亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

套刻精度的控制方法以及裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11826621

提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本申請涉及半導(dǎo)體制造工藝,尤其涉及一種套刻精度的控制方法及裝置。背景技術(shù)在當(dāng)前制造有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管面板AMOLED的工藝中,對套刻精度(Overlay(OL)精度)管理控制是這種AMOLED工藝的關(guān)鍵因素。傳統(tǒng)對OL的控制是通過分析統(tǒng)計過程控制圖(staticsprocesscontrolchart,SPCchart)進(jìn)行控制管理的。例如,如圖1所示,當(dāng)對正常檢測的面板進(jìn)行關(guān)鍵尺寸(CD)檢測時,如果監(jiān)控到該SPC圖中OL精度值存在異常,例如OL精度值存在OOC(outofcontroll...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)