1.一種用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，包括：一總控制層，所述總控制層通過一VME總線與一分系統(tǒng)控制層通訊，所述分系統(tǒng)控制層通過一現(xiàn)場總線協(xié)議與一執(zhí)行層通訊。
2.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述總控制層包括一總控制單元以及一主控板卡，所述總控制單元通過一以太網(wǎng)與所述主控板卡通訊。
3.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述分系統(tǒng)控制層包括一總線控制板及總線控制器，所述總控制層通過所述VME總線與所述總線控制板通訊。
4.如權(quán)利要求2所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述主控板卡放置于一機箱內(nèi)。
5.如權(quán)利要求3所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述總線控制板放置于一機箱內(nèi)。
6.如權(quán)利要求3所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述總線控制板通過一現(xiàn)場總線協(xié)議與總線控制器通訊。
7.如權(quán)利要求3所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述分系統(tǒng)控制層還包括一總線功能模塊，所述總線控制器和所述總線功能模塊采取拓撲結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述總線功能模塊通過一現(xiàn)場總線協(xié)議與執(zhí)行層通訊。
9.如權(quán)利要求1所述的用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)，其特征在于，所述執(zhí)行層包括傳感器或執(zhí)行器。