本發(fā)明屬于高分子材料領(lǐng)域，具體涉及一種感光性樹脂組合物，包含該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體，使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法以及該抗蝕圖案的用途。
背景技術(shù)：
：目前，印刷線路板是通過照相平板印刷法來制造。照相平板印刷法是指通過在基板上涂布感光性樹脂組合物，進(jìn)行圖案曝光使該感光性樹脂組合物的曝光部分聚合固化，用顯影液除去未曝光部分以在基板上形成抗蝕圖案，實(shí)施蝕刻或鍍敷處理而形成導(dǎo)體圖案后，從該基板上剝離除去該抗蝕圖案，從而在基板上形成導(dǎo)體圖案的方法。在上述照相平板印刷法中，在基板上涂布感光性樹脂組合物時，可以使用在基板上涂布感光性樹脂組合物溶液(即光致抗蝕劑溶液)并干燥的方法，或在基板上層層壓由支撐體、感光性樹脂組合物構(gòu)成的層(下面稱為“感光性樹脂層”)以及根據(jù)需要的保護(hù)層組成的感光性樹脂層壓體(下面稱為“感光抗蝕干膜”或″干膜抗蝕劑″)的方法。印刷線路板的制造中大多使用后者的感光抗蝕干膜。以下簡單描述使用上述干膜抗蝕劑制造印刷線路板的方法。首先，在具有聚乙烯薄膜等的保護(hù)層的情況下，從感光性樹脂層將其剝離。接著，使用層壓機(jī)按照基板、感光性樹脂層、支撐體的順序?qū)⒏泄庑詷渲瑢雍椭误w層壓到覆銅層壓板等基板上。然后，通過具有布線圖案的光掩摸，使該感光性樹脂層在超高壓汞燈發(fā)出的i射線(365nm)等紫外線下曝光，從而使曝光部分聚合固化。然后剝 離由聚對苯二酸乙二醇酯形成的支撐體。接著，通過具有弱堿性的水溶液等顯影液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解或分散除去，在基板上形成抗蝕圖案。然后，將形成的抗蝕圖案作為保護(hù)掩摸進(jìn)行公知的蝕刻處理或圖案鍍敷處理。最后，將該抗蝕圖案從基板剝離，制造具有導(dǎo)體圖案的基板，即印刷線路板。在使用干膜抗蝕劑時，將未曝光部份用弱堿性水溶液溶解的顯影工序中，未聚合的組合物分散于顯影液中。這些分散物聚集時會在顯影液中形成凝聚物，凝聚物產(chǎn)生多時，會導(dǎo)致在通過過濾器進(jìn)行顯影液的循環(huán)過程中過濾器更換頻率變高或者顯影機(jī)的洗滌間隔變短等問題。因此，也出現(xiàn)了一些措施以緩解這種問題，例如：在單體或聚合物上加成氧化乙烯鏈等親水性基團(tuán)來使凝聚物的親水性提高；使用壬酚型的單體以降低凝聚物的嘗試。但這些并不能完全解決問題。為此，一直期待可抑制顯影液的凝聚物產(chǎn)生的新型感光性樹脂組合物。另一方面，伴隨著近年來印刷線路板微細(xì)化和市場規(guī)模的擴(kuò)大，從提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的觀點(diǎn)出發(fā)，對感光性樹脂組合物的感光度(以縮短曝光時間)和分辨率提出了更高的要求。發(fā)明概述本發(fā)明旨在提供一種新的感光性樹脂組合物，它具有良好的曝光靈敏度(即，高感光度)和顯影性，在體系含有遮光劑或曝光劑量很低的情況下，固化后圖案完整且顯影清晰，分辨率高，與基板密合性優(yōu)異。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種感光性樹脂組合物，包含下列組分：(A)粘合劑聚合物；(B)具有至少一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物；(C)光聚合引發(fā)劑；(D)增感色素。本發(fā)明還涉及包含有上述感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體，使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法以及該抗蝕圖案的用途。通過對組分配方的選擇，本發(fā)明的感光性樹脂組合物在應(yīng)用中能夠表現(xiàn)出非常優(yōu)異的性能。發(fā)明詳述〈感光性樹脂組合物〉下面將進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明的感光性樹脂組合物中使用的各組分。[(A)粘合劑聚合物]作為在本發(fā)明中使用的(A)組分，粘合劑聚合物可以列舉出例如丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、酰胺系樹脂、酰胺環(huán)氧系樹脂、醇酸系樹脂和酚系樹脂。從堿顯影性的立場出發(fā)，優(yōu)選丙烯酸系樹脂。上述樹脂可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。(A)粘合劑聚合物可以通過使聚合性單體進(jìn)行自由基聚合而制得。作為上述聚合性單體，可以列舉出例如苯乙烯、乙烯基甲苯和α-甲基苯乙烯等在α-位或芳香族環(huán)被取代的能夠聚合的苯乙烯衍生物，雙丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺，丙烯腈，乙烯基-正丁基醚等乙烯基醇的酯類，(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸-2，2，2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸-2，2，3，3-四氟丙酯、(甲基)丙烯酸、α-溴丙烯酸、α-氯丙烯酸、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸等丙烯酸系單體，馬來酸，馬來酸酐，馬來酸單甲酯、馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯，富馬酸、肉 桂酸、α-氰基肉桂酸、依康酸、巴豆酸和丙炔酸。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。作為上述(甲基)丙烯酸烷基酯，可以列舉出例如下述通式所示的化合物，這些化合物中的烷基可以任選地被羥基、環(huán)氧基、鹵素基團(tuán)等基團(tuán)取代。