技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明為化學(xué)增幅型正型抗蝕劑組合物和圖案形成方法，本發(fā)明提供了化學(xué)增幅型正型抗蝕劑組合物，其包括(A)在酸作用下適應(yīng)于變得可溶于堿性水溶液中的聚合物，(B)光致產(chǎn)酸劑，(C)羧酸和(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物。當(dāng)將所述抗蝕劑組合物以5?250μm厚的厚膜涂布至銅基材上并以光刻法加工成圖案時(shí)，可獲得高分辨率且所述圖案具有矩形輪廓。

技術(shù)研發(fā)人員：平野禎典;淺井聰;竹村勝也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：信越化學(xué)工業(yè)株式會社
文檔號碼：201610632599
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.04
技術(shù)公布日：2017.02.22