技術(shù)特征：

1.一種感光性組合物，所述感光性組合物含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體及(C)光聚合引發(fā)劑，

所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述式(1)表示的化合物，

所述(C)光聚合引發(fā)劑的氯離子的含量為10～510質(zhì)量ppm，

所述(C)光聚合引發(fā)劑的質(zhì)量相對于所述感光性組合物的固態(tài)成分質(zhì)量的比率為1～20質(zhì)量％，

式中，R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

2.一種感光性組合物，所述感光性組合物含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體和(C)光聚合引發(fā)劑，所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述式(1)表示的化合物，

所述感光性組合物中的氯離子的含量相對于固態(tài)成分質(zhì)量而言為0.1～30質(zhì)量ppm，

式中，R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

3.如權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，所述(C)光聚合引發(fā)劑的氯離子含量為10～510質(zhì)量ppm。

4.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的感光性組合物，其中，所述式(1)中的所述R²為下述式(2)或下述式(3)表示的基團(tuán)，

式(2)中，R⁴為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，A為S或O，n為0～4的整數(shù)，

式(3)中，R⁵及R⁶分別為1價有機(jī)基團(tuán)。

5.膜的形成方法，包括：

在襯底上涂布權(quán)利要求1～3中任一項所述的感光性組合物，由此形成涂布膜，和

對所述涂布膜進(jìn)行曝光。

6.如權(quán)利要求5所述的膜的形成方法，其中，所形成的膜的膜厚的標(biāo)準(zhǔn)偏差小于25。

7.感光性組合物保存時的粘度增加抑制方法，在制備含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體和(C)光聚合引發(fā)劑、且所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述式(1)表示的化合物的感光性組合物時，相對于所述感光性組合物的固態(tài)成分質(zhì)量配合1～20質(zhì)量％的氯離子含量為10～510質(zhì)量ppm的所述(C)光聚合引發(fā)劑，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

8.感光性組合物保存時的粘度增加抑制方法，在制備含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體和(C)光聚合引發(fā)劑、且所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述式(1)表示的化合物的感光性組合物時，使所述感光性組合物中的氯離子的含量相對于固態(tài)成分質(zhì)量而言為0.1～30質(zhì)量ppm，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

9.一種光聚合引發(fā)劑，所述光聚合引發(fā)劑中的氯離子的含量為10～510質(zhì)量ppm，且含有下述式(1)表示的化合物，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

10.感光性組合物的制造方法，是含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體和(C)光聚合引發(fā)劑的感光性組合物的制造方法，

相對于所述感光性組合物的固態(tài)成分質(zhì)量而言，配合1～20質(zhì)量％的所述(C)光聚合引發(fā)劑，所述(C)光聚合引發(fā)劑含有下述式(1)表示的化合物、且氯離子的含量為10～510質(zhì)量ppm，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

11.如權(quán)利要求10所述的感光性組合物的制造方法，其中，使所述感光性組合物中的氯離子的含量相對于所述感光性組合物的固態(tài)成分質(zhì)量而言為0.1～30質(zhì)量ppm。

12.如權(quán)利要求11所述的感光性組合物的制造方法，其中，通過使所述感光性組合物與陰離子交換樹脂接觸的方法、及/或向所述感光性組合物中添加氯化物的方法，來調(diào)節(jié)所述感光性組合物中的氯離子的含量。

13.如權(quán)利要求12所述的感光性組合物的制造方法，其中，通過使所述感光性組合物與陰離子交換樹脂接觸的方法，來調(diào)節(jié)所述感光性組合物中的氯離子的含量。

14.感光性組合物的制造方法，是含有(A)堿可溶性樹脂、(B)光聚合性單體和(C)光聚合引發(fā)劑的感光性組合物的制造方法，

使用含有下述式(1)表示的化合物的所述(C)光聚合引發(fā)劑，使所述感光性組合物中的氯離子的含量相對于所述感光性組合物的固態(tài)成分質(zhì)量而言為0.1～30質(zhì)量ppm，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基。

15.如權(quán)利要求14所述的感光性組合物的制造方法，其中，通過使所述感光性組合物與陰離子交換樹脂接觸的方法、及/或向所述感光性組合物中添加氯化物的方法，來調(diào)節(jié)所述感光性組合物中的氯離子的含量。

16.如權(quán)利要求15所述的感光性組合物的制造方法，其中，通過使所述感光性組合物與陰離子交換樹脂接觸的方法，來調(diào)節(jié)所述感光性組合物中的氯離子的含量。

17.一種光聚合引發(fā)劑的制造方法，所述光聚合引發(fā)劑包含下述式(1)表示的化合物、且氯離子含量為10～510質(zhì)量ppm，

R¹為選自1價有機(jī)基團(tuán)、氨基、鹵素、硝基及氰基中的基團(tuán)，

m為0～4的整數(shù)，

p為0或1，

R²為可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基，

R³為氫原子或碳原子數(shù)1～6的烷基，

所述光聚合引發(fā)劑的制造方法包含選自以下方法(1)～方法(6)中的1種以上的方法，

方法(1)，通過包含使用氯化鋁進(jìn)行Friedel-Crafts反應(yīng)的工序的方法，合成所述式(1)表示的化合物，并且調(diào)節(jié)氯化鋁的使用量使所述式(1)表示的化合物的氯離子的含量在10～510質(zhì)量ppm的范圍內(nèi)；

方法(2)，在所述式(1)表示的化合物的合成中使用不含氯原子的酸；

方法(3)，在所述式(1)表示的化合物的合成中，在Friedel-Crafts?；磻?yīng)或肟基的酰化中，使用酸酐作為酰化劑；

方法(4)，通過選自蒸餾、重結(jié)晶、水洗及柱色譜法中的1種以上的方法將所述式(1)表示的化合物的粗純化品進(jìn)行純化；

方法(5)，將所述式(1)表示的化合物的粗純化品溶解于疏水性有機(jī)溶劑中，將所得的溶液進(jìn)行水洗后，從經(jīng)清洗的溶液中回收所述式(1)表示的化合物；及

方法(6)，通過選自所述方法(1)～所述方法(5)中的1種以上的方法，得到氯離子含量小于10質(zhì)量ppm的所述式(1)表示的化合物的純化品后，向所述純化品中加入氯化物，將所述式(1)表示的化合物的氯離子含量調(diào)節(jié)至10～510質(zhì)量ppm的范圍內(nèi)。