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一種用于毛細(xì)管放電EUV光源的負(fù)載系統(tǒng)的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12846686閱讀:來源:國知局
一種用于毛細(xì)管放電EUV光源的負(fù)載系統(tǒng)的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種用于毛細(xì)管放電EUV光源的負(fù)載系統(tǒng),其特征在于,它包括預(yù)脈沖高壓電極(1)、左側(cè)絕緣層(2)、主脈沖高壓電極(3)、主脈沖地電極(4)和右側(cè)絕緣層(5),預(yù)脈沖高壓電極(1)、左側(cè)絕緣層(2)、主脈沖高壓電極(3)、主脈沖地電極(4)和右側(cè)絕緣層(5)的橫截面均為T型結(jié)構(gòu),且該T型結(jié)構(gòu)均為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu),預(yù)脈沖高壓電極(1)的T型結(jié)構(gòu)的頂端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)通孔,左側(cè)絕緣層(2)的T型結(jié)構(gòu)的頂端對(duì)稱設(shè)置有四個(gè)孔,其中,左側(cè)絕緣層(2)上內(nèi)部兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔間距與預(yù)脈沖高壓電極(1)的兩個(gè)通孔的間距相等,左側(cè)絕緣層(2)上外部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔為通孔,主脈沖高壓電極(3)的T型結(jié)構(gòu)的頂端對(duì)稱設(shè)置有六個(gè)孔,其中,主脈沖高壓電極(3)上位于內(nèi)部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔間距與左側(cè)絕緣層(2)的內(nèi)部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔間距相等,主脈沖高壓電極(3)上位于中部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔間距與左側(cè)絕緣層(2)的外部的兩個(gè)通孔的孔間距相等,主脈沖高壓電極(3)上位于外部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔為通孔,左側(cè)絕緣層(2)包裹在預(yù)脈沖高壓電極(1)的外部,主脈沖高壓電極(3)包裹在左側(cè)絕緣層(2)的外部,且預(yù)脈沖高壓電極(1)頂端的通孔與左側(cè)絕緣層(2)上內(nèi)部兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔和主脈沖高壓電極(1)上位于內(nèi)部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔相對(duì)應(yīng),且通過三者對(duì)應(yīng)孔將三者固定,左側(cè)絕緣層(2)上外部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔與主脈沖高壓電極(3)上位于中部的兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的孔對(duì)應(yīng),通過對(duì)應(yīng)孔將左側(cè)絕緣層(2)和主脈沖高壓電極(3)固定,主脈沖地電極(4)的T型結(jié)構(gòu)的頂端對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)通孔,且該通孔的孔間距等于主脈沖高壓電極外部的兩個(gè)孔間距,螺絲穿入主脈沖地電極(4)上的通孔和主脈沖高壓電極上的孔將主脈沖地電極(4)和主脈沖高壓電極(3)固定,主脈沖地電極(4)的T型結(jié)構(gòu)的底端設(shè)置有一個(gè)通孔,螺絲通過該通孔將右側(cè)絕緣層(5)與主脈沖地電極(4)固定,右側(cè)絕緣層(5)包裹在主脈沖地電極(4)的外部,預(yù)脈沖高壓電極(1)的底端和主脈沖地電極(4)的底端之間設(shè)置有毛細(xì)管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于毛細(xì)管放電EUV光源的負(fù)載系統(tǒng),其特征在于,它還包括多個(gè)金屬墊片,金屬墊片包括兩種,一種為厚度為1mm的金屬墊片,另一種厚度為15mm的金屬墊片,預(yù)脈沖高壓電極(1)的頂端的寬度和左側(cè)絕緣層(2)頂端的寬度之間墊厚度為15mm的金屬墊片,以控制二者尖端的距離;主脈沖高壓電極(3)的頂端的寬度和左側(cè)絕緣層(2)的頂端的寬度之間墊厚度為1mm的金屬墊片,以控制二者尖端的距離。
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