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狹縫式涂布機及其狹縫調整方法與流程

文檔序號:11826613閱讀:4372來源:國知局
狹縫式涂布機及其狹縫調整方法與流程

本發(fā)明涉及顯示器制造技術領域,尤其涉及一種狹縫式涂布機及其狹縫調整方法。



背景技術:

隨著顯示技術的發(fā)展,液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)等平面顯示裝置因具有高畫質、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點,而被廣泛的應用于手機、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產品,成為顯示裝置中的主流。

通常液晶顯示面板由彩膜基板(CF,Color Filter)、薄膜晶體管基板(TFT,Thin Film Transistor)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LC,Liquid Crystal)及密封膠框(Sealant)組成,其成型工藝一般包括:前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板與CF基板貼合)及后段模組組裝制程(驅動IC與印刷電路板壓合)。其中,前段Array制程主要是形成TFT基板,以便于控制液晶分子的運動;中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶;后段模組組裝制程主要是驅動IC壓合與印刷電路板的整合,進而驅動液晶分子轉動,顯示圖像。

在目前的液晶顯示面板等平板顯示裝置的生產過程中,常常要用到涂布機在基板上涂布光阻,以進行圖案化制程。如圖1及圖2所示,目前最常用的涂布機為狹縫式涂布機,其包括:狹縫噴嘴,所述狹縫噴嘴包括:第一噴嘴分體1、及與所述第一噴嘴分體1固定連接的第二噴嘴分體2,所述第一噴嘴分體1與所述第二噴嘴分體2相對設置且之間形成有狹縫4,在所述第一噴嘴分體1與所述第二噴嘴分體2上的沿所述狹縫4的延伸方向均設有多個調整螺栓3,所述第一噴嘴分體1與所述第二噴嘴分體2上的調整螺栓3的位置一一對應,所述調整螺栓3用于調整狹縫4的寬度,進而提升涂布的均一性。通過擰緊調整螺栓3或擰松調整螺栓3來調整狹縫4的寬度,目前對于調整螺栓3的擰緊或擰松都是操作人員使用六角扳手進行手動調整的,調整時,操作人員一邊扭動調整螺栓3一邊通過千分表監(jiān)控第一噴嘴分體1或第二噴嘴分體2下端的形變量,確定調整量級,隨后再通過膜厚測量機,對調整后涂布機涂布的材料膜厚進行測量,以檢查調整是否成功,反復多次直至調整成功,這種方法要求調整人員經(jīng)驗較高,對于手法有較高要求,僅部分經(jīng)培訓人員能夠實施,且單次調整的所需耗時較久,同時調整后很難復歸原樣,前后調整對比的可對比性較小,尤其產品的尺寸出現(xiàn)變化時,此時普通操作員的手動調整很難達到生產需要的精度,必須要涂布機廠商的專業(yè)人員進行現(xiàn)場調整,需要耗費大量人力物力,且涂布機廠商的專業(yè)人員不到位就無法調整,嚴重影響正常的生產進程,靈活性較差。



技術實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種狹縫式涂布機,能夠實現(xiàn)狹縫寬度的自動調整,降低狹縫寬度的調整難度,提升狹縫寬度的調整速度。

本發(fā)明的目的還在于提供一種狹縫式涂布機的狹縫調整方法,能夠實現(xiàn)狹縫寬度的自動調整,降低狹縫寬度的調整難度,提升狹縫寬度的調整速度。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種狹縫式涂布機,包括:具有狹縫的噴嘴、設于所述噴嘴上的沿所述噴嘴的狹縫的延伸方向排列的多個調整螺栓、與所述多個調整螺栓相連的傳動機構、以及與所述傳動機構相連的狹縫調整馬達;

