)生影響。

為了解決上述課題，本申請的技術(shù)方案1記載的發(fā)明為一種光照射裝置，具備：光照射器，向照射區(qū)域照射光；工作臺，在上側(cè)保持對象物；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，沿著以通過照射區(qū)域的狀態(tài)設(shè)定的搬運(yùn)路使工作臺移動而搬運(yùn)對象物，其構(gòu)成為，

在工作臺的側(cè)面，安裝有對來自光照射器的光的照度進(jìn)行測定的照度計(jì)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案2記載的發(fā)明為，在上述技術(shù)方案1的構(gòu)成中，具備：光照射器，向照射區(qū)域照射光；工作臺，在上側(cè)保持對象物；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，沿著以通過照射區(qū)域的狀態(tài)設(shè)定的搬運(yùn)路使工作臺移動而搬運(yùn)對象物，其構(gòu)成為，

在工作臺上安裝有對來自光照射器的光的照度進(jìn)行測定的照度計(jì)，照度計(jì)的安裝位置為，來自光照射器的光相對于對象物不被遮擋，且來自光照射器的光不被對象物遮擋的位置。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案3記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1或者2的構(gòu)成中，上述照度計(jì)安裝在通過上述照射區(qū)域的位置。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案4記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1、2或者3的構(gòu)成中，設(shè)置有使上述工作臺以上下方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)的θ移動機(jī)構(gòu)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案5記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1的構(gòu)成中，上述工作臺的俯視的輪廓形狀具有至少一個角部，

上述照度計(jì)分別安裝于夾著角部而相鄰的二個側(cè)面。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案6記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1的構(gòu)成中，上述工作臺的俯視的輪廓形狀為方形，

上述照度計(jì)在各側(cè)面上安裝有至少一個。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案7記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案6的構(gòu)成中，上述照度計(jì)為，在位于上述方形的輪廓形狀中相對的邊的側(cè)面上分別安裝的照度計(jì)，不位于在上述搬運(yùn)路的方向上延伸的相同直線上或者設(shè)置有使上述工作臺以上下方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)而使姿勢變化的θ機(jī)構(gòu)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案8記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1的構(gòu)成中，上述工作臺的俯視的輪廓形狀為具有相對的二個邊的形狀，

上述照度計(jì)分別安裝在位于相對的邊的側(cè)面上，并且，各照度計(jì)不位于在上述搬運(yùn)路的方向上延伸的相同直線上，或者設(shè)置有使上述工作臺以上下方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)而使姿勢變化的θ機(jī)構(gòu)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案9記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1至8任一個構(gòu)成中，具備使上述工作臺在與上述搬運(yùn)路的方向交叉的方向上直線移動的輔助移動機(jī)構(gòu)。

此外，為了解決上述課題，技術(shù)方案10記載的發(fā)明構(gòu)成為，在上述技術(shù)方案1至9任一個構(gòu)成中，具備對上述照度計(jì)的測定值進(jìn)行累計(jì)而計(jì)算累計(jì)光量的光量計(jì)算單元、以及存儲所計(jì)算出的光量的存儲部。

發(fā)明的效果

如以下說明的那樣，根據(jù)本申請的技術(shù)方案1記載的發(fā)明，用于對向?qū)ο笪锏墓庹丈涞膹?qiáng)度或者量進(jìn)行監(jiān)視的照度計(jì)安裝于工作臺的側(cè)面，因此在更接近對象物的條件下進(jìn)行照度測定。因此，不會誤判斷光源的劣化等。此外，不需要在照射區(qū)域或者其附近配置照度計(jì)，或者另外設(shè)置用于使其通過照射區(qū)域或者其附近的機(jī)構(gòu)，因此在機(jī)構(gòu)上簡化。此外，不需要在對象物的排出的時間段對照度進(jìn)行測定，因此不會對生產(chǎn)率產(chǎn)生影響。

此外，根據(jù)技術(shù)方案2記載的發(fā)明，用于對向?qū)ο笪锏墓庹丈涞膹?qiáng)度或者量進(jìn)行監(jiān)視的照度計(jì)安裝于工作臺，因此在更接近對象物的條件下進(jìn)行照度測定。因此，不會誤判斷光源的劣化等。此外，不需要在照射區(qū)域或者其附近配置照度計(jì)，或者另外設(shè)置用于使其通過照射區(qū)域或者其附近的機(jī)構(gòu)，因此在機(jī)構(gòu)上簡化。此外，不需要在對象物的排出的時間段對照度進(jìn)行測定，因此不會對生產(chǎn)率產(chǎn)生影響。

此外，根據(jù)技術(shù)方案3記載的發(fā)明，除了上述效果，由于照度計(jì)安裝于通過照射區(qū)域的位置，因此由于這一點(diǎn)而在進(jìn)一步接近對象物的條件下進(jìn)行照度測定。因此，誤判斷的可能性進(jìn)一步降低。

此外，根據(jù)技術(shù)方案4記載的發(fā)明，除了上述效果，設(shè)置有使工作臺以上下方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)的θ移動機(jī)構(gòu)，因此照度計(jì)也進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，能夠使照度計(jì)位于能夠通過照射區(qū)域中的任意位置的位置，能夠在任意的位置對照度進(jìn)行測定。

此外，根據(jù)技術(shù)方案5記載的發(fā)明，除了上述效果，照度計(jì)分別安裝于夾著角部而相鄰的兩個側(cè)面上，因此能夠?qū)商幍恼斩冗M(jìn)行測定而得到照度分布。

