一種顯示基板制造方法、系統(tǒng)及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及液晶顯示裝置生產(chǎn)的【技術(shù)領(lǐng)域】,公開了一種顯示基板的制造方法、系統(tǒng)及裝置。該制造方法包括:在通過多道工序制造所述顯示基板的過程中,在所述顯示基板上形成用于記錄工序進(jìn)度信息的標(biāo)記。本發(fā)明的有益效果為:通過在加工基板的工程中,形成記錄基板工序進(jìn)行信息的標(biāo)記,方便了解基板的加工信息,從而便于監(jiān)督基板的加工情況。
【專利說明】一種顯示基板制造方法、系統(tǒng)及裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及到液晶顯示裝置生產(chǎn)的【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及到一種顯示基板的制造方法、系統(tǒng)及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器制作過程中,均是由計(jì)算機(jī)生產(chǎn)控制系統(tǒng)按照既定的生產(chǎn)工序順序進(jìn)行生產(chǎn)。在 TN (Twisted Nematic,扭曲向列)模式及 AD-SDS (Advanced Super DimensionSwitch,高級(jí)超維場(chǎng)轉(zhuǎn)換,簡(jiǎn)稱ADS)模式的薄膜晶體管液晶顯示器中的彩膜基板的加工順序不同,以ADS模式的顯示基板為例,該彩膜基板在加工時(shí)包括以下工序:透明導(dǎo)電層工序、黑矩陣工序、彩色濾光片工序、隔墊物工序等,在顯示基板的制作工程中,計(jì)算機(jī)生產(chǎn)控制系統(tǒng)控制基板依次進(jìn)行上述工序的加工,并最終形成顯示基板。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷在于,如果計(jì)算機(jī)生產(chǎn)控制系統(tǒng)故障或者其他原因(如人為補(bǔ)賬),造成信息丟失混亂,無法得知基板加工的信息。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明提供了一種顯示基板制造方法、系統(tǒng)及裝置,用以方便觀測(cè)顯示基板加工時(shí)加工信息的了解。
[0005]本發(fā)明提供了一種顯示基板制造方法,該方法包括:
[0006]在通過多道工序制造所述顯示基板的過程中,在所述顯示基板上形成用于記錄工序進(jìn)度信息的標(biāo)記。
[0007]在上述技術(shù)方案中,通過在加工基板的工程中,形成記錄基板工序進(jìn)行信息的標(biāo)記,方便了解基板的加工信息,從而便于監(jiān)督基板的加工情況。
[0008]優(yōu)選的,所述標(biāo)記為進(jìn)度條,所述進(jìn)度條當(dāng)前的長(zhǎng)度和/或圖案對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息;或者,所述標(biāo)記為立體層疊結(jié)構(gòu),該立體層疊結(jié)構(gòu)的圖案和/或材質(zhì)對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息。通過不同的標(biāo)記的結(jié)構(gòu)記錄基板的進(jìn)度信息。
[0009]優(yōu)選的,所述當(dāng)前的工序進(jìn)度信息包括下列信息至少之一:當(dāng)前已完成的工序、當(dāng)前待進(jìn)行的工序、截止當(dāng)前已失敗或遺漏的工序。形成的標(biāo)記可以涵蓋不同的信息。
[0010]優(yōu)選的,所述方法還包括:
[0011]在至少一道工序的開始執(zhí)行之前,檢測(cè)所述標(biāo)記,
[0012]根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定開始執(zhí)行或者確定暫停工序并報(bào)警。通過檢測(cè)基板上的標(biāo)記,避免基板出現(xiàn)漏工序,提聞了顯不基板的生廣效率。
[0013]優(yōu)選的,所述方法還包括:在至少一道工序執(zhí)行完畢之后,檢測(cè)所述標(biāo)記,根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定是否暫停工序并報(bào)警。通過檢測(cè)基板上的標(biāo)記,避免基板出現(xiàn)漏工序,提高了顯不基板的生廣效率。
[0014]優(yōu)選的, 所述工序包括下列中一種或多種:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕、清洗、干燥、切割、除塵。基板在加工時(shí),可以包含不同的工序。[0015]優(yōu)選的,所述工序選自下列集合:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕;