H2C＝C(R9)-COOR10式中，R9表示氫原子或甲基，R10表示碳原子數(shù)1-12的烷基。作為上述通式所示的單體，可以列舉出例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯和(甲基)丙烯酸芐酯。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。此外，從堿顯影性的立場來看，作為本發(fā)明中的(A)組分的粘合劑聚合物優(yōu)選含有羧基，例如可以通過使具有羧基的聚合性單體和其它聚合性單體進(jìn)行自由基聚合而制造。作為上述具有羧基的聚合性單體，優(yōu)選(甲基)丙烯酸及其酯，其中更優(yōu)選甲基丙烯酸及其酯。從堿顯影性和耐堿性的平衡的立場出發(fā)，上述(A)粘合劑聚合物的羧基含量(具有羧基的聚合性單體相對于使用的全部聚合性單體的比例)優(yōu)選為12-50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12-40質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為15-35質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15-30質(zhì)量％。該羧基含量為12質(zhì)量％以上則堿顯影性提高，為50質(zhì)量％以下則具有堿性優(yōu)異的傾向。此外，上述(A)粘合劑聚合物中的來自于具有羧基的聚合性單體的結(jié)構(gòu)單 元含有率與上述含羧基單體的比例有關(guān)，因此優(yōu)選為12-50質(zhì)量％，更優(yōu)選為12-40質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選為15-35質(zhì)量％，特別優(yōu)選為15-30質(zhì)量％。此外，從密合性和耐化學(xué)藥品性的立場出發(fā)，作為本發(fā)明中的組分(A)的粘合劑聚合物優(yōu)選含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體。將上述苯乙烯或苯乙烯衍生物作為共聚成分時，從使密合性和耐化學(xué)藥品性良好的立場出發(fā)，其含量(苯乙烯或苯乙烯衍生物相對于使用的全部聚合性單體的比例)優(yōu)選為10-60質(zhì)量％，更優(yōu)選含有15-50質(zhì)量％。該含量為10質(zhì)量％以上則具有密合性提高的傾向，60質(zhì)量％以下則能夠抑制玻璃瓶剝離片變大所導(dǎo)致的剝離所需要的長時間化。此外，上述(A)粘合劑聚合物中來自于苯乙烯或苯乙烯衍生物的結(jié)構(gòu)單元的含有率與苯乙烯或苯乙烯衍生物的上述比例有關(guān)，優(yōu)選為10-60質(zhì)量％，更優(yōu)選為15-50質(zhì)量％。這些粘合劑聚合物可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。作為將兩種以上組合使用時的粘合劑聚合物，可以列舉出例如由不同的共聚成分構(gòu)成的兩種以上的粘合劑聚合物、和分散度不同的兩種以上的粘合劑聚合物。上述(A)粘合劑聚合物可以通過常規(guī)方法制造。具體而言。例如，可以通過使(甲基)丙烯酸烷基酯與(甲基)丙烯酸、苯乙烯等進(jìn)行自由基聚合而制造。從機(jī)械強(qiáng)度和堿顯影性的平衡的立場出發(fā)，上述(A)粘合劑聚合物的重均分子量優(yōu)選為20000-300000，更優(yōu)選40000-150000，進(jìn)一步優(yōu)選40000-120000，特別優(yōu)選為50000-80000。本發(fā)明中的重均分子量是通過凝膠滲透色譜法測定并使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯制作的校正曲線換算而得的值。就上述(A)粘合劑聚合物的含量而言，相對于總量100質(zhì)量份的組分(A) 和(B)，優(yōu)選30-80質(zhì)量份，更優(yōu)選為40-75質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為50-70質(zhì)量份。當(dāng)組分(A)的含量在該范圍內(nèi)時，感光性樹脂組合物的涂膜性和光固化物的強(qiáng)度更良好。[(B)具有至少一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物]從提高晰像度和蓋孔可靠性的立場出發(fā)，作為本發(fā)明中使用的(B)組分是具有至少一個乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物，至少含有具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。此處，具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯的意思是二季戊四醇和(甲基)丙烯酸的酯化物且定義為該酯化物中含有經(jīng)亞烷基改性的化合物。此外，單個分子中的酯鍵的數(shù)目優(yōu)選為6，也可以混合酯鍵的數(shù)目為1-5的化合物。作為具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯，更具體而言，可以列舉出例如下述通式(1)所示的化合物。通式(1)通式(1)中，R8各自獨(dú)立地表示氫原子或甲基，A各自獨(dú)立地表示C2-C6的亞烷基，n為0-20的整數(shù)。從進(jìn)一步提高靈敏度、密合性和折像度的觀點(diǎn)出發(fā)，通式(1)中R8優(yōu)選為甲基。n優(yōu)選為0-15，更優(yōu)選為0-10，更優(yōu)選為0-5。此外，從蓋孔可靠性和晰像性的平衡的立場出發(fā)，相對于總量100質(zhì)量份的 組分(A)和(B)，上述具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量優(yōu)選為3-25質(zhì)量份，更優(yōu)選為5-20質(zhì)量份。除了上述具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物外，組分(B)還可含有其它的光聚合性化合物。