此外，根據(jù)技術(shù)方案6記載的發(fā)明，除了上述效果，工作臺的俯視的輪廓形狀為方形，照度計(jì)在工作臺的各側(cè)面上安裝有至少一個，因此能夠在三處或者四處對照度進(jìn)行測定而得到照度分布。

此外，根據(jù)技術(shù)方案7記載的發(fā)明，除了上述效果，能夠在四處對照度進(jìn)行測定而得到照度分布。

此外，根據(jù)技術(shù)方案8記載的發(fā)明，除了上述效果，能夠在兩處對照度進(jìn)行測定而得到照度分布。

此外，根據(jù)技術(shù)方案9記載的發(fā)明，除了上述效果，具有使工作臺在與搬運(yùn)路的方向交叉的方向上直線移動的輔助移動機(jī)構(gòu)，因此能夠在該方向的任意位置對照度進(jìn)行測定。

此外，根據(jù)技術(shù)方案10記載的發(fā)明，除了上述效果，對照度計(jì)的測定值進(jìn)行累計(jì)而得到的光量存儲于存儲部，因此能夠進(jìn)行光量的監(jiān)視。

附圖說明

圖1是第一實(shí)施方式的光照射裝置的立體概略圖。

圖2是第一實(shí)施方式的光照射裝置的主視概略圖。

圖3是第一實(shí)施方式的光照射裝置的側(cè)視概略圖。

圖4是對第二至第四各實(shí)施方式的主要部分進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖5是對在第四實(shí)施方式中使測定位置增多的例子進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖6是對在第三實(shí)施方式中在不同位置對照射光量分布進(jìn)行測定的例置進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖7是對在第三實(shí)施方式中用于提高生產(chǎn)率的構(gòu)成進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖8是表示其他實(shí)施方式的照度計(jì)6的安裝構(gòu)造的平面概略圖。

圖9是以往的光照射裝置的概略圖。

符號的說明

1光照射器

2工作臺

3搬運(yùn)機(jī)構(gòu)

4輔助移動機(jī)構(gòu)

5θ移動機(jī)構(gòu)

6照度計(jì)

7控制器

71光量計(jì)算單元

具體實(shí)施方式

接下來，對用于實(shí)施本申請發(fā)明的形態(tài)(以下，稱為實(shí)施方式)進(jìn)行說明。在以下的說明中，作為光照射裝置的例子，列舉光取向用偏振光照射裝置。其中，本申請發(fā)明不限定于光取向用偏振光照射裝置。

圖1～圖3是第一實(shí)施方式的光照射裝置的概略圖，圖1是立體概略圖，圖2是主視概略圖，圖3是側(cè)視概略圖。圖1～圖3所示的光照射裝置具備：光照射器1，向照射區(qū)域照射光；工作臺2，在上側(cè)保持對象物w；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3，沿著以通過照射區(qū)域的狀態(tài)設(shè)定的搬運(yùn)路使工作臺2移動。在本實(shí)施方式中，為了進(jìn)行光處理而進(jìn)行光照射。以下，將對象物w稱為工件。

首先，對有效照射區(qū)域以及搬運(yùn)路進(jìn)行說明。

在僅稱為“照射區(qū)域”的情況下，存在廣泛地指光所照射的區(qū)域的情況、以及作為應(yīng)該照射光的區(qū)域而設(shè)定的區(qū)域的情況這兩個含義。“有效照射區(qū)域”的含義為，被預(yù)先設(shè)定為通過作為對于工件w的光處理而有效的照度被照射光的區(qū)域的區(qū)域，是上述兩個含義中后者的含義。在本實(shí)施方式中，在照射面中實(shí)際上沒有向有效照射區(qū)域外照射的光，有效照射區(qū)域與廣泛含義的照射區(qū)域一致。由此，不需要進(jìn)行區(qū)別，在以下的說明中，“照射區(qū)域”按照有效照射區(qū)域(設(shè)定區(qū)域)的含義來使用。

在本實(shí)施方式中，照射區(qū)域被設(shè)定為長方形的區(qū)域。為了方便，將長方形的長邊方向稱為y方向，將短邊方向稱為x方向。搬運(yùn)路以通過照射區(qū)域的狀態(tài)設(shè)定，但在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)路的朝向與x方向一致。即，照射區(qū)域與搬運(yùn)路交叉(在y方向上正交)。

關(guān)于工件w，當(dāng)將y方向的長度作為“寬度”時，照射區(qū)域的y方向的長度，與工件w的寬度相比為足夠長。因此，當(dāng)工件w被沿著搬運(yùn)路搬運(yùn)而通過照射區(qū)域時，工件w的上面的整面被光照射。

另外，在本實(shí)施方式中，工件w成為方形板狀部件，但如后述那樣，工作臺2能夠圍繞以上下方向?yàn)檩S的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，因此通過旋轉(zhuǎn)而工件w的寬度的大小變動。由此，照射區(qū)域的大小被設(shè)定為，即使在寬度最大的情況下，照射區(qū)域的y方向的長度也比工件w的寬度大。