[0016]所述標(biāo)記的至少部分是利用與該標(biāo)記當(dāng)前對(duì)應(yīng)的工序而形成。
[0017]優(yōu)選的,在基板上形成的標(biāo)記依照基板加工工序的排列順序排列。便于檢測(cè)標(biāo)記。
[0018]優(yōu)選的,所述警報(bào)包括聲音警報(bào)和/或燈光警報(bào)。可以通過不同的報(bào)警方式進(jìn)行報(bào)警。
[0019]本發(fā)明還提供了一種顯示基板控制系統(tǒng),該控制系統(tǒng)包括:
[0020]處理模塊:在基板進(jìn)入到工序加工時(shí),發(fā)出在基板上形成標(biāo)記的控制信號(hào)。
[0021 ] 在上述技術(shù)方案中,通過處理模塊控制在基板上形成標(biāo)記。方便標(biāo)記的形成。
[0022]優(yōu)選的,該控制系統(tǒng)還包括:
[0023]獲取模塊,獲取基板上形成的標(biāo)記;
[0024]所述處理模塊與所述獲取模塊信號(hào)連接,用于判斷是否按照設(shè)定條件檢測(cè)到標(biāo)記;若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)控制;
[0025]報(bào)警模塊:與所述處理模塊信號(hào)連接,在接收到報(bào)警控制時(shí)發(fā)出警報(bào)。
[0026]在上述技術(shù)方案中,通過控制系統(tǒng)的獲取模塊獲取檢測(cè)的基板上形成的標(biāo)記,并將結(jié)果發(fā)送給處理模塊,當(dāng)處理模塊判斷未檢測(cè)到標(biāo)記時(shí),則發(fā)出報(bào)警。從而避免了基板在生廣時(shí),漏掉加工工序,提聞了加工出的質(zhì)量,進(jìn)而提聞了顯不基板的生廣效率。
[0027]本發(fā)明還提供了一種顯示基板的生產(chǎn)裝置,該生產(chǎn)裝置包括:
[0028]標(biāo)記形成裝置,包括每道工序設(shè)備中用于在基板上進(jìn)行涂布的涂布裝置,以及與每個(gè)涂布裝置相對(duì)應(yīng)并用于對(duì)基板上涂布的材料曝光形成標(biāo)記的曝光裝置;
[0029]控制系統(tǒng),與所述標(biāo)記形成裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到工序加工時(shí),控制標(biāo)記形成裝置在基板上形成標(biāo)記。
[0030]在上述技術(shù)方案中,通過在加工基板的工程中,形成記錄基板工序進(jìn)行信息的標(biāo)記,從而便于監(jiān)督基板的加工情況。
[0031]優(yōu)選的,該生產(chǎn)裝置還包括:
[0032]檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記;
[0033]所述控制裝置與所述檢測(cè)裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到除首道工序外的工序時(shí),根據(jù)設(shè)定條件控制檢測(cè)裝置檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記,并判斷是否檢測(cè)到標(biāo)記,若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)。通過檢測(cè)基板在每道工序上形成的標(biāo)記,若未檢測(cè)到標(biāo)記,則發(fā)出警報(bào),避免了基板在加工時(shí),漏掉工序,進(jìn)而提聞了生廣出的顯不基板的質(zhì)量,提聞了顯不基板的生廣效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0034]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的顯示基板的制造流程圖;
[0035]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供加工完成的基板。
[0036]附圖標(biāo)記:
[0037]10-基板11-側(cè)邊沿20-標(biāo)記【具體實(shí)施方式】
[0038]為了方便監(jiān)督顯示基板的加工情況,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顯示基板制造方法、系統(tǒng)及裝置,在本發(fā)明的技術(shù)方案中,在每道工序中在基板上形成標(biāo)記,通過形成的標(biāo)記記錄基板加工的情況,從而便于監(jiān)督顯示基板的加工情況。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,以下以非限制性的實(shí)施例為例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0039]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顯示基板制造方法,該方法包括:
[0040]在通過多道工序制造顯示基板的過程中,在顯示基板上形成用于記錄工序進(jìn)度信息的標(biāo)記。
[0041]在上述技術(shù)方案中,通過在加工基板的工程中,形成記錄基板工序進(jìn)行信息的標(biāo)記,從而便于監(jiān)督基板的加工情況。由于每個(gè)標(biāo)記對(duì)應(yīng)一道工序的情況,因此,在形成的標(biāo)記中,可以觀測(cè)到基板在整個(gè)加工過程中的情況,如:出現(xiàn)漏工序等不良情況,可以通過直接觀測(cè)基板上形成的標(biāo)記即可看出。方便基板的檢測(cè)。從而方便對(duì)基板加工情況的監(jiān)督。
[0042]其中的工序包括下列中一種或多種:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕、清洗、干燥、切割、除塵?;逶诩庸r(shí),可以包含不同的工序。具體的,工序選自下列集合:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕;標(biāo)記的至少部分是利用與該標(biāo)記當(dāng)前對(duì)應(yīng)的工序而形成。在上述加工工序中形成標(biāo)記。
[0043]具體的,標(biāo)記為進(jìn)度條,進(jìn)度條當(dāng)前的長(zhǎng)度和/或圖案對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息;或者,標(biāo)記為立體層疊結(jié)構(gòu),該立體層疊結(jié)構(gòu)的圖案和/或材質(zhì)對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息。通過不同的標(biāo)記的結(jié)構(gòu)記錄基板的進(jìn)度信息。在采用進(jìn)度條時(shí),進(jìn)度條根據(jù)基板加工的工序的順序排列,從而根據(jù)進(jìn)度條的長(zhǎng)度以及個(gè)數(shù)來觀測(cè)基板上加工的情況,此外,在采用進(jìn)度條時(shí),進(jìn)度條可以通過采用不同的圖案或者長(zhǎng)度來標(biāo)識(shí)不同的工序,可以根據(jù)實(shí)際情況而定,此外,標(biāo)記還可以采用層疊結(jié)構(gòu)來記錄,即工序在基板上同一位置形成標(biāo)記,且形成的標(biāo)記層疊在一起,具體的,可以通過在工序形成不同的圖案來進(jìn)行記錄,如:從首道工序至尾道工序形成的標(biāo)記越來越小,從而使得直觀的看出層疊了幾層,以便獲取基板加工了幾個(gè)工序的信息,此外,還可以采用其他的圖案形成標(biāo)記,通過檢測(cè)形成的層疊的標(biāo)記的透光率獲取基板加工幾道工序的信息,可以根據(jù)不同的加工情況選擇不同的信息。
[0044]此外,當(dāng)前的工序進(jìn)度信息包括下列信息至少之一:當(dāng)前已完成的工序、當(dāng)前待進(jìn)行的工序、截止當(dāng)前已失敗或遺漏的工序。形成的標(biāo)記可以涵蓋不同的信息。通過在基板上形成不同的圖案,使得生成的標(biāo)記涵蓋不同的信息,如:在當(dāng)每道工序進(jìn)行良好時(shí),形成帶圓孔的圖案,當(dāng)在進(jìn)行的工序設(shè)備報(bào)警過,出現(xiàn)過故障時(shí),形成帶方形孔的圖案;或者形成帶圓孔的圖案,但該圖案的厚度低于正常工序形成的圖案的厚度,根據(jù)形成的標(biāo)記可以判斷出基板在該工序是否出現(xiàn)故障。具體的,在具有檢測(cè)裝置時(shí),可以通過檢測(cè)裝置檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記的圖案,從而實(shí)時(shí)監(jiān)督基板加工的情況。
[0045]作為一種優(yōu)選方案,該制造方法還包括:
[0046]在至少一道工序的開始執(zhí)行之前,檢測(cè)標(biāo)記,
[0047]根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定開始執(zhí)行或者確定暫停工序并報(bào)警。通過檢測(cè)基板上的標(biāo)記,避免基板出現(xiàn)漏工序,提聞了顯不基板的生廣效率。
[0048]通過檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記,從而監(jiān)督基板的加工情況,并在出現(xiàn)漏工序的時(shí)候,發(fā)出警報(bào),避免了基板出現(xiàn)漏工序的情況,提高了顯示基板的生產(chǎn)效率。