狹縫調整時,通過狹縫調整馬達經(jīng)由傳動機構傳遞旋轉力至調整螺栓上使得調整螺栓旋轉,以調整噴嘴的狹縫寬度。

所述傳動機構包括:分別與所述多個調整螺栓相連的多個從動軸、設于所述多個從動軸的上方的與所述狹縫調整馬達相連的主動軸、分別設于所述主動軸的兩端的兩個平行的滑軌、與所述主動軸的一端相連的壓合汽缸、以及分別與兩滑軌相連的兩升降汽缸;;

所述主動軸上設有多個螺旋齒部,每一個從動軸遠離所述調整螺栓的一端均設有一蝸輪,每一個蝸輪對應一個螺旋齒部;

所述多個從動軸的軸向長度均不相同,所述從動軸的軸線與所述調整螺栓的軸線沿同一方向延伸,所述從動軸的軸線與所述主動軸的軸線相互垂直;

狹縫調整時,所述壓合汽缸松開主動軸,所述升降汽缸帶動所述主動軸沿所述滑軌滑動,使得主動軸到達需要調整的從動軸所在的位置,并使得所述主動軸上對應的螺旋齒部與該從動軸上的蝸輪嚙合,隨后壓合汽缸壓合主動軸使主動軸固定,狹縫調整馬達帶動主動軸軸向旋轉,主動軸的旋轉力經(jīng)由蝸輪和從動軸傳遞到調整螺栓上,使得調整螺栓旋轉,以調整噴嘴的狹縫寬度。

所述多個從動軸的軸向長度沿所述噴嘴的狹縫的延伸方向逐漸增大。

所述狹縫調整馬達通過一輔助軸與所述主動軸相連,所述狹縫調整馬達與輔助軸之間通過蝸輪蝸桿進行傳動,所述輔助軸與所述主動軸之間通過一對螺旋傘齒輪進行傳動,所述輔助軸的軸線與所述主動軸的軸線垂直。

所述噴嘴包括:第一噴嘴分體、以及與所述第一噴嘴分體相對設置并固定連接的第二噴嘴分體,所述噴嘴的狹縫形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間。

本發(fā)明還提供一種狹縫式涂布機的狹縫調整方法,包括如下步驟:

步驟1、提供一狹縫式涂布機,包括:具有狹縫的噴嘴、設于所述噴嘴上的沿所述噴嘴的狹縫的延伸方向排列的多個調整螺栓、與所述多個調整螺栓相連的與所述多個調整螺栓相連的傳動機構、以及與所述傳動機構相連的狹縫調整馬達;

步驟2、所述狹縫調整馬達通過傳動機構帶動調整螺栓旋轉,從而調整噴嘴的狹縫寬度;

步驟3、進行涂布試驗,檢測調整后涂布機涂布的薄膜厚度是否合格,若合格則結束,若不合格則返回步驟2。

所述傳動機構包括:分別與所述多個調整螺栓相連的多個從動軸、設于所述多個從動軸的上方的與所述狹縫調整馬達相連的主動軸、分別設于所述主動軸的兩端的兩個平行的滑軌、與所述主動軸的一端相連的壓合汽缸、以及分別與兩滑軌相連的兩升降汽;

所述主動軸上設有多個螺旋齒部,每一個從動軸遠離所述調整螺栓的一端均設有一蝸輪,每一個螺旋齒部對應一個蝸輪;

所述多個從動軸的軸向長度均不相同,所述從動軸的軸線與所述調整螺栓的軸線沿同一方向延伸,所述從動軸的軸線與所述主動軸的軸線相互垂直;

所述步驟2具體包括:

步驟21、確定需要調整的從動軸所在的位置,所述壓合汽缸松開主動軸,所述升降汽缸帶動所述主動軸沿所述滑軌滑動,使得主動軸到達需要調整的從動軸所在的位置,并使得所述主動軸上對應的螺旋齒部與該從動軸上的蝸輪嚙合,隨后壓合汽缸壓合主動軸使主動軸固定;

