一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，它包括監(jiān)控裝置、裝載框架（1）、曝光箱（2）和裝載箱（3），裝載框架（1）包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）設(shè)置有抽真空通道、抽真空氣孔（11）和抽真空接頭（12），監(jiān)控裝置包括光電傳感器（21）、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器。本實(shí)用新型的有益效果是：提高了曝光效率，裝載工作方便、容易進(jìn)行，能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；通過控制器自動(dòng)控制裝載框架（1）的曝光操作和曝光時(shí)間，節(jié)省了人工，提高了工效。
【專利說明】一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在FPC板制造工藝中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光顯影、圖像電鍍極大工序。其中，在曝光顯影工序中有一道外層曝光的工序，該工序使用一種手動(dòng)曝光機(jī)。該手動(dòng)曝光機(jī)包括一個(gè)玻璃臺(tái)面，用以放置待曝光的FPC板，以及一個(gè)貼膜層，用以貼敷定位所述FPC板。玻璃臺(tái)面與貼敷膜層之間，還設(shè)有抽氣口，工作時(shí)，先將FPC板放置于所述玻璃臺(tái)面上，再將貼敷膜層貼敷在所述FPC板的表面，然后通過所述抽氣口抽氣，開啟光源，對(duì)待曝光的FPC板的下表面進(jìn)行曝光。此裝置僅能完成FPC板的單面曝光，對(duì)于需要雙面曝光的FPC板需要進(jìn)行兩次曝光操作，效率低，耗時(shí)長(zhǎng)。
[0003]并且，目前使用的曝光機(jī)一般通過目測(cè)憑經(jīng)驗(yàn)估計(jì)腔體內(nèi)的的真空度，誤差大，且無法控制腔體內(nèi)的真空度，可能會(huì)引起真空度抽氣過度而導(dǎo)致玻璃蓋板爆裂，或者由于真空度太低，空氣殘留過多，造成曝光不良。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種方便裝載、提高曝光效率、半自動(dòng)感光膜曝光裝置。
[0005]本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，它包括監(jiān)控裝置、裝載框架、以及依次連接為一體的曝光箱和裝載箱，曝光箱和裝載箱上均設(shè)置有用于安裝裝載框架的水平導(dǎo)軌，曝光箱位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源，所述的裝載框架包括上框架和下框架，上框架和下框架通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁連接為一體，上框架的底面上設(shè)置有上透光板，下框架的頂面上設(shè)置有容置上框架的凹槽，該凹槽的底面上設(shè)置有下透光板，下框架內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔，下框架上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭，抽真空接頭通過抽真空通道與抽真空氣孔連通，所述的下框架的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱，下框架的水平凸棱滑動(dòng)安裝于曝光箱和裝載箱的水平導(dǎo)軌內(nèi)，曝光箱上還安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的電機(jī)軸連接有與水平導(dǎo)軌平行的絲桿，下框架的底部設(shè)置有螺紋孔，絲桿通過螺紋與螺紋孔連接，所述的監(jiān)控裝置包括光電傳感器、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架的抽真空通道內(nèi)，光電傳感器設(shè)置于凹槽的側(cè)壁上，用于監(jiān)測(cè)上框架是否扣合于下框架的凹槽內(nèi)，光電傳感器、氣壓傳感器、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別與控制器電連接。
[0006]所述的上框架的前端面上安裝有把手。
[0007]所述的上框架的前端面設(shè)置有凸塊，下框架上設(shè)置有與凸塊相配合的缺口，凸塊的前端面與下框架的前端面相平齊，把手安裝于凸塊的前端面上。[0008]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型可以同時(shí)對(duì)薄板兩個(gè)表面貼附的感光膜同時(shí)進(jìn)行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得裝載框架與曝光光源安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進(jìn)行。通過設(shè)置監(jiān)控裝置，從而能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板和上透光板之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當(dāng)抽真空達(dá)到要求的真空氣壓數(shù)值時(shí)，控制器會(huì)控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。本實(shí)用新型通過控制器自動(dòng)控制裝載框架的曝光操作和曝光時(shí)間，節(jié)省了人工，提高了工效。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0010]圖2為本實(shí)用新型的裝載框架的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0011]圖3為圖2沿A-A截面的剖視圖