[0049]或者該制造方法還包括:在至少一道工序執(zhí)行完畢之后,檢測(cè)標(biāo)記,根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定是否暫停工序并報(bào)警。通過檢測(cè)基板上的標(biāo)記,避免基板出現(xiàn)漏工序,提高基板的生產(chǎn)效率。下面以具體實(shí)施例為例對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的方法進(jìn)行說明。
[0050]如圖2所示,上述標(biāo)記20的形成形成于基板10的側(cè)邊沿11,該側(cè)邊沿11為基板10上在工序不需要加工形成圖案的邊沿;且標(biāo)記20是基板10在工序中加工形成的,具體的:該標(biāo)記20形成為:基板10在工序中完成涂布后,按照設(shè)定的圖案在基板10側(cè)邊沿11曝光形成標(biāo)記20。在生產(chǎn)過程中,基板10進(jìn)入到工序中均需要進(jìn)行涂布,并曝光形成所需的圖案,從而保證了基板10在進(jìn)行工序加工時(shí),能夠在基板10的側(cè)邊沿11曝光形成標(biāo)記20,即在基板10形成標(biāo)記20時(shí),基板10進(jìn)行了該道工序的加工。其中,在基板10上形成的標(biāo)記20依照基板10加工工序的排列順序排列,便于檢測(cè)標(biāo)記20。上述方法中,在未檢測(cè)到標(biāo)記20時(shí),發(fā)出警報(bào),該警報(bào)包括聲音警報(bào)和/或燈光警報(bào),可以根據(jù)實(shí)際的需求選擇不同的報(bào)警方式。
[0051]如圖1所示,下面以ADS模式的顯示基板為例,對(duì)上述顯示基板的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明。其中ADS模式的顯示基板在生產(chǎn)過程中依次經(jīng)過如下工序:透明導(dǎo)電層工序、黑矩陣工序、黑矩陣修復(fù)工序、彩色濾光片工序、彩色濾光片修復(fù)工序、保護(hù)層工序、隔墊物工序以及隔墊物修復(fù)工序。檢測(cè)時(shí)采用的設(shè)定條件為檢測(cè)上一道工序是否形成標(biāo)記。該顯示基板的具體制造步驟如下:
[0052]步驟001:放入基板;
[0053]步驟002:在基板上形成透明導(dǎo)電層,并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0054]步驟003:在基板上形成黑矩陣;并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0055]步驟004:對(duì)基板上形成的透明導(dǎo)電層和黑矩陣進(jìn)行修復(fù);并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0056]步驟005:在基板上形成彩色濾光片;并在基板上形成標(biāo)記;
[0057]具體的,基板在形成彩色濾光片時(shí),依次形成紅、綠、藍(lán)三色膜,在每形成一次膜后,在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0058]步驟006:對(duì)基板上形成的彩色濾光片進(jìn)行修復(fù),并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0059]步驟007:在基板上形成保護(hù)層工序;并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0060]步驟008:在基板上形成隔墊物,并在基板的側(cè)邊沿形成標(biāo)記;
[0061]步驟009:對(duì)基板上形成的隔墊物進(jìn)行修復(fù),完成顯示基板的生產(chǎn)。
[0062]通過上述步驟可以看出,在形成的標(biāo)記中可以看出基板加工的情況,了解基板的加工信息,便于監(jiān)督基板的加工。
[0063]此外,在該步驟之外,還可以包括,在基板完成每道工序之后,或者在進(jìn)入到每道工序之前,檢測(cè)基板在形成的標(biāo)記;若檢測(cè)到的標(biāo)記符合要求,則基板繼續(xù)加工,若檢測(cè)到的標(biāo)記不合格,則發(fā)出警報(bào)。
[0064]需說明的是,本申請(qǐng)的實(shí)施方式中,對(duì)標(biāo)記進(jìn)行檢測(cè)這個(gè)步驟在基板的制造過程中出現(xiàn)的次數(shù)、順序、位置并不做限定,實(shí)際中可根據(jù)需要來決定是否對(duì)標(biāo)記進(jìn)行檢測(cè),以及對(duì)哪個(gè)或哪些工序之后或之前進(jìn)行檢測(cè),以及是否需要發(fā)出警報(bào)或僅指示暫停工序而無
需警報(bào),等。