對這樣的照射區(qū)域進(jìn)行光照射的光照射器1，由光源11、覆蓋光源11的背后的鏡12、以及對這些進(jìn)行收容的燈罩13等構(gòu)成。如上述那樣，照射區(qū)域?yàn)殚L方形，因此光源11采用具有在y方向上較長的發(fā)光部的棒狀的光源。本實(shí)施方式的裝置為照射紫外線的裝置，因此采用放射紫外線的高壓水銀燈、金屬鹵化物燈那樣的棒狀的放電燈。光源11被配置為長邊方向與y方向一致的狀態(tài)。另外，作為光源11，能夠使用將多個由led、ld等構(gòu)成的紫外線發(fā)光元件在y方向上配置為陣列狀的光源。

鏡12也是在y方向上較長，是所謂的槽狀鏡。鏡12的反射面的x方向上的截面形狀，成為橢圓圓弧或者拋物線。

本實(shí)施方式成為光取向用的光照射裝置，光照射器1將向規(guī)定的朝向偏振了的光向照射區(qū)域照射。具體地說，如圖2以及圖3所示那樣，在燈罩13內(nèi)設(shè)置有偏振元件14。作為偏振元件14，在本實(shí)施方式中使用格柵偏振元件。格柵偏振元件，是在透明基板上形成有微小條紋(線和空間)狀的格柵的構(gòu)造的元件，且是使構(gòu)成格柵的各線狀部的分離間隔成為所偏振的光的波長程度或者比其短的距離的構(gòu)造的元件。

難以通過一個偏振元件14來覆蓋寬度大的照射區(qū)域，因此在本實(shí)施方式中，采用將多個偏振元件14沿y方向排列而單元化的構(gòu)造。即，沿y方向排列的多個偏振元件14、以及由保持了各偏振元件14的未圖示的框架等形成的偏振元件單元搭載于燈罩13內(nèi)。各偏振元件14位于光源11與照射區(qū)域之間。

如圖1所示那樣，工作臺2為臺狀的部件，在本實(shí)施方式中成為在俯視中輪廓形狀為方形的部件。工作臺2具備多個未圖示的支撐銷。各支撐銷從工作臺2的上面稍微突出。各支撐銷中的一部分為管狀，進(jìn)行用于真空吸附的吸氣。工作臺2在各支撐銷上進(jìn)行真空吸附并且進(jìn)行保持。

另外，工作臺2具備未圖示的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)是讀取設(shè)置在工件w上的未圖示的標(biāo)記而對工件w的位置、姿勢進(jìn)行微調(diào)的機(jī)構(gòu)。

在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3成為采用了直線馬達(dá)的機(jī)構(gòu)。具體地說，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3具備與x方向平行地延伸的直線引導(dǎo)件31、以及磁石以沿x方向延伸的方式配置的直線馬達(dá)的固定件32。然后，設(shè)置有移動臺(以下，稱為x方向移動臺)33，該移動臺33設(shè)置有相對于固定件32被驅(qū)動的可動件。x方向移動臺33的移動通過使可動件的各磁極的極性依次改變來進(jìn)行。另外，x方向移動臺33具有與直線引導(dǎo)件31嵌合的槽，隨著直線馬達(dá)32的動作，被直線引導(dǎo)件31引導(dǎo)并且在x方向上移動。此外，作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，還能夠采用適用了滾珠絲杠的機(jī)構(gòu)。

此外，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有使工作臺2沿y方向直線移動的機(jī)構(gòu)(以下，稱為輔助移動機(jī)構(gòu))4、以及使各工作臺2圍繞上下方向的軸旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)(以下，稱為θ移動機(jī)構(gòu))5。關(guān)于輔助移動機(jī)構(gòu)4，也采用直線馬達(dá)方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。

然后，如圖1所示那樣，在y方向移動臺43上固定有θ移動機(jī)構(gòu)5，以通過該θ移動機(jī)構(gòu)5軸支撐的狀態(tài)安裝有工作臺2。θ移動機(jī)構(gòu)5為如下機(jī)構(gòu)：包括伺服馬達(dá)，使工作臺2相對于基準(zhǔn)方向朝所指定的角度旋轉(zhuǎn)，并能夠保持其姿勢?；鶞?zhǔn)方向例如為x方向。通過這樣的機(jī)構(gòu)，工作臺2能夠在x方向上搬運(yùn)，并且能夠在y方向以及θ方向上移動。

這樣的實(shí)施方式的光照射裝置，為了監(jiān)視對于工件w的光照射的強(qiáng)度或者量，而具備照度計(jì)6。在實(shí)施方式的說明中，照度是指光照射的強(qiáng)度且是放射照度(w/m²)。照度計(jì)對照射區(qū)域的放射照度進(jìn)行測定。此外，照射量是照射區(qū)域中的光能量量，“光量”嚴(yán)格來說為“累計(jì)光量”。累計(jì)光量(j/m²)＝照度(w/m²)×照射時間(sec)。

實(shí)施方式的裝置的較大特征點(diǎn)為，照度計(jì)6安裝在工作臺2上。照度計(jì)6安裝在工作臺6上，存在兩個含義。一個含義為，在盡量接近被光照射的工件w的位置上測定照度，且與工作臺2一體地移動，結(jié)果，在工件w被光照射的狀況下，同樣地被光照射而測定照度。

更具體地說明，在本實(shí)施方式中，照度計(jì)6安裝在工作臺2的側(cè)面21上。如上所述，工作臺2為俯視的輪廓形狀為方形的臺狀的部件。當(dāng)將方形的一邊的方向朝向與x方向平行或者垂直的方向的狀態(tài)作為穩(wěn)定姿勢時，在本實(shí)施方式中，固定在穩(wěn)定姿勢的工作臺2的沿著x方向的側(cè)面21上。