[0012]圖4為本實(shí)用新型的下框架的剖視結(jié)構(gòu)示意圖
[0013]圖5為本實(shí)用新型曝光時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0014]圖6為本實(shí)用新型監(jiān)控裝置的框圖
[0015]圖中，1-裝載框架，2-曝光箱，3-裝載箱，4-水平導(dǎo)軌A，5_水平導(dǎo)軌B，6_曝光光源，7-合頁，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空氣孔，12-抽真空接頭，13-水平凸棱，14-把手，15-凸塊，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-驅(qū)動(dòng)電機(jī)，20-絲桿，21-光電傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0017]如圖1所示，一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，它包括監(jiān)控裝置、裝載框架1、以及依次連接為一體的曝光箱2和裝載箱3，曝光箱2和裝載箱3上均設(shè)置有用于安裝裝載框架I的水平導(dǎo)軌，曝光箱2內(nèi)的水平導(dǎo)軌A4與裝載箱3的水平導(dǎo)軌B5連接為連續(xù)的水平導(dǎo)軌，曝光箱2位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源6，如圖2、圖3、圖4所示，所述的裝載框架I包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁7連接為一體，上框架17的底面上設(shè)置有上透光板8，下框架18的頂面上設(shè)置有容置上框架17的凹槽9，該凹槽9的底面上設(shè)置有下透光板10，上框架17和下框架18均為由四個(gè)邊框圍成的矩形框架，透光板的四個(gè)邊緣均與對(duì)應(yīng)側(cè)的邊框緊密固定連接，下框架18內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔11，下框架18上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭12，抽真空接頭12通過抽真空通道與抽真空氣孔11連通，所述的下框架18的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱13，下框架18的水平凸棱13滑動(dòng)安裝于曝光箱2和裝載箱3的水平導(dǎo)軌內(nèi)，
[0018]曝光箱2上還安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)19，驅(qū)動(dòng)電機(jī)19的電機(jī)軸連接有與水平導(dǎo)軌平行的絲桿20，下框架18的底部設(shè)置有螺紋孔，絲桿20通過螺紋與螺紋孔連接，如圖6所示，所述的監(jiān)控裝置包括光電傳感器21、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭12通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架18的抽真空通道內(nèi)，光電傳感器21設(shè)置于凹槽9的側(cè)壁上，用于監(jiān)測(cè)上框架17是否扣合于下框架18的凹槽9內(nèi)，光電傳感器21、氣壓傳感器、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅(qū)動(dòng)電機(jī)19分別與控制器電連接。
[0019]所述的凹槽9僅設(shè)置于非安裝合頁7的邊框上，為了提高氣密性，上框架17在安裝合頁7的邊框的下表面設(shè)置有密封條，上框架17在非安裝合頁7的邊框的凹槽9的側(cè)面設(shè)置有密封條；為了進(jìn)一步提高氣密性，下框架18在安裝合頁7的邊框的上表面設(shè)置有密封條，下框架18在非安裝合頁7的邊框的側(cè)面設(shè)置有密封條，所述的抽真氣孔設(shè)置于下框架18非安裝合頁7的邊框上。
[0020]所述的上框架17的前端面上安裝有把手14。
[0021]所述的上框架17的前端面設(shè)置有凸塊15，下框架18上設(shè)置有與凸塊15相配合的缺口 16，凸塊15的前端面與下框架18的前端面相平齊，把手14安裝于凸塊15的前端面上。
[0022]本實(shí)用新型的工作過程如下:通過把手14翻開上框架17，上框架17繞合頁7旋轉(zhuǎn)打開，將待曝光的貼有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后蓋合上框架17，光電傳感器21監(jiān)測(cè)到上框架17蓋合后，傳輸信號(hào)至控制器，控制器控制真空泵通過抽真空氣孔11對(duì)下透光板10和上透光板8之間進(jìn)行抽真空，由上透光板8和下透光板10壓緊薄板，此時(shí)，操作者可使用滾筒、壓板等裝置在上透光板8上滾壓或推壓，以將下透光板10、薄板、上透光板8之間的空氣完全抽出，氣壓傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)抽真空通道內(nèi)的氣壓變化，并將感應(yīng)信號(hào)傳輸至控制器，當(dāng)抽真空通道內(nèi)的氣壓達(dá)到設(shè)定值時(shí)，控制器控制關(guān)閉電磁閥、真空泵停止工作，然后，控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)19轉(zhuǎn)動(dòng)，通過絲杠20驅(qū)動(dòng)下框架18沿導(dǎo)軌滑動(dòng)，整個(gè)裝載框架I進(jìn)入曝光箱2，由分別位于裝載框架I上部和下部的光源對(duì)裝載于上透光板8和下透光板10之間的薄板的兩個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行曝光，同時(shí)計(jì)時(shí)器開始計(jì)時(shí)，如圖5所示。