步驟22、所述狹縫調整馬達帶動所述主動軸軸向旋轉,主動軸的旋轉力經(jīng)由蝸輪和從動軸傳遞到調整螺栓上,使得調整螺栓旋轉,從而調整噴嘴的狹縫寬度。

所述多個從動軸的軸向長度沿所述噴嘴的狹縫的延伸方向逐漸增大。

所述狹縫調整馬達通過一輔助軸與所述主動軸相連,所述狹縫調整馬達與輔助軸之間通過蝸輪蝸桿進行傳動,所述輔助軸與所述主動軸之間通過一對螺旋傘齒輪進行傳動,所述輔助軸的軸線與所述主動軸的軸線垂直。

所述噴嘴包括:第一噴嘴分體、以及與所述第一噴嘴分體相對設置并固定連接的第二噴嘴分體,所述噴嘴的狹縫形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間。

本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供了一種狹縫式涂布機,該狹縫式涂布機在每一個調整螺栓上均設有從動軸,并在從動軸上方設置主動軸,通過馬達驅動主動軸旋轉,主動軸再帶動從動軸旋轉實現(xiàn)對調整螺栓的扭轉,整個調整過程均由馬達控制完成,無需人工手動操作,調整速度快,可控性強,準確率高,能夠實現(xiàn)量化操作和實時操作,不受工人技術水平的制約。本發(fā)明提供了一種狹縫式涂布機的狹縫調整方法,能夠實現(xiàn)狹縫寬度的自動調整,降低狹縫寬度的調整難度,提升狹縫寬度的調整速度。

附圖說明

為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術內容,請參閱以下有關本發(fā)明的詳細說明與附圖,然而附圖僅提供參考與說明用,并非用來對本發(fā)明加以限制。

附圖中,

圖1為現(xiàn)有的狹縫式涂布機的噴嘴的剖面圖;

圖2為現(xiàn)有的狹縫式涂布機的噴嘴的主視圖;

圖3為本發(fā)明的狹縫式涂布機的結構示意圖;

圖4為本發(fā)明的狹縫式涂布機的狹縫調整方法的流程圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術手段及其效果,以下結合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖3,本發(fā)明首先提供一種狹縫式涂布機,包括:具有狹縫的噴嘴10、設于所述噴嘴10上的沿所述噴嘴10的狹縫的延伸方向排列的多個調整螺栓20、與所述多個調整螺栓20相連的傳動機構、以及與所述傳動機構相連的狹縫調整馬達80;

狹縫調整時,通過狹縫調整馬達80經(jīng)由傳動機構傳遞旋轉力至調整螺栓上使得調整螺栓20旋轉,以調整噴嘴的狹縫寬度。

其中,所述傳動機構包括:分別與與所述多個調整螺栓20相連的多個從動軸30、設于所述多個從動軸30的上方的與所述狹縫調整馬達80相連的主動軸50、分別設于所述主動軸50的兩端的兩個平行的滑軌60、與所述主動軸50的一端相連的壓合汽缸70、以及分別與兩滑軌60相連的兩升降汽缸90;

所述主動軸50上設有多個螺旋齒部51,每一個從動軸30遠離所述調整螺栓20的一端均設有一蝸輪40,每一個螺旋齒部51對應一個蝸輪40;

所述多個從動軸30的軸向長度均不相同,所述從動軸30的軸線與所述調整螺栓20的軸線沿同一方向延伸,所述從動軸30的軸線與所述主動軸50的軸線相互垂直。

具體地,所述噴嘴10包括:第一噴嘴分體、以及與所述第一噴嘴分體相對設置并固定連接的第二噴嘴分體,所述噴嘴10的狹縫形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間,所述調整螺栓20設于第一噴嘴分體、或第二噴嘴分體、或成對設置于第一噴嘴分體和第二噴嘴分體上,通過擰緊所述調整螺栓20使第一噴嘴分體或第二噴嘴分體產生形變,從而擴大形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間狹縫,反之通過擰松所述調整螺栓20使第一噴嘴分體或第二噴嘴分體的形變減小,從而縮小形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間狹縫。也即,所述調整螺栓20上的力矩越大,所述噴嘴10的狹縫寬度越大。

