一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置。該真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置包括：真空對盒腔室，其連通多支真空管路；供給氣源，其與真空對盒腔