作為其它的光聚合性化合物，可以列舉出例如使α、β-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得的化合物、雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物、具有氨基甲酸酯鍵的(甲基)丙烯酸酯化合物等氨基甲酸酯單體、壬基苯氧基四亞乙氧基(甲基)丙烯酸酯、壬基苯氧基八亞乙氧基(甲基)丙烯酸酯、γ-氯-β-羥基丙基-β’-(甲基)丙烯酰胺乙基-鄰苯二甲酸酯、β-羥基乙基-β’-(甲基)丙烯酰氧乙基-鄰苯二甲酸酯、β-羥基丙基-β’-(甲基)丙烯酰氧乙基-鄰苯二甲酸酯和甲基丙烯酸酯。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。上述化合物中，從均衡提高蓋孔可靠性和晰像性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。作為上述雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，可以列舉出2，2-雙(4-((甲基)丙烯酸氧基聚丁氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丁氧基)苯基丙烷、2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷等。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。就雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物的含有率而言，相對于組分(A)和(B)的總量，優(yōu)選為5-25質(zhì)量％，更優(yōu)選為7-15質(zhì)量％。作為上述使α，β-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得的化合物，可以列舉出例如亞乙基的數(shù)目為2-14的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞丙基的數(shù)目為2-14的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)目為2-14且亞丙基的數(shù)目為2-14的聚乙 二醇聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)目為1-21的三羥甲基丙烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)目為1-21的四羥甲基甲烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯、和亞乙基的數(shù)目為1-30的四羥甲基甲烷聚乙烯四(甲基)丙烯酸酯。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。上述之中，從蓋孔可靠性和析像性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有亞乙基的數(shù)目為1-21的三羥甲基丙烷聚乙烯三(甲基)丙烯酸酯。就使α，β-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得的化合物的含有率而言，相對于組分(A)和(B)的總量，優(yōu)選為5-25質(zhì)量％，更優(yōu)選為7-15質(zhì)量％。作為上述氨基甲酸酯單體，可以列舉出例如在β位具有羥基的(甲基)丙烯酸單體與異佛爾酮二異氨酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、2，4-甲苯二異氰酸酯和1，6-六亞甲基二異氨酸酯等二異氰酸酯化合物的加成產(chǎn)物，三((甲基)丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯)六亞甲基異氰脲酸酯、EO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯和EO、PO改性氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯，其中EO表示環(huán)氧乙烷，經(jīng)EO改性的化合物具有環(huán)氧乙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)，PO表示環(huán)氧丙烷，經(jīng)PO改性的化合物具有環(huán)氧丙烷基的嵌段結(jié)構(gòu)。就具有異氰脲酸環(huán)骨架的氨基甲酸酯單體的含有率而言，相對于組分(A)和(B)的總量，優(yōu)選5-25質(zhì)量％，更優(yōu)選為7-15質(zhì)量％。上述其它光聚合性化合物可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。就上述組分(B)的含量而言，相對于總量100質(zhì)量份的組分(A)和(B)，優(yōu)選設(shè)為20-70質(zhì)量份，更優(yōu)選設(shè)為25-60質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為30-50質(zhì)量份。當(dāng)(B)成分的含量在該范圍時，感光性樹脂組合物的光靈敏度和涂膜性更加良好。[(C)光聚合引發(fā)劑]作為(C)組分的光聚合引發(fā)劑，可以列舉出二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎琳代苯基)-丁酮-1，2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮，烷基蒽醌等醌類，苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物，苯偶姻、烷基苯偶姻等苯偶姻化合物，苯偶酰二甲基縮酮等苯偶酰衍生物，2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體等2，4，5-三芳基咪唑二聚體，9-苯基吖啶、1，7-(9，9’-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物等。