[0065]通過上述步驟的描述,可以看出本實(shí)施例提供的顯示基板的制造方法中,通過檢測(cè)標(biāo)記可以實(shí)現(xiàn)對(duì)基板加工的監(jiān)控,避免基板出現(xiàn)漏掉工序的情況,提高了生產(chǎn)出的顯示基板的質(zhì)量,進(jìn)而提聞了顯不基板的生廣效率。[0066]此外,現(xiàn)有技術(shù)中的制造過程中容易出現(xiàn):黑矩陣修補(bǔ)過的缺陷在后工序彩色濾光片修復(fù)工序和隔墊物修復(fù)工序中還被修復(fù)的問題,而本實(shí)施例提供的制造方法,由于對(duì)上述步驟進(jìn)行了監(jiān)控,從而避免了重復(fù)修復(fù),進(jìn)而避免出現(xiàn)浪費(fèi)。
[0067]應(yīng)當(dāng)理解的是,TN模式的顯示基板的制造過程中,其工序雖然與ADS模式的顯示基板的工序不同,但其在制造過程中采用的檢測(cè)方式與上述制造方法相近似,在此不再
--贅述。
[0068]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示基板控制系統(tǒng),該控制系統(tǒng)包括:
[0069]處理模塊:在基板進(jìn)入到工序加工時(shí),發(fā)出在基板上形成標(biāo)記的控制信號(hào)。
[0070]在上述技術(shù)方案中,通過處理模塊控制在基板上形成標(biāo)記。方便標(biāo)記的形成。
[0071]優(yōu)選的,該控制系統(tǒng)還包括:
[0072]獲取模塊,獲取基板上形成的標(biāo)記;
[0073]所述處理模塊與所述獲取模塊信號(hào)連接,用于判斷是否按照設(shè)定條件檢測(cè)到標(biāo)記;若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)控制;
[0074]報(bào)警模塊:與所述處理模塊信號(hào)連接,在接收到報(bào)警控制時(shí)發(fā)出警報(bào)。
[0075]在上述實(shí)施例中,通過控制系統(tǒng)的獲取模塊獲取檢測(cè)的基板上形成的標(biāo)記,并將結(jié)果發(fā)送給處理模塊, 當(dāng)處理模塊判斷未檢測(cè)到標(biāo)記時(shí),則發(fā)出報(bào)警。從而避免了基板在生廣時(shí),漏掉加工工序,提聞了加工出的質(zhì)量,進(jìn)而提聞了顯不基板的生廣效率。
[0076]其中的報(bào)警模塊可以為聲音報(bào)警裝置或燈光報(bào)警裝置。
[0077]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種顯示基板的生產(chǎn)裝置,該生產(chǎn)裝置包括:
[0078]標(biāo)記形成裝置,包括每道工序中用于在基板上進(jìn)行涂布的涂布裝置,以及與每個(gè)涂布裝置相對(duì)應(yīng)并用于對(duì)基板上涂布的材料曝光形成標(biāo)記的曝光裝置;
[0079]控制系統(tǒng),與所述標(biāo)記形成裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到工序時(shí),控制標(biāo)記形成裝置在基板上形成標(biāo)記。
[0080]在上述技術(shù)方案中,通過在加工基板的工程中,形成記錄基板工序進(jìn)行信息的標(biāo)記,從而便于監(jiān)督基板的加工情況。同時(shí),通過控制標(biāo)記形成裝置在基板上形成記錄基板信息的標(biāo)記。便于對(duì)基板加工情況的監(jiān)督。
[0081]作為一種優(yōu)選方案,該生產(chǎn)裝置還包括:
[0082]檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記;
[0083]所述控制裝置與所述檢測(cè)裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到除首道工序外的工序時(shí),根據(jù)設(shè)定條件控制檢測(cè)裝置檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記,并判斷是否檢測(cè)到標(biāo)記,若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)。
[0084]在上述實(shí)施例中,其中的涂布裝置為每道工序中在基板上進(jìn)行涂布的涂布裝置,上述實(shí)施例提供的生產(chǎn)裝置,通過檢測(cè)基板在每道工序上形成的標(biāo)記,若未檢測(cè)到標(biāo)記,則發(fā)出警報(bào),從而避免了基板在加工時(shí),漏掉工序,進(jìn)而提高了生產(chǎn)出的顯示基板的質(zhì)量,提聞了顯不基板的生廣效率。