在此過程中，若氣壓傳感器監(jiān)測(cè)到抽真空通道內(nèi)的氣壓變化至未達(dá)到設(shè)定值時(shí)，控制器控制真空泵開始工作、打開電磁閥，對(duì)下透光板10和上透光板8之間進(jìn)行抽真空，保證下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量。當(dāng)達(dá)到設(shè)定曝光時(shí)長(zhǎng)后，計(jì)時(shí)器向控制器發(fā)送信號(hào)，控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)19反向旋轉(zhuǎn)，通過絲杠20驅(qū)動(dòng)下框架18沿導(dǎo)軌滑動(dòng)，使裝載框架I退出曝光箱2，完全退出后，控制器控制蜂鳴器工作，提醒人工更換薄板。
[0023]本實(shí)用新型可以同時(shí)對(duì)薄板兩個(gè)表面貼附的感光膜同時(shí)進(jìn)行曝光，從而提高了曝光效率，裝載框架I的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得裝載框架與曝光光源6安裝結(jié)構(gòu)為分體結(jié)構(gòu)，裝載工作方便、容易進(jìn)行，同時(shí)能夠滿足真空條件的工況需求。本實(shí)用新型通過設(shè)置監(jiān)控裝置，從而能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)據(jù)，確保曝光過程中下透光板10和上透光板8之間的真空氣壓數(shù)值，從而保證曝光質(zhì)量；當(dāng)抽真空達(dá)到要求的真空氣壓數(shù)值時(shí)，控制器會(huì)控制電磁閥關(guān)閉、控制真空泵停止工作，從而延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。本實(shí)用新型通過控制器自動(dòng)控制裝載框架的曝光操作和曝光時(shí)間，節(jié)省了人工，提高了工效。
【權(quán)利要求】
1.一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，其特征在于:它包括監(jiān)控裝置、裝載框架(I)、以及依次連接為一體的曝光箱(2 )和裝載箱(3 )，曝光箱(2 )和裝載箱(3 )上均設(shè)置有用于安裝裝載框架(I)的水平導(dǎo)軌，曝光箱(2)位于水平導(dǎo)軌的上下兩側(cè)均設(shè)置有曝光光源(6)，所述的裝載框架(I)包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通過設(shè)置于后側(cè)面上的合頁(7)連接為一體，上框架(17)的底面上設(shè)置有上透光板(8)，下框架(18)的頂面上設(shè)置有容置上框架(17)的凹槽(9)，該凹槽(9)的底面上設(shè)置有下透光板(10)，下框架(18)內(nèi)部設(shè)置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之間的部分上設(shè)置有抽真空氣孔(11 )，下框架(18)上還設(shè)置有用于連接抽真空管路的抽真空接頭(12)，抽真空接頭(12)通過抽真空通道與抽真空氣孔(11)連通，所述的下框架(18)的左右兩側(cè)均設(shè)置有水平凸棱(13)，下框架(18)的水平凸棱(13)滑動(dòng)安裝于曝光箱(2)和裝載箱(3)的水平導(dǎo)軌內(nèi)，曝光箱(2)上還安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)的電機(jī)軸連接有與水平導(dǎo)軌平行的絲桿(20)，下框架(18)的底部設(shè)置有螺紋孔，絲桿(20)通過螺紋與螺紋孔連接，所述的監(jiān)控裝置包括光電傳感器(21)、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、氣壓傳感器和控制器，抽真空接頭(12)通過氣路與真空泵吸氣口相連，氣路上設(shè)置有控制氣路通斷的電磁閥，氣壓傳感器安裝于下框架(18)的抽真空通道內(nèi)，光電傳感器(21)設(shè)置于凹槽(9)的側(cè)壁上，用于監(jiān)測(cè)上框架(17)是否扣合于下框架(18)的凹槽(9)內(nèi)，光電傳感器(21)、氣壓傳感器、計(jì)時(shí)器、蜂鳴器、真空泵、電磁閥和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(19)分別與控制器電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面上安裝有把手(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半自動(dòng)感光膜曝光裝置，其特征在于:所述的上框架(17)的前端面設(shè)置有凸塊(15)，下框架(18)上設(shè)置有與凸塊(15)相配合的缺口(16)，凸塊(15)的前端面與下框架(18)的前端面相平齊，把手(14)安裝于凸塊(15)的前端面上。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK203799176SQ201420218735
【公開日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月30日
【發(fā)明者】劉維軍, 郭寶貴 申請(qǐng)人:遂寧市維海電子科技有限公司