技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種套刻精度的自動(dòng)補(bǔ)值方法及裝置，該方法包括：獲取每批正常檢測(cè)器件的關(guān)于關(guān)鍵尺寸的數(shù)據(jù)；根據(jù)曝光機(jī)的當(dāng)前工藝條件，對(duì)所獲取的每批關(guān)鍵尺寸數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，以獲得套刻精度的補(bǔ)值數(shù)據(jù)；將所獲得的補(bǔ)值數(shù)據(jù)自動(dòng)反饋給曝光機(jī)以對(duì)套刻精度進(jìn)行補(bǔ)值。

技術(shù)研發(fā)人員：劉健行;黃章詠;吳韋良
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海和輝光電有限公司
文檔號(hào)碼：201510155575
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.02
技術(shù)公布日：2016.11.23