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。引發(fā)劑優(yōu)選含有2，4，5-三芳基咪唑二聚體。作為上述2，4，5-三芳基咪唑二聚體，可以列舉出例如2-(鄰氯苯基)-4，5-雙-(間-甲氧基苯基)咪唑二聚體、2，2’，5-三(2-氟苯基)-4-(3，4-二甲氧基苯基)-4’，5’-二苯基-1，1’-咪唑二聚體、2，2’，5-三(2-氟苯基)-4-(3，4-二甲氧基苯基)-4′，5’-二苯基-1，1’-咪唑二聚體、2，2’-二(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-咪唑二聚體、2，2’-二(2-氟苯基)-4-(2-氯苯基)-5-(3，4-二甲氧基苯基)-4’，5’-二苯基-1，1’-咪唑二聚體等。就組分(C)的含量而言，相對于總量100質(zhì)量份的組分(A)和(B)，可以是0.01-30質(zhì)量份，優(yōu)選0.1-10質(zhì)量份，更優(yōu)選1-7質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選2-6質(zhì)量份，特別優(yōu)選3-5質(zhì)量份。其含量在0.1質(zhì)量份以上則具有光靈敏度、析像度或密合性提高的傾向，10質(zhì)量份以下則具有抗蝕形狀優(yōu)異的傾向。[(D)增感色素]作為(D)組分的增感色素含有吡唑啉化合物。通過與作為光聚合性化合物的具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物組合使用，能夠獲 得光靈敏度優(yōu)異、形成的抗蝕劑膜的蓋孔可靠性、密合性以及形成的抗蝕圖形的析像性優(yōu)異的感光性樹脂組合物。作為增感色素使用的吡唑啉化合物可以列舉出例如通式(a)及通式(b)所示結(jié)構(gòu)的化合物：式(a)中，R1代表C1-C10的直鏈或支鏈烷基、C4-C10的烷基環(huán)烷基或環(huán)烷基烷基、苯基、取代苯基、C2-C10的鏈烯基；R2代表氫、C1-C10的直鏈或支鏈烷基、C4-C10的烷基環(huán)烷基或環(huán)烷基烷基；R3代表空或-CH2-CH(OH)-CH2-O-；R4代表氫、C1-C10的直鏈或支鏈烷基、C4-C10的烷基環(huán)烷基或環(huán)烷基烷基。式(b)中，R5表示與吡唑環(huán)具有共軛結(jié)構(gòu)的取代基團(tuán)；R6表示氫、C1-C10的直鏈或支鏈烷基、C4-C10的烷基環(huán)烷基或環(huán)烷基烷基；A各自獨(dú)立地表示具有-O-(CHR41)m-結(jié)構(gòu)的重復(fù)單元，R41各自獨(dú)立地選自氫、甲基或乙基，m為1-6的整數(shù)；R7具有n個對外連接鍵，選自C1-C60的直鏈或支鏈烷基，任選地，其中的碳或氫可以被氧、硫或苯基所取代；n代表1-20的整數(shù)。關(guān)于上述式(a)和(b)所示化合物的更多信息可分別參見申請?zhí)枮?01510264670.9和201510263189.8的中國發(fā)明專利申請，在此將其全文引入以作為補(bǔ)充和參考。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，在不損害本發(fā)明效果的程度內(nèi)，還可以一起配合使用上述通式(a)和(b)所示化合物以外的增感色素，可以列舉出例如二烷基氨基二苯甲酮類、蒽醌類、香豆素類、呫噸酮類、噁唑類、苯并噁唑類、噻唑類、苯并噻唑類、三唑類、均二苯乙烯類、三嗪類、噻吩類、荼二甲酰亞胺類、和三芳基胺類。這些可以單獨(dú)使用或者將兩種以上組合使用。在組分(D)增感色素中，上述通式(a)及通式(b)所示化合物的含量優(yōu)選為10-100質(zhì)量％，更優(yōu)選為30-100質(zhì)量％，特別優(yōu)選為50-100質(zhì)量％。其含量為10質(zhì)量％以上時，具有易于高靈敏度化和高析像度化的傾向。就(D)組分的含量而言，相對于總量100質(zhì)量份的組分(A)和(B)，優(yōu)選設(shè)為0.01-10質(zhì)量份，更優(yōu)選設(shè)為0.05-5質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為0.1-3質(zhì)量份。其含量為0.01質(zhì)量份以上則具有易于獲得光靈敏度和析像度的傾向，為10質(zhì)量份以下則具有易于獲得足夠良好的抗蝕形狀的傾向。[其它組分]本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要，還可以含有孔雀綠、維多利亞純藍(lán)、亮綠和甲基紫等染料，三溴苯砜、無色結(jié)晶紫、二苯胺、芐胺、三苯胺、二乙基苯胺、鄰氯苯胺和叔丁基鄰苯二酚等光顯色劑，熱顯色抑制劑，對甲苯磺酰胺等增塑劑，顏料，填充劑，消泡劑，阻燃劑，密合性賦予劑，流平劑，剝離促進(jìn)劑，抗氧化劑，香料，顯像劑，熱交聯(lián)劑，阻聚劑等。這些可以單獨(dú)使用或?qū)? 兩種以上組合使用。相對于總量100質(zhì)量份的組分(A)和(B)，每類額外的助劑可以是0.01-20質(zhì)量份。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可根據(jù)需要含有至少一種有機(jī)溶劑。作為上述有機(jī)溶劑，可以使用通常使用的有機(jī)溶劑，無特別限制。具體可以列舉出甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、甲苯、N，N一二甲基甲酰胺、丙二醇單甲醚等溶劑或這些的混合溶劑。例如，可以將上述組分(A)-(D)溶解于有機(jī)溶劑中，形成涂布液使用。其中的固體成分優(yōu)選為30-60質(zhì)量％左右，固體成分是指從上述溶液中除去揮發(fā)性成分后殘留的成分。將上述涂布液涂布于后述的支撐膜、金屬板等支撐體的表面上并干燥，從而可以在支撐體上形成來自于上述感光性樹脂組合物的感光性樹脂層。作為金屬板，可以列舉出例如銅、銅系合金、鎳、鉻、鐵、不銹鋼等鐵系合金，優(yōu)選銅、銅系合金、鐵系合金。