進一步地,所述狹縫式涂布機在進行狹縫調整時,通過壓合汽缸70使主動軸50固定或松開,固定時,所述主動軸50不能沿所述滑軌60滑動,松開時,所述主動軸50能夠沿所述滑軌60滑動,所述滑軌60的延伸方向與所述主動軸50的軸線垂直。先通過壓合汽缸70使主動軸50松開,所述升降汽缸90帶動所述主動軸50沿所述滑軌60滑動,使得主動軸50到達需要調整的從動軸30所在的位置,并使得所述主動軸50上對應的螺旋齒部51與該從動軸30上的蝸輪40嚙合,再通過壓合汽缸70使主動軸固定,接著通過狹縫調整馬達80帶動主動軸50軸向旋轉,主動軸50的旋轉力經(jīng)由蝸輪40和從動軸30傳遞到調整螺栓20上,使得調整螺栓20旋轉,以調整噴嘴10的狹縫寬度。整個過程均由馬達控制完成,無需人工手動操作,對操作員的技術水平及操作經(jīng)驗的要求極低,且相比于人工調整,其單次調整速度也更快,尤其當產品的尺寸出現(xiàn)變化時,也可以通過馬達完成調整,無需再請求涂布機廠商的專業(yè)人員到生產現(xiàn)場調整,避免在調整時受制于涂布機廠商的專業(yè)人員,掌握生產的主動性,提升工作效率。而且,通過控制馬達的旋轉的方向和速度等方式,可以實現(xiàn)量化調整,單次調整速度快,無需反復確認,并且可以在調整后復歸原樣,調整準確性高。

優(yōu)選地,所述多個從動軸30的軸向長度沿所述噴嘴10的狹縫的延伸方向逐漸增大。

值得一提的是,所述狹縫調整馬達80通過一輔助軸82與所述主動軸50相連,所述狹縫調整馬達80與輔助軸82之間通過蝸輪蝸桿進行傳動,所述輔助軸82與所述主動軸50之間通過一對螺旋傘齒輪進行傳動,所述輔助軸82的軸線與所述主動軸50的軸線垂直。此外,所述狹縫調整馬達80還設有齒輪變速箱81,通過齒輪變速箱81優(yōu)化所述主動軸50旋轉并帶動調整螺栓20旋轉時的精度,實現(xiàn)高精度的調整。

基于上述狹縫式涂布機,請參閱圖4,本發(fā)明還提供一種狹縫式涂布機的狹縫調整方法,包括如下步驟:

步驟1、提供一狹縫式涂布機,包括:具有狹縫的噴嘴10、設于所述噴嘴10上的沿所述噴嘴10的狹縫的延伸方向排列的多個調整螺栓20、與所述多個調整螺栓20相連的傳動機構、以及與所述傳動機構相連的狹縫調整馬達80;

其中,所述傳動機構包括:分別與與所述多個調整螺栓20相連的多個從動軸30、設于所述多個從動軸30的上方的與所述狹縫調整馬達80相連的主動軸50、分別設于所述主動軸50的兩端的兩個平行的滑軌60、與所述主動軸50的一端相連的壓合汽缸70、以及分別與兩滑軌60相連的兩升降汽缸90;

所述主動軸50上設有多個螺旋齒部51,每一個從動軸30遠離所述調整螺栓20的一端均設有一蝸輪40,每一個螺旋齒部51對應一個蝸輪40;

所述多個從動軸30的軸向長度均不相同,所述從動軸30的軸線與所述調整螺栓20的軸線沿同一方向延伸,所述從動軸30的軸線與所述主動軸50的軸線相互垂直。

具體地,所述噴嘴10包括:第一噴嘴分體、以及與所述第一噴嘴分體相對設置并固定連接的第二噴嘴分體,所述噴嘴10的狹縫形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間,所述調整螺栓20設于第一噴嘴分體、或第二噴嘴分體、或成對設置于第一噴嘴分體和第二噴嘴分體上,通過擰緊所述調整螺栓20使第一噴嘴分體或第二噴嘴分體產生形變,從而擴大形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間狹縫,反之通過擰松所述調整螺栓20使第一噴嘴分體或第二噴嘴分體的形變減小,從而縮小形成于第一噴嘴分體與第二噴嘴分體之間狹縫。也即,所述調整螺栓20上的力矩越大,所述噴嘴10的狹縫寬度越大。