在照度計(jì)6向工作臺2的安裝中重點(diǎn)在于，照度計(jì)6安裝于通過光照射器1的照射區(qū)域的位置。

在為了進(jìn)行光處理而進(jìn)行光照射時，從確保處理的均勻性的觀點(diǎn)出發(fā)，以成為長方形的照度較高的區(qū)域同時成為照度均勻的區(qū)域的方式，采用光源11、鏡12的形狀、配置。在該情況下，均勻、且較高照度的區(qū)域是被利用于光處理的區(qū)域，這就是照射區(qū)域。

照射區(qū)域?yàn)?，相對于沿y方向搬運(yùn)時的工件的寬度(y方向的長度)，為足夠長的區(qū)域。即，以相對于要處理的工件的寬度、照射區(qū)域的寬度(y方向的長度)為足夠長的方式，決定光源11、鏡12的形狀、配置。由此，照射區(qū)域在y方向上比工件w的寬度更寬，存在寬裕度。在實(shí)施方式中，照度計(jì)6配置在通過該寬裕度的區(qū)域的位置。另外，照射區(qū)域?yàn)?，其寬度相對于工作臺2的寬度成為足夠?qū)挘纬蓪捲６?。通過在工作臺2的寬度方向的側(cè)面安裝照度計(jì)6，由此照度計(jì)6成為通過照射區(qū)域的狀態(tài)。

如此，在照度計(jì)6通過照射區(qū)域的位置安裝照度計(jì)6所具有的意義為，在與實(shí)際上工件w所受到的光照射的狀態(tài)成為盡量相同的狀態(tài)的位置對照度進(jìn)行測定。另外，即使照度計(jì)6的初始安裝位置為照射區(qū)域外，只要安裝于工作臺2，則通過適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行y方向移動或者θ移動來使其通過照射區(qū)域內(nèi)、或者通過接近照射區(qū)域的場所，也能夠進(jìn)行測定，因此與安裝于燈罩13等相比，能夠在與對于工件6的光照射更大程度地接近的狀況下進(jìn)行照度測定。

作為照度計(jì)6，使用將si光電二極管等用作為受光元件的照度計(jì)。照度計(jì)6以受光面朝向上方的姿勢固定。如圖3所示那樣，照度計(jì)6的受光面，與載放在工作臺2上的工件的上面成為相同高度。這一點(diǎn)也具有在盡可能與工件相同的狀態(tài)下進(jìn)行照度測定的意義。另外，關(guān)于照度計(jì)6的安裝，能夠采用適用對照度計(jì)6進(jìn)行保持的支架固定于工作臺2的側(cè)面21的構(gòu)造。

如圖3所示那樣，實(shí)施方式的光照射裝置具備對裝置的各部分進(jìn)行控制的控制器7?？刂破?除了對搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3的動作進(jìn)行控制以外，還對光源11的點(diǎn)亮電源11進(jìn)行控制。如圖3所示那樣，照度計(jì)6與控制器7連接，照度計(jì)6的測定信號向控制器7輸入。

控制器7中安裝有根據(jù)照度計(jì)6的輸出值來計(jì)算累計(jì)光量的光量計(jì)算單元71。光量計(jì)算單元71為控制器7所具備的時序程序的一部分(軟件)，但也有時通過硬件來實(shí)現(xiàn)。光量計(jì)算單元71構(gòu)成為，每當(dāng)進(jìn)行一次處理(工作臺2的一次往復(fù)運(yùn)動)，就根據(jù)照度計(jì)6的測定值來計(jì)算累計(jì)光量，并存儲到控制器7所具備的存儲部(存儲器等)72。裝置具備對存儲部72所存儲的數(shù)據(jù)進(jìn)行顯示的未圖示的顯示器，累計(jì)光量的數(shù)據(jù)能夠被作為履歷數(shù)據(jù)而適當(dāng)?shù)仫@示于顯示器。

另一方面，除了照度計(jì)6以外，裝置還具備光測定單元8。光測定單元8為，在通常處理時，處于從照射區(qū)域遠(yuǎn)離的待機(jī)位置，在維護(hù)等時配置于照射區(qū)域而使用。光測定單元8除了對照射區(qū)域的照度進(jìn)行測定的功能以外，還具有對所照射的偏振光的偏振軸的朝向進(jìn)行測定的功能。

如圖1所示那樣，光測定單元8搭載在搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3上，通常在設(shè)定于x方向的一方側(cè)的端部的待機(jī)位置進(jìn)行待機(jī)。待機(jī)位置例如被設(shè)定于裝載位置的外側(cè)(遠(yuǎn)離照射區(qū)域一側(cè))。

光測定單元8包括搭載在直線引導(dǎo)件31以及固定件32上的x方向移動臺81、搭載在x方向移動臺81上的y方向移動機(jī)構(gòu)82以及y方向移動臺83、固定在y方向移動臺83上的主照度計(jì)84、以及同樣固定在y方向移動臺83上的偏振光測定器85等。

y方向移動機(jī)構(gòu)82同樣是使y方向移動臺83沿y方向移動的機(jī)構(gòu)，可以是直線馬達(dá)方式的機(jī)構(gòu)，也可以是利用滾珠絲杠的機(jī)構(gòu)。