形成的感光性樹脂層的厚度根據(jù)其用途而不同，但優(yōu)選以干燥后的厚度計為1-100μm左右。可以用保護(hù)膜覆蓋感光性樹脂層的另一面，即與支撐體所在表面相對的面。保護(hù)膜可列舉出聚乙烯、聚丙烯等聚合物膜?！锤泄庑栽当景l(fā)明的感光性元件主要由支撐體和形成于支撐體上的來自于上述感光性樹脂組合物的感光性樹脂層組成，還包括根據(jù)需要而設(shè)置的保護(hù)膜等其它層。[支撐體]作為上述支撐體，可以使用例如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯和聚酯等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。上述支撐體(以下有時稱為“支持膜”)的厚度優(yōu)選1μm-100μm，更優(yōu)選為1μm-50μm，進(jìn)一步優(yōu)選為1μm-30μm。通過使支撐體的厚度為1μm以上，可以抑制剝離支持膜時支持膜破裂。此外，通過使其為100μm以下，可以抑制析像度的降低。[保護(hù)膜]根據(jù)需要，上述感光性元件還可以具備覆蓋感光性樹脂層另一側(cè)的保護(hù)膜。作為上述保護(hù)膜，優(yōu)選對感光性樹脂層的粘接力小于支持膜對感光性樹脂層的粘接力，此外，縮孔(fisheye)少的膜是更為優(yōu)選的。此處，“縮孔”是指：將構(gòu)成保護(hù)膜的材料熱熔融，通過淚煉、擠出、雙軸拉伸、澆鑄法等制造膜時，材料的異物、未熔化物、氧化劣化物等被包含在膜中。即，“縮孔少”意味著膜中的上述異物等缺陷少。具體而言，作為保護(hù)膜可以使用聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚酯等具有耐熱性和耐溶劑性的聚合物膜。此外，保護(hù)膜可以與上述支撐體相同。保護(hù)膜的厚度優(yōu)選為1μm-100μm，更優(yōu)選為5μm-50μm，進(jìn)一步優(yōu)選為5μm-30μm，特別優(yōu)選為15μm-30μm。通過使保護(hù)膜的厚度為1μm以上，可以在剝離保護(hù)膜的同時，在將感光性樹脂層和支持膜層壓到基板上時抑制保護(hù)膜破裂。此外，通過使其為100μm以下，提高了生產(chǎn)率。[制造方法]本發(fā)明的感光性元件例如可以通過包含如下工序的制造方法進(jìn)行制造，所述工序?yàn)椋簩?A)粘合劑聚合物、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑和(D)增感色素等組分溶解于有機(jī)溶劑中，形成涂布液；將上述涂布液涂布于支撐體上形成涂布層；干燥上述涂布層形成感光性樹脂層。上述涂布液向支撐體上的涂布可以通過輥涂機(jī)、缺角輪涂布機(jī)、凹版涂布機(jī)、氣刀涂布機(jī)、口模式涂布機(jī)、刮條涂布機(jī)和噴涂機(jī)等公知的方法來進(jìn)行。涂布層的干燥只要是從涂布層除去至少部分有機(jī)溶劑即可，沒有特別限制。例如可以在70-150℃進(jìn)行5-30分鐘左右。為防止后續(xù)工序中有機(jī)溶劑的擴(kuò)散，干燥后感光性樹脂層中的殘存有機(jī)溶劑量優(yōu)選在2質(zhì)量％以下。感光性元件中的感光性樹脂層的厚度可根據(jù)用途而適當(dāng)選擇，以干燥后的厚度計優(yōu)選為1μm-200μm，更優(yōu)選為5μm-100μm，特別優(yōu)選為10-50μm。通過使其厚度為1μm以上，工業(yè)涂布容易、生產(chǎn)率提高。當(dāng)其為200μm以下時，具有能夠充分獲得本發(fā)明的效果、光靈敏度高、抗蝕劑底部的光固化性優(yōu)異的傾向。根據(jù)需要，本發(fā)明的感光性元件可以進(jìn)一步具有緩沖層、粘接層、光吸收層、或阻氣層等中間層等。本發(fā)明的感光性元件的形態(tài)沒有特別限制。例如可以為片狀、或者可以為在卷芯上卷繞成輯狀的形狀。卷繞成輥狀的情況下，優(yōu)選按照支持膜成為外側(cè)的方式進(jìn)行卷繞。作為卷芯，可以列舉出例如聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂或ABS(丙烯腈-丁二烯一苯乙烯共聚物)等塑料。從保護(hù)端面的立場出發(fā)，優(yōu)選在這樣獲得的輥狀感光性元件輥的端面設(shè)置端面隔板，從耐熔邊的立場出發(fā)，優(yōu)選設(shè)置防濕端面隔板。此外，作為捆包方法，優(yōu)選包入透濕性小的黑鋼板(Blacksheet)中進(jìn)行包裝。本發(fā)明的感光性元件可適用于例如后述的抗蝕圖形的制造方法中?！纯刮g圖形的制造方法〉本發(fā)明的抗蝕圖形的制造方法具有：(i)在基板上形成來自于上述感光性樹脂組合物的感光性樹脂層的感光性樹脂層形成工序、(ii)對上述感光性樹脂層的至少一部分照射活性光線而使曝光部光固化的曝光工序、(iii)通過顯影從基板上除去上述感光性樹脂層的未固化部分的顯影工序。根據(jù)需要，還可包含其它工序。(i)感光性樹脂層形成工序在感光性樹脂層形成工序中，在基板上形成來自于上述感光性樹脂組合物的感光性樹脂層。作為上述基板沒有特別限制，通常可以使用具有絕緣層和形成于絕緣層上的導(dǎo)體層的電路形成用基板、或合金基材等下墊板(引線杠用基材)。作為在基板上形成感光性樹脂層的方法，例如可以是，在上述感光性元件具有保護(hù)膜的情況下，除去保護(hù)膜，然后將感光性元件的感光性樹脂層在加熱的同時壓接在電路形成用基板上。由此，獲得由電路形成用基板、感光性樹脂層和支撐體依序構(gòu)成的疊層體。從密合性和追隨性的立場出發(fā)，該感光性樹脂層形成工序優(yōu)選在減壓條件下進(jìn)行。壓接時的加熱優(yōu)選70-130℃的溫度下進(jìn)行。此外，壓接優(yōu)選在0.1-1.0MPa左右(1-10kgf/cm2左右)的壓力下進(jìn)行。這些條件可以根據(jù)需要適當(dāng)選擇。此外，將感光性樹脂層加熱至70-130℃時，預(yù)先對電路形成用基板進(jìn)行預(yù)熱處理并非必須的，但為了進(jìn)一步提高密合性和追隨性，也可以進(jìn)行電路形成用基板的預(yù)熱處理。(ii)曝光工序曝光工序中，通過對形成于基板上的感光性樹脂層的至少一部分照射活性光線，使被活性光線照射的曝光部光固化，形成潛像。