[0085]顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顯示基板制造方法,其特征在于,該方法包括: 在通過多道工序制造所述顯示基板的過程中,在所述顯示基板上形成用于記錄工序進(jìn)度信息的標(biāo)記。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述標(biāo)記為進(jìn)度條,所述進(jìn)度條當(dāng)前的長(zhǎng)度和/或圖案對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息;或者,所述標(biāo)記為立體層疊結(jié)構(gòu),該立體層疊結(jié)構(gòu)的圖案和/或材質(zhì)對(duì)應(yīng)于當(dāng)前的工序進(jìn)度信息。
3.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述當(dāng)前的工序進(jìn)度信息包括下列信息至少之一:當(dāng)前已完成的工序、當(dāng)前待進(jìn)行的工序、截止當(dāng)前已失敗或遺漏的工序。
4.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述方法還包括: 在至少一道工序的開始執(zhí)行之前,檢測(cè)所述標(biāo)記, 根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定開始執(zhí)行或者確定暫停工序并報(bào)警。
5.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述方法還包括:在至少一道工序執(zhí)行完畢之后,檢測(cè)所述標(biāo)記,根據(jù)檢測(cè)結(jié)果,確定是否暫停工序并報(bào)警。
6.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述工序包括下列中一種或多種:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕、清洗、干燥、切割、除塵。
7.如權(quán)利要求6所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述工序選自下列集合:涂覆、蒸鍍、磁控濺射、曝光、顯影、刻蝕; 所述標(biāo)記的至少部分是利用與該標(biāo)記當(dāng)前對(duì)應(yīng)的工序而形成。
8.如權(quán)利要求1所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述標(biāo)記形成于基板的側(cè)邊沿。
9.如權(quán)利要求4或5所述的顯示基板制造方法,其特征在于,所述警報(bào)包括聲音警報(bào)和/或燈光警報(bào)。
10.一種顯示基板生產(chǎn)的控制系統(tǒng),其特征在于,包括: 處理模塊:在基板進(jìn)入到工序加工時(shí),發(fā)出在基板上形成標(biāo)記的控制信號(hào)。
11.如權(quán)利要求10所述的控制系統(tǒng),其特征在于,還包括: 獲取模塊,獲取基板上形成的標(biāo)記; 所述處理模塊與所述獲取模塊信號(hào)連接,用于判斷是否按照設(shè)定條件檢測(cè)到標(biāo)記;若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)控制; 報(bào)警模塊:與所述處理模塊信號(hào)連接,在接收到報(bào)警控制時(shí)發(fā)出警報(bào)。
12.—種顯示基板的生產(chǎn)裝置,其特征在于,包括: 標(biāo)記形成裝置,包括每道工序中用于在基板上進(jìn)行涂布的涂布裝置,以及與每個(gè)涂布裝置相對(duì)應(yīng)并用于對(duì)基板上涂布的材料曝光形成標(biāo)記的曝光裝置; 控制系統(tǒng),與所述標(biāo)記形成裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到工序加工時(shí),控制標(biāo)記形成裝置在基板上形成標(biāo)記。
13.如權(quán)利要求12所述的顯示基板的生產(chǎn)裝置,其特征在于,還包括: 檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記; 所述控制裝置與所述檢測(cè)裝置信號(hào)連接,在基板進(jìn)入到除首道工序外的工序時(shí),根據(jù)設(shè)定條件控制檢測(cè)裝置檢測(cè)基板上形成的標(biāo)記,并判斷是否檢測(cè)到標(biāo)記,若未檢測(cè)到,則發(fā)出警報(bào)。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK103792715SQ201410041060
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2014年1月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月27日
【發(fā)明者】龐立斌, 吳東起, 高雪松 申請(qǐng)人:北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司