主照度計(jì)84同樣為，將si光電二極管等光電變換元件作為受光元件而內(nèi)置。受光面的高度與設(shè)置于工作臺2的照度計(jì)6同樣，與工作臺2所保持的工件w的表面為相同高度。

偏振光測定器85是用于對向照射區(qū)域照射的偏振光的朝向進(jìn)行監(jiān)視的測定器。偏振光測定器是局部受光元件、配置在受光元件的入射側(cè)的分析器、以及使分析器圍繞光軸(在該例中為上下方向)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)等的測定器。分析器為一種偏振元件，是使某個特定方向的直線偏振光選擇性地通過的板狀的光學(xué)部件。

分析器的板面配置為與光軸垂直，并向旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)。通過光照射器1內(nèi)的偏振元件14而偏振的偏振光照射于照射區(qū)域。在對該偏振光的偏振軸的朝向進(jìn)行檢查的情況下，使偏振光測定器85位于照射區(qū)域內(nèi)，使分析器旋轉(zhuǎn)。通過分析器的旋轉(zhuǎn)，受光元件的輸出周期性地變化。輸出成為最高時的旋轉(zhuǎn)角度，表示所照射的偏振光的偏振軸的朝向。

以下，對具有上述構(gòu)成的實(shí)施方式的光照射裝置的動作進(jìn)行說明。

通過agv(autoguidedvehicle：自動導(dǎo)引車)那樣的批搬運(yùn)機(jī)構(gòu)或者氣動輸送機(jī)那樣的單張?zhí)幚戆徇\(yùn)機(jī)構(gòu)，搬運(yùn)到未圖示的機(jī)器人的動作范圍內(nèi)的位置。光照射器1預(yù)先使光源11點(diǎn)亮，向照射區(qū)域進(jìn)行光照射。在動作的初始狀態(tài)下，工作臺2處于裝載位置，通過未圖示的機(jī)器人將一個工件w載放到工作臺2上。然后，未圖示的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)動作，相對于基準(zhǔn)方向(例如x方向)使工件w成為規(guī)定的姿勢。此外，輔助移動機(jī)構(gòu)4根據(jù)需要而動作，使工件w位于y方向的規(guī)定位置。

在該狀態(tài)下，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3動作，使工作臺2沿x方向移動，使其通過照射區(qū)域。結(jié)果，對工件w進(jìn)行光照射。在本實(shí)施方式中，光通過偏振元件14而成為偏振光，偏振后的光朝規(guī)定的朝向照射。

搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3為，在工作臺2上的工件w完全通過了照射區(qū)域之后，使其在規(guī)定的反轉(zhuǎn)位置反轉(zhuǎn)?！巴耆ㄟ^”是指，工件w的x方向后方的邊緣完全通過照射區(qū)域。此外，反轉(zhuǎn)位置為，在圖2所示的照度分布中，為照度實(shí)際為零的位置(照射區(qū)域外的位置)，是在工件w的哪個位置照度都成為零的位置。

搬運(yùn)機(jī)構(gòu)3在使工作臺2在反轉(zhuǎn)位置反轉(zhuǎn)了之后，使其沿x方向反向移動而返回到裝載位置。在本實(shí)施方式中，在該回路中也向工件w照射光(偏振光)。然后，未圖示的機(jī)器人從返回裝載位置的工作臺2上除去工件w，將下一個的工件w載放到工作臺2上。

另外，在本實(shí)施方式中，θ方向的旋轉(zhuǎn)為，相對于偏振元件14的姿勢(所照射的偏振光的偏振軸的朝向)使工件w成為規(guī)定的姿勢，因此有時根據(jù)批(品種)而成為不同的旋轉(zhuǎn)。在該情況下，在某批的處理結(jié)束之后，變更控制器7中的設(shè)定信息。結(jié)果，對于下一批的各工件w，θ移動機(jī)構(gòu)5適當(dāng)?shù)貏幼鳎诔蔀椴煌男D(zhuǎn)角度的狀態(tài)搬運(yùn)而照射偏振光。

在這樣的動作中，照度計(jì)6與工作臺2一體地移動，并通過照射區(qū)域。因此，照度計(jì)6與工作臺2上的工件w同樣地接受光照射，測定值向控制器7輸出。安裝于控制器7的光量計(jì)算單元71對照度計(jì)6的輸出值進(jìn)行積分而計(jì)算累計(jì)光量。光量計(jì)算單元71為每進(jìn)行一次處理(工作臺2的一次往復(fù)運(yùn)動)就根據(jù)照度計(jì)6的測定值來計(jì)算累計(jì)光量，并存儲于控制器7所具備的存儲部(存儲器等)72。

然后，對裝置的動作進(jìn)行監(jiān)視的操作者，定期地將存儲部72的履歷數(shù)據(jù)顯示于顯示器，并檢查累計(jì)光量是否為規(guī)定的范圍內(nèi)。如果累計(jì)光量比規(guī)定值降低，則判斷為光量不足，實(shí)施光源11的交換等適當(dāng)?shù)拇胧?/p>