此時，在存在于感光性樹脂層上的支撐體(支持膜)對活性光線為透過性的情況下，可以透過支持膜照射活性光線，當(dāng)支持膜為遮光性的情況下，除去支持膜后對感光性樹脂層照射活性光線。作為曝光方法，可以列舉出隔著被稱為布線圖(ARTWORK)的負(fù)或正掩模圖形將活性光線呈圖像狀地照射的方法(掩模曝光法)。此外，也可以采用通過LDI(LaserDirectImaging，激光直接成像)曝光法、DLP(DigitalLightProcessing，數(shù)字光學(xué)處理)曝光法等直接描畫曝光法將活性光線呈圖像狀地照射的方法。作為活性光線的光源，使用公知的光源，例如碳弧燈、汞蒸氣弧燈、超高壓示燈、高壓示燈、氙燈、氬氣激光等氣體激光、YAG激光等固體激光、半導(dǎo)體激光和氮化鎵系藍(lán)紫色激光等有效放射出紫外線的光源。此外，還可以使用照相用泛光燈、日光燈等有效放射出可見光的光源。本發(fā)明的感光性樹脂組合物對活性光線的光源種類沒有特別限制，優(yōu)選采用直接描畫曝光法。(iii)顯影工序在顯影工序中，通過顯影從基板上除去上述感光性樹脂層的未固化部分，從而在基板上形成由上述感光性樹脂層光固化后的固化物構(gòu)成的抗蝕圖形。在感光性樹脂層上存在支持膜的情況下，除去支持膜后，進(jìn)行上述曝光部分以外的未曝光部分的除去(顯影)。顯影方法有濕式顯影和干式顯影。濕式顯影的情況下，使用與感光性樹脂組合物相對應(yīng)的顯影液，通過公 知的顯影方法進(jìn)行顯影。作為顯影方法可以列舉出使用浸漬方式、攪拌方式、噴霧方式、刷洗方式、拍打方式、刮涂、搖動浸漬等的方法，從提高析像度的觀點(diǎn)出發(fā)，高壓噴霧方式最為適合。也可以將上述方法中的兩種以上組合進(jìn)行顯影。顯影液的構(gòu)成可根據(jù)上述感光性樹脂組合物的構(gòu)成而適當(dāng)選擇?？梢粤信e出例如堿性水溶液、水系顯影液和有機(jī)溶劑系顯影液。堿性水溶液用作顯影液時，安全且穩(wěn)定，操作性也良好。作為堿性水溶液中的堿，可以使用例如鋰、鈉或鉀的氫氧化物等氫氧化堿，鋰、鈉、鉀或氨的碳酸鹽或碳酸氫鹽等碳酸堿，磷酸堿、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽，焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽。作為顯影中使用的堿性水溶液，優(yōu)選0.1-5質(zhì)量％碳酸鈉稀溶液、0.1-5質(zhì)量％碳酸鈉稀溶液、0.1-5質(zhì)量％氫氧化鈉溶液、0.1-5質(zhì)量％四硼酸鈉稀溶液等。此外，顯影中使用的堿性水溶液的pH優(yōu)選處于9-11的范圍，其溫度可根據(jù)感光性樹脂層的顯影性進(jìn)行調(diào)節(jié)。此外，堿性水溶液中還可以混入表面活性劑、消泡劑、少量用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑等。水系顯影液例如為由水或堿性水溶液和1種以上的有機(jī)溶劑構(gòu)成的顯影液。此處，作為堿性水溶液的堿，除前述物質(zhì)以外，還可以列舉出例如硼砂、硅酸鈉、四甲基氫氧化銨、乙醇胺、乙二胺、二亞乙基三胺、2-氨基-2-羥甲基-1，3-丙二醇、1，3-二氨基丙醇-2和嗎琳。水系顯影液的pH宜在能夠充分顯影的范圍內(nèi)盡量小，優(yōu)選設(shè)為pH8-12，更優(yōu)選設(shè)為pH9-10。作為水系顯影液中使用的有機(jī)溶劑，可以列舉出例如3-丙酮醇、丙酮、乙酸乙酯、具有碳原子數(shù)1-4的烷氧基的烷氧基乙醇、乙醇、異丙醇、丁醇、 二乙二醇單甲酯、二乙二醇單乙醚和二乙二醇單丁醚。這些可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。水系顯影液中的有機(jī)溶劑的濃度通常優(yōu)選設(shè)為2-90質(zhì)量％，其濃度可根據(jù)顯影性進(jìn)行調(diào)整。水系顯影液中還可少量混入表面活性劑、消泡劑等。作為有機(jī)溶劑系顯影液，可以列舉出例如1，1，1-三氯乙烷、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、環(huán)己酮、甲基異丁酮和γ-丁內(nèi)酯。為防止起火，優(yōu)選在這些有機(jī)溶劑中以1-20質(zhì)量％的范圍添加水。在本發(fā)明中，在顯影工序中除去未曝光部分后，還可以根據(jù)需要進(jìn)行60-250℃左右的加熱或0.2-10J/cm2左右的曝光從而將抗蝕圖形進(jìn)一步固化?！从∷⒕€路板的制造方法〉本發(fā)明的印刷線路板的制造方法，包含對形成有抗蝕圖形的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻處理或鍍敷處理，從而形成導(dǎo)體圖形的工序。根據(jù)需要，還包括抗蝕劑除去工序等其它工序。本發(fā)明的感光性樹脂組合物可適用于抗蝕圖形的制造，其中，更適合用于通過鍍敷處理形成導(dǎo)體圖形的制造方法。蝕刻處理中，以形成于基板上的抗蝕圖形作為掩模，將未被抗蝕劑覆蓋的電路形成用基板的導(dǎo)體層蝕刻除去，從而形成導(dǎo)體圖形。蝕刻處理的方法可以根據(jù)需要除去的導(dǎo)體層而適當(dāng)選擇。例如，作為蝕刻液可以列舉出氧化銅溶液、氧化鐵溶液、堿蝕刻溶液、過氧化氫系蝕刻液。另一方面，鍍敷處理中，以形成于基板上的抗蝕圖形為掩模，在未被抗蝕劑覆蓋的電路形成用基板的導(dǎo)體層上鍍覆銅和焊錫等。鍍敷處理后，除去固化抗蝕劑，再蝕刻被該抗蝕劑覆蓋的導(dǎo)體層，從而形成導(dǎo)體圖形。作為鍍敷處理的方法，既可以是電鍍處理，也可以是無電解鍍覆處理，優(yōu)選 無電解鍍覆處理。作為無電解鍍覆處理，可以列舉出例如硫酸銅鍍敷和焦磷酸銅鍍敷等銅鍍敷、高均勻焊錫(high-throwsolder)鍍敷等焊錫鍍敷、瓦特浴(硫酸鎳-氯化鎳)鍍敷和氨基磺酸鎳鍍敷等鎳鍍敷、硬質(zhì)金鍍敷和軟質(zhì)金鍍敷等金鍍敷。上述蝕刻處理或鍍敷處理后，基板上的抗蝕圖形被除去?？刮g圖形的除去例如可以通過比上述顯影工序所用的堿性水溶液堿性更強(qiáng)的水溶液來進(jìn)行剝離。