優(yōu)選地,所述多個從動軸30的軸向長度沿所述噴嘴10的狹縫的延伸方向逐漸增大。

步驟2、所述狹縫調整馬達80通過傳動機構帶動調整螺栓20旋轉,從而調整噴嘴10的狹縫寬度。

具體地,所述步驟2包括:步驟21、確定需要調整的從動軸30所在的位置,所述壓合汽缸70松開主動軸50,所述升降汽缸90帶動所述主動軸50沿所述滑軌60滑動,使得主動軸50到達需要調整的從動軸30所在的位置,并使得所述主動軸50上對應的螺旋齒部51與該從動軸30上的蝸輪40嚙合,隨后壓合汽缸70壓合主動軸50使主動軸50固定;

步驟22、所述狹縫調整馬達80帶動所述主動軸50軸向旋轉,主動軸50的旋轉力經(jīng)由蝸輪40和從動軸30傳遞到調整螺栓20上,使得調整螺栓20旋轉,從而調整噴嘴10的狹縫寬度。

具體地,所述狹縫調整馬達80通過一輔助軸82與所述主動軸50相連,所述狹縫調整馬達80與輔助軸82之間通過蝸輪蝸桿進行傳動,所述輔助軸82與所述主動軸50之間通過一對螺旋傘齒輪進行傳動,所述輔助軸82的軸線與所述主動軸50的軸線垂直。此外,所述狹縫調整馬達80還設有齒輪變速箱81,通過齒輪變速箱81優(yōu)化所述主動軸50旋轉并帶動調整螺栓20旋轉時的精度,實現(xiàn)高精度的調整。

值得一提的是,上述調整過程均由馬達控制完成,無需人工手動操作,對操作員的技術水平及操作經(jīng)驗的要求極低,且相比于人工調整,其單次調整速度也更快,尤其當產品的尺寸出現(xiàn)變化時,也可以通過馬達完成調整,無需再請求涂布機廠商的專業(yè)人員到生產現(xiàn)場調整,避免在調整時受制于涂布機廠商的專業(yè)人員,掌握生產的主動性,提升工作效率。而且,通過控制馬達的旋轉的方向和速度等方式,可以實現(xiàn)量化調整,單次調整速度快,無需反復確認,并且可以在調整后復歸原樣,調整準確性高。

步驟3、進行涂布試驗,檢測調整后涂布機涂布的薄膜厚度是否合格,若合格則結束,若不合格則返回步驟2。

可以理解的是,所述狹縫式涂布機的傳動機構也可為其他傳動設計,只要能夠實現(xiàn)將狹縫調整馬達80的旋轉力傳遞到調整螺栓20上即可。

綜上所述,本發(fā)明提供了一種狹縫式涂布機,該狹縫式涂布機在每一個調整螺栓上均設有從動軸,并在從動軸上方設置主動軸,通過馬達驅動主動軸旋轉,主動軸再帶動從動軸旋轉實現(xiàn)對調整螺栓的扭轉,整個過程調整過程由馬達控制完成,無需人工手動操作,調整速度快,可控性強,準確率高,能夠實現(xiàn)量化操作和實時操作,不受工人技術水平的制約。本發(fā)明提供了一種狹縫式涂布機的狹縫調整方法,能夠實現(xiàn)狹縫寬度的自動調整,降低狹縫寬度的調整難度,提升狹縫寬度的調整速度。

以上所述,對于本領域的普通技術人員來說,可以根據(jù)本發(fā)明的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形,而所有這些改變和變形都應屬于本發(fā)明權利要求的保護范圍。

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