在上述動作的實(shí)施方式的光照射裝置中，用于對向工件w的照射光量進(jìn)行監(jiān)視的照度計(jì)6安裝在工作臺2的側(cè)面，因此在更接近工件w的條件下進(jìn)行照度測定。因此，不會誤判斷光源11的劣化等。此外，在本實(shí)施方式中，照度計(jì)6安裝于通過照射區(qū)域的位置，因此根據(jù)這一點(diǎn)能夠在更接近工件w的條件下進(jìn)行照度測定。因此，誤判斷的可能性進(jìn)一步降低。

并且，不需要另外設(shè)置用于在照射區(qū)域配置照度計(jì)6的機(jī)構(gòu)、使其以通過照射區(qū)域的方式移動的機(jī)構(gòu)，因此能夠在機(jī)構(gòu)上簡化。此外，不需要在工件w排出的時間段測定照度，因此也不會對生產(chǎn)率產(chǎn)生影響。

在上述裝置的動作中，在反復(fù)進(jìn)行了一定程度的次數(shù)的處理之后的裝置的維護(hù)時，使用光測定單元8。即，在使工作臺2向相反側(cè)退避的狀態(tài)下，使x方向移動臺81沿x方向移動，將光測定單元8中的例如偏振光測定器85配置到照射區(qū)域內(nèi)而測定偏振光。然后，根據(jù)測定結(jié)果，確認(rèn)偏振光的偏振軸的朝向是否朝向所希望的方向。

此外，主照度計(jì)84用于照度計(jì)6的性能檢查等。即，在將主照度計(jì)84配置到與照度計(jì)6相同的y方向位置上之后，使其沿x方向以設(shè)定通過速度通過并且測定照度，對光量進(jìn)行計(jì)算并檢測與照度計(jì)6的光量之間的差異。如果差異較大，則進(jìn)行照度計(jì)6的較正。即，主照度計(jì)84能夠用作為各照度計(jì)6的較正用。照度計(jì)6頻繁通過照射區(qū)域而接受光照射，因此特性容易變化。因此，使用主照度計(jì)84來適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行較正。

接下來，對第二至第四各實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖4是對第二至第四各實(shí)施方式的主要部分進(jìn)行表示的平面概略圖。在第二至第四各實(shí)施方式中，所安裝的照度計(jì)6的數(shù)量以及安裝位置與第一實(shí)施方式不同。

即，在圖4(1)所示的第二實(shí)施方式中，在俯視為方形的工作臺2上，在夾著一個角部而相鄰的二個側(cè)面上分別安裝有照度計(jì)6。此外，在圖4(2)所示的第三實(shí)施方式中，在俯視為方形的工作臺2的四個側(cè)面上分別安裝有照度計(jì)6。

在圖4(3)所示的第四實(shí)施方式中，與第三實(shí)施方式同樣，在四個側(cè)面上安裝有照度計(jì)6，但是在位于相對的二個邊的側(cè)面上安裝的照度計(jì)6的位置與第三實(shí)施方式不同。即，在第三實(shí)施方式中，位于相對的二個邊的各照度計(jì)6，在該邊的延伸方向上的位置相同。例如，當(dāng)工作臺2的各邊沿著上述x方向、y方向時，如圖4(2)所示那樣，在第三實(shí)施方式中，位于沿著y方向的邊的二個照度計(jì)6，在從y方向觀察時位于相同的位置。另一方面，在圖4(3)所示的第四實(shí)施方式中，位于沿著y方向的邊的二個照度計(jì)6，在y方向上位于相互錯開的位置。

這些第二至第四實(shí)施方式的光照射裝置，當(dāng)與第一實(shí)施方式相比較時，具有在y方向即照射區(qū)域的長度方向上能夠在多個位置測定照度的意義、即能夠測定照度分布的意義。該意義產(chǎn)生的意義為，各照度計(jì)6與工作臺2一體地移動而通過照射區(qū)域，因此能夠進(jìn)行y方向的不同的多個位置的照射光量、即照射光量分布的測定。

對照度分布測定的意義、照射光量分布測定的意義更詳細(xì)地進(jìn)行說明。

如上所述，y方向是指，在某個方向上較長的照射區(qū)域的該長度方向，光源11、鏡12以在該方向上足夠均勻地進(jìn)行光照射的方式選定形狀、配置。當(dāng)y方向上的照度變得不均勻時，這直接導(dǎo)致y方向上的照射光量的不均勻化，因此會成為問題。通常，關(guān)于y方向上的照度均勻性，也是以±百分之幾的方式預(yù)先決定規(guī)格，并在確認(rèn)了進(jìn)入該范圍的狀態(tài)下，開始裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)。

然而，由于某種原因，y方向的照度分布會變得不均勻。上述的使用了棒狀的放電燈的情況下的端部的黑化，也是一個原因。此外，在y方向上配置有多個光源的情況下，任一個光源的輸出降低也成為y方向的照度分布的不均勻化的原因。當(dāng)y方向的照度分布變得不均勻時，直接導(dǎo)致工件w受到的照射光量的不均勻化，需要監(jiān)視該不均勻化是否在允許范圍內(nèi)。為了進(jìn)行該監(jiān)視，需要在y方向的至少兩處測定照度。上述第二至第四實(shí)施方式的光照射裝置具有的意義為，除了能夠在更接近工件w的狀態(tài)下進(jìn)行光量監(jiān)視，還能夠如下地對照度分布不均勻化進(jìn)行監(jiān)視。