作為該強(qiáng)堿性的水溶液，可以使用例如1-10質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液，優(yōu)選使用1-5質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液。作為抗蝕圖形的剝離方式可以列舉出例如浸漬方式和噴霧方式，這些可以單獨(dú)使用，也可以并用。在實(shí)施鍍敷處理后除去抗蝕圖形的情況下，還可以通過蝕刻處理對被抗蝕劑覆蓋的導(dǎo)體層進(jìn)行蝕刻，形成導(dǎo)體圖形，從而可以制造期望的印刷線路板。此時的蝕刻處理的方法可以根據(jù)需要除去的導(dǎo)體層而適當(dāng)選擇。例如可以應(yīng)用上述蝕刻液。根據(jù)本發(fā)明的印刷線路板的制造方法而制造的印刷線路板，不僅能適用于單層印刷線路板的制造，而且還能夠適用于多層印刷線路板的制造，此外，還能夠適用于具有小直徑通孔的印刷線路板等的制造?！匆€框的制造方法〉本發(fā)明的引線框的制造方法，包括：對形成有抗蝕圖形的基板進(jìn)行鍍敷處理從而形成導(dǎo)體圖形的工序。根據(jù)需要，還包括抗蝕劑除去工序、蝕刻處理工序等其它工序。作為上述基板，使用例如合金基材等下墊板(引線框用基材)作為基板。在本發(fā)明中，以形成于基板上的抗蝕圖形為掩模，在基板上進(jìn)行鍍敷處理。作為鍍敷處理的方法，可以列舉出在前述印刷線路板的制造方法中說明的方法。上述鍍敷處理后，基板上的抗蝕圖形被除去。抗蝕圖形的除去例如可以通過比上述顯影工序中使用的堿性水溶液堿性更強(qiáng)的水溶液來進(jìn)行剝離。作為該強(qiáng)堿性的水溶液，可以列舉出前述印刷線路板的制造方法中說明的水溶液。作為抗蝕圖形的剝離方式可以列舉出浸漬方式、噴霧方式等，這些可以單獨(dú)使用也可以并用。除去抗蝕圖形后，進(jìn)一步進(jìn)行蝕刻處理除去不要的金屬層，從而可以制造引線框。實(shí)施例以下通過實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明，但不應(yīng)將其理解為對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制。此外，只要沒有特別聲明，“份”和“％”均為質(zhì)量基準(zhǔn)。[實(shí)施例1-4、比較例1-4]〈粘合劑聚合物(A-1)的合成〉將作為共聚單體的125g甲基丙烯酸、275g甲基丙烯酸甲酯和100g苯乙烯與1.0g偶氮二異丁腈混合，制備溶液a。在甲基溶纖劑60g和甲苯40g的配合液中溶解1.0g偶氮二異丁腈，制備溶液b。在具備攪拌機(jī)、回流冷凝器、溫度計、滴液漏斗和氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中，加入甲基溶纖劑和甲苯的質(zhì)量比為6∶4的配合物400g，邊吹入氮?dú)膺厰嚢瑁訜嶂?0℃。向其中用4小時滴加上述溶液a后，邊攪拌邊在80℃下保溫2小時。接著，用10分鐘向該燒瓶內(nèi)的溶液中滴加上述溶液b后，邊攪拌燒瓶內(nèi)的溶液邊在80℃下保溫3小時。進(jìn)而用30分鐘將燒瓶內(nèi)的溶液升溫至90℃，在90℃下 保溫2小時后冷卻，獲得粘合劑聚合物(A-1)的溶液。在該粘合劑聚合物(A-1)的溶液中加入丙酮，調(diào)制成不揮發(fā)成分(固體成分)為50質(zhì)量％?！凑澈蟿┚酆衔?A-2)的合成〉將作為共聚單體的125g甲基丙烯酸、25g甲基丙烯酸甲酯、125g甲基丙烯芐酯和225g苯乙烯與1.5g偶氮二異丁腈混合，制備溶液c。在甲基溶纖劑60g和甲苯40g的配合液中溶解1.2g偶氮二異丁腈，制備溶液d。在具備攪拌機(jī)、回流冷凝器、溫度計、滴液漏斗和氮?dú)鈱?dǎo)入管的燒瓶中，加入甲基溶纖劑和甲苯的質(zhì)量比為6∶4的配合物400g，邊吹入氮?dú)膺厰嚢?，加熱?0℃。用4小時向其中滴加上述溶液c后，邊攪拌邊在80℃下保溫2小時。接著，用10分鐘向該燒瓶內(nèi)的溶液中滴加上述溶液d后，邊攪拌燒瓶內(nèi)的溶液邊在80℃下保溫3小時。進(jìn)而用30分鐘將燒瓶內(nèi)的溶液升溫至90℃，在0℃下保溫2小時后冷卻，獲得粘合劑聚合物(A-2)的溶液。在該粘合劑聚合物(A-2)的溶液中加入丙酮，調(diào)制成不揮發(fā)成分(固體成分)為50質(zhì)量％。粘合劑聚合物(A-1)的重均分子量為60000，酸值為163mgKOH/g。粘合劑聚合物(A-2)的重均分子量為50000，酸值為163mgKOH/g。重均分子量是通過凝膠滲透色譜法測定并使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯校正曲線進(jìn)行換算而得出的，GPC的條件如以下所示。-GPC條件泵：日本島津公司LC-20AD型色譜柱：GPCKF-803(日本島津公司)洗提液：四氫呋喃測定溫度：25℃流量：1mL/min檢測器：RID-10A?！锤泄庑詷渲M合物的調(diào)制〉按照表1中所示的比例，配制實(shí)施例1-4和比較例1-4的感光性樹脂組合物。表中的數(shù)值表示配合份數(shù)(質(zhì)量基準(zhǔn))。此外，組分(A)和(B)是以固體成分計的質(zhì)量。表1上表中的各成分如下所示。-(A)粘合劑聚合物-A1：甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯＝25/55/20(重量比)，重均分子量＝60000，50質(zhì)量％溶液；A2：甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸芐酯/苯乙烯＝25/5/25/45(重量比)，重均分子量＝50000，50質(zhì)量％溶液。-(B)光聚合性化合物-B1：通式(1)化合物，其中n＝0、R8為甲基；B2：三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(TMPO)；B3：2，2-雙(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷；B4：乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(ETPTA)；B5：三(甲基丙烯酰氧基四乙二醇異氨酸酯六亞甲基)異氰脲酸酯。