技術(shù)編號：12593785
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于光刻設(shè)備的控制架構(gòu)。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)下的封裝和LED光刻機(jī)中，一般都采用VME總線控制架構(gòu)。如圖1所示，上位機(jī)通過以太網(wǎng)形式與各分系統(tǒng)PPC進(jìn)行通訊，各分系統(tǒng)PPC再通過機(jī)箱背板上的VME總線與機(jī)箱內(nèi)其他功能類板卡進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，最后由這些功能類板卡直接采集底層傳感器數(shù)據(jù)或?qū)Φ讓域?qū)動器/執(zhí)行器進(jìn)行控制。上述技術(shù)方案存在以下技術(shù)問題：第一、當(dāng)產(chǎn)品功能增加導(dǎo)致外接傳感器或執(zhí)行器超出機(jī)箱原先的冗余設(shè)計時，需要對原有機(jī)箱設(shè)計進(jìn)行修改。如果原先板卡預(yù)留接口...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。