這樣的y方向照度分布的測定，通過適當(dāng)?shù)厥褂幂o助移動機(jī)構(gòu)4、θ移動機(jī)構(gòu)5，能夠進(jìn)一步提高其意義。關(guān)于這一點(diǎn)，作為一個例子列舉第四實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖5是對在第四實(shí)施方式中使測定位置變多的例子進(jìn)行表示的平面概略圖。

在實(shí)施方式的裝置中，如上所述，在去路和回路上進(jìn)行對于工件w的光照射。此時，以在去路和回路上在y方向上不同的位置進(jìn)行光照射的方式，在反轉(zhuǎn)位置使輔助移動機(jī)構(gòu)4動作。即，在反轉(zhuǎn)位置使工作臺2稍微向y方向偏移。偏移量為小于相鄰的照度計(jì)6的在y方向上觀察的分離間隔的距離(例如一半)。然后，在偏移的位置上進(jìn)行回路的搬運(yùn)。于是，y方向上的照射光量的測定位置增倍，在該例子成為八處。即，能夠在八處進(jìn)行照射光量分布的監(jiān)視并且進(jìn)行工件w的處理。雖然省略說明，但在第二實(shí)施方式、第三實(shí)施方式中，通過使用輔助移動機(jī)構(gòu)4來使測定位置增倍這一點(diǎn)也相同。

如此在不同的位置測定照射光量分布，還能夠使用θ移動機(jī)構(gòu)5來進(jìn)行。關(guān)于這一點(diǎn)，以第三實(shí)施方式為例進(jìn)行說明。圖6是對于在第三實(shí)施方式中在不同的位置測定照射光量分布的例子進(jìn)行表示的平面概略圖。

圖6表示的狀態(tài)為，在第三實(shí)施方式中在使工作臺2從基準(zhǔn)方向(x方向)旋轉(zhuǎn)了α的狀態(tài)下對工件w進(jìn)行搬運(yùn)。假定如下情況：對于某個工件w，成為工作臺2的一邊朝向x方向的狀態(tài)而對工件w進(jìn)行搬運(yùn)并且進(jìn)行處理，對于其他工件w，在使工作臺2旋轉(zhuǎn)α的狀態(tài)下對工件w進(jìn)行搬運(yùn)并且進(jìn)行處理。在該情況下，在θ＝0°的情況下，y方向的測定位置實(shí)際上為3處，但當(dāng)旋轉(zhuǎn)α?xí)r，測定位置成為4處。在θ＝0°和θ＝α?xí)r，照射光量測定位置分別不同，因此當(dāng)將θ＝0°時的測定結(jié)果與θ＝α?xí)r的測定結(jié)果進(jìn)行總和時，得到合計(jì)7處的照射光量分布。如此，通過使用θ移動機(jī)構(gòu)5，能夠在不同的位置測定照射光量分布、或者使測定位置增加。雖然省略說明，但是這一點(diǎn)在第二實(shí)施方式、第四實(shí)施方式中也同樣。

另外，在第三實(shí)施方式中，在成為工作臺2的一邊沿著x方向的姿勢時，位于沿著y方向的邊的一對照度計(jì)6，在y方向上位于相同的位置。因此，在工作臺2的一邊沿著x方向的姿勢(θ＝0°)的情況下，測定位置成為3處。即，可以說不需要在沿著y方向的邊上設(shè)置二個照度計(jì)6。然而，根據(jù)使用方法的不同，對提高生產(chǎn)率做出貢獻(xiàn)。關(guān)于這一點(diǎn)，使用圖7進(jìn)行說明。圖7是對于在第三實(shí)施方式中用于提高生產(chǎn)率的構(gòu)成進(jìn)行表示的平面概略圖。

在圖7中，將位于沿著y方向的邊的二個照度計(jì)61、62中，在紙面上位于左側(cè)的照度計(jì)設(shè)為第一照度計(jì)61，將位于右側(cè)的照度計(jì)設(shè)為第二照度計(jì)62。工作臺2在去路上沿著x方向從左向右前進(jìn)，在回路上從右向左前進(jìn)。在該情況下，能夠在去路上對第二照度計(jì)62的測定數(shù)據(jù)進(jìn)行累計(jì)而作為累計(jì)光量，在回路上對第一照度計(jì)61的數(shù)據(jù)進(jìn)行累計(jì)而作為累計(jì)光量，將兩者合計(jì)而作為該y方向位置的整體的累計(jì)光量的數(shù)據(jù)。于是，在去路上，在工件w的x方向后方的邊緣(在該例中為左側(cè)的邊緣)經(jīng)過了照射區(qū)域的階段，使速度加快而到達(dá)反轉(zhuǎn)位置。工件w通過照射區(qū)域的速度，按照與所需要的照射光量增加的關(guān)系而成為較慢的規(guī)定的速度，在第二照度計(jì)62經(jīng)過了照射區(qū)域之后能夠使速度加快。此外，在回路上，在工件w的x方向后方的邊緣(在該例中為右側(cè)的邊緣)經(jīng)過了照射區(qū)域之后，能夠使速度加快而到達(dá)裝載位置。于是，生產(chǎn)間隔時間變短，生產(chǎn)率提高。以進(jìn)行這樣的動作的方式，對控制器7所安裝的時序程序進(jìn)行編程。

關(guān)于照度計(jì)6的安裝，能夠進(jìn)行上述第一至第四實(shí)施方式以外的安裝。關(guān)于這一點(diǎn)，使用圖8進(jìn)行說明。圖8是表示其他實(shí)施方式中的照度計(jì)6的安裝構(gòu)造的平面概略圖。