-(C)光聚合引發(fā)劑-C1：2，2′-二(2-氯苯基)-4，4′，5，5′-四苯基-1，2′-二咪唑(BCIM)。-(D)增感色素-D4：4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。〈感光性元件的調(diào)制〉將上述感光性樹脂組合物分別均勻涂布于厚度為16μm的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人(株)制，制品名“HTF01”)上，通過100℃的熱風(fēng)對流式干燥機(jī)干燥10分鐘，形成了干燥后的膜厚為10μm的感光性樹脂層。在該感光性樹脂層上粘貼聚丙烯制保護(hù)膜(王子制紙(株)制，制品名E200C)獲得依次疊層了聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(支持膜)、感光性樹脂層和保護(hù)膜的感光性元件?！疮B層體的制作〉使用具有相當(dāng)于#600的刷子的研磨機(jī)(三啟(株)制)，對兩面疊層了厚度為12μm的銅箔的玻璃環(huán)氧材料即覆銅疊層板(基板，日立化成工業(yè)(株)制，制品名“MCL-E-67”)的銅表面進(jìn)行研磨，水洗，然后通過空氣流進(jìn)行干燥。將研磨后的覆銅疊層板加熱到80℃，在剝離保護(hù)膜的同時，以便感光性樹脂層接觸銅表面的方式層壓上述獲得的感光性元件。層壓使用110℃的熱輥以0.40MPa的壓接壓力、1.5m/min的輥速度進(jìn)行。由此分別獲得了依次疊層覆銅疊層板、感光性樹脂層、支持膜的疊層體。獲得的疊層體在以下所示的試驗(yàn)中用作試驗(yàn)片?！丛u價〉(光靈敏度的測定試驗(yàn))在上述獲得的試驗(yàn)片的支持膜上，設(shè)置日立41段階段式曝光表，使用以波長355nm的半導(dǎo)體激光為光源的直接描畫曝光裝置(日本OrbotechLtd.制，商品名Paragon-9000m)以規(guī)定的能量曝光。接著，剝離支持膜，噴射30℃的1.0質(zhì)量％碳酸鈉水溶液45s，除去未曝光部分，進(jìn)行顯影處理。顯影處理后，測定覆銅疊層板上形成的光固化膜的階段曝光表的段數(shù)，求出顯影后的殘存階段段數(shù)為17.0段的能量量(mJ/cm2)。就感光性樹脂組合物的光靈敏度而言，上述能量(mJ/cm2)越少則表示光靈敏度越高。結(jié)果示于表2。(密合性和析像度的評價)在上述獲得的試驗(yàn)片的支撐體膜上，使用作為析像度評價用圖形的具有線寬/空隙寬為5/5-47/47(單位：μm)的布線圖形的描畫數(shù)據(jù)，以日立41段階段曝光表的顯影后殘存階段段數(shù)為17.0的能量進(jìn)行曝光。曝光后進(jìn)行與上述光靈敏度測定試驗(yàn)同樣的顯影處理。顯影處理后，使用光學(xué)顯微鏡觀察抗蝕圖形。在抗蝕圖形的空隙部分(未曝光部)完全被除去且線部分(曝光部)未產(chǎn)生扭曲、缺損而形成的抗蝕圖形中，確定線寬間的空隙寬最小的抗蝕圖形，作為密合性(μm)和析像度(μm)進(jìn)行評價。該數(shù)值越小則表示密合性和析像度越良好。結(jié)果示于表2。(蓋孔可靠性的評價)在以7mm的間隙在0.4mm厚的覆銅疊層板上開有直徑1mm圓孔的覆銅 疊層板上，在其兩面層壓上述獲得的感光性元件，以日立41段階段式曝光表的顯影后殘存階段段數(shù)為17.0的能量量進(jìn)行曝光。曝光后，使用與光靈敏度的測定試驗(yàn)同樣的顯影液，噴射30秒鐘進(jìn)行顯影處理。顯影后，測定總計320個圓孔中的破裂的感光性元件個數(shù)(個)，根據(jù)下述數(shù)學(xué)式計算蓋孔破裂率，將其作為蓋孔可靠性。結(jié)果示于表2。蓋孔破裂率＝(孔破裂數(shù)/320)*100表2如表2所示，由實(shí)施例1-4的感光性樹脂組合物調(diào)制的感光性元件與比較例1-4相比，顯示出光靈敏度、蓋孔可靠性、密合性和析像度明顯更為優(yōu)異的特性。特別是，雖然比較例2使用了具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物作為(B)組分，但未使用吡唑啉化合物作為組分(D)增感色素，結(jié)果是，與實(shí)施例1和2相比，其不僅光靈敏度差而且蓋孔可靠性也差。由上可知，實(shí)施例1-4的感光性樹脂組合物在利用直接描畫曝光法的蝕刻工藝中能夠形成光靈敏度、蓋孔可靠性、密合性和析像度優(yōu)異的印刷線路 板。[實(shí)施例5-9]實(shí)施例5-9分別以D5-D9作為組分(D)增感色素以替代實(shí)施例1中的D1，其它條件不變。然后參照實(shí)施例1記載的方法制作感光性樹脂組合物、感光性元件和疊層體，并采用相同方法進(jìn)行評價。結(jié)果如表3所示。表3D5-D9的結(jié)構(gòu)如下所示：如表3中所示，當(dāng)增感色素選用吡唑啉(特別是相當(dāng)于通式(a)或(b)的化合物)的情況下，感光性樹脂組合物同樣顯示出光靈敏度、蓋孔可靠性、密合性和析像度優(yōu)異的特性。[實(shí)施例10-13]實(shí)施例10-13分別以B6-B9替代實(shí)施例2中的B1，其它條件不變，然后參照實(shí)施例2記載的方法制作感光性樹脂組合物、感光性元件和疊層體，并采用相同方法進(jìn)行評價。結(jié)果如表4所示。表4B實(shí)施例10實(shí)施例11實(shí)施例12實(shí)施例13B610B710B810B910光靈敏度(mJ/cm2)35355050密合性(μm)15141511晰像度(μm)15141511蓋孔破裂率(％)0000表4中，B6：通式(1)化合物，其中n＝1、A為乙基、R8為甲基。B7：通式(1)化合物，其中n＝5、A為乙基、R8為甲基。B8：通式(1)化合物，其中n＝1、A為丙基、R8為甲基。B9：通式(1)化合物，其中n＝5、A為丙基、R8為甲基。如表4所示，盡管對具有來自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物作了改變，但在均屬于通式(1)所示結(jié)構(gòu)范疇的前提下，感光性樹脂組合物同樣顯示出光靈敏度、蓋孔可靠性、密合性和析像度優(yōu)異的特性。當(dāng)前第1頁1 2 3