首先，在圖8(1)中，在位于沿著x方向的工作臺2的相對的二邊的側(cè)面上分別安裝有照度計(jì)6。在該情況下，也能夠進(jìn)行y方向上的照度分布、照射光量分布的測定，特別是，能夠檢測由棒狀的光源11的兩個端部的黑化等引起的照度降低。

此外，在圖8(2)中，在位于沿著y方向的工作臺2的一邊的側(cè)面上安裝有多個照度計(jì)6。在該情況下，也能夠進(jìn)行y方向上的照度分布、照射光量分布的測定。然后，通過適當(dāng)?shù)厥褂幂o助移動機(jī)構(gòu)4、θ移動機(jī)構(gòu)5，由此能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼫y定位置。

此外，在圖8(3)中，表示在位于沿著x方向的工作臺2的一邊的側(cè)面上安裝有多個照度計(jì)6的例子。在該情況下，當(dāng)該邊保持沿著x方向的狀態(tài)固定時，與第一實(shí)施方式實(shí)際上相同，因此沒有成為多個的意義，但如在圖8(3)中由虛線表示的那樣，如果具有使其沿θ方向旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，則能夠進(jìn)行y方向的多個位置的照射光量測定。

此外，在圖8(4)中，表示在工作臺2內(nèi)安裝了照度計(jì)6的例子。工作臺2具有用于安裝照度計(jì)6的凹部，以陷入該凹部的狀態(tài)安裝照度計(jì)6。同樣，照度計(jì)6的受光面優(yōu)選與載放在工作臺2上的工件w的上面為相同高度。另外，在圖8(4)所示的例子中，雖然在工作臺2內(nèi)，但照度計(jì)6在俯視時處于工件w的載放位置的外側(cè)。即，在工作臺2上載放了工件w時，為對于來自光照射器1的光、工件w不遮擋照度計(jì)6的狀態(tài)，照度計(jì)6成為不遮擋工件w的狀態(tài)。在該情況下，當(dāng)同樣在y方向上設(shè)置多個照度計(jì)6時，能夠測定照射光量分布，因此更優(yōu)選。此外，當(dāng)工作臺2內(nèi)的照度計(jì)6的配置位置為通過照射區(qū)域的位置時，在更接近工件w的狀態(tài)下測定照度，由此較優(yōu)選。

除此之外，即使照度計(jì)6位于從工作臺2分離的位置，有時也能夠稱為“安裝于工作臺”。例如，在固定于臂的一端的工作臺2的側(cè)面、在另一端固定照度計(jì)6而使其保持于臂的構(gòu)造中，該照度計(jì)6也可以說是安裝于工作臺2。

另外，照度計(jì)6可以是對分光放射照度進(jìn)行測定的測定器(分光器)。

在上述各實(shí)施方式中，工作臺2的俯視的輪廓形狀為方形，但在實(shí)施本申請發(fā)明時，不需要限定于方形。也可以是三角形、五邊形、圓形等。在圓形的情況下，假定構(gòu)成為，相對于圓的中心以180°間隔將二個照度計(jì)6安裝于側(cè)面、或者以90°間隔安裝四個照度計(jì)6。

另外，上述各實(shí)施方式的光照射裝置為光取向用偏振光照射裝置，但本申請發(fā)明也能夠構(gòu)成為其他光照射裝置。例如，能夠構(gòu)成為為了進(jìn)行光固化性樹脂的固化等光處理而對工件w照射光的裝置。此外，還能夠構(gòu)成為制品的外觀檢查、各種分析那樣的光處理以外的用途而進(jìn)行光照射的裝置。

在上述各實(shí)施方式中，還能夠采用如日本特開2014－174352號公報(bào)所公開的那樣的構(gòu)成：使二個工作臺夾著照射區(qū)域而在x方向的兩側(cè)分別配置工作臺，并使其分別保持工件w而交替地通過照射區(qū)域，由此對各工件w進(jìn)行光照射。在該情況下，對于照度計(jì)，可以安裝于一個工作臺，也可以安裝于兩個。在安裝于兩個的情況下，當(dāng)使安裝于一方的工作臺的照度計(jì)的y方向位置、與安裝于另一方的工作臺的照度計(jì)的y方向位置相互不同時，能夠與上述情況同樣地取得照度或者光量的分布，因此較優(yōu)選。

另外，照射區(qū)域成為y方向?yàn)殚L邊方向的長方形，但這不是必須的條件，也可以是x方向(搬運(yùn)方向)為長邊方向的長方形，也可以是正方形。

輔助移動機(jī)構(gòu)4具有將照度計(jì)6配置到y(tǒng)方向的任意位置的意義，但是為此，輔助移動機(jī)構(gòu)4的移動的方向只要是與x方向交叉的方向即可，不一定需要為y方向(與x方向呈直角的方向)。

此外，關(guān)于光源，對將棒狀的光源11沿著y方向進(jìn)行配置的例子進(jìn)行了說明，但這是將長條的發(fā)光部沿著y方向配置的例子。除此之外，也有時將點(diǎn)光源排列為直線狀而使其與棒狀的光源(線狀的發(fā)光部)等價。并且，在將棒狀的光源沿x方向配置的情況下，如果這樣的光源在y方向上排列有多個，則在y方向能夠視為排列有點(diǎn)光源，因此能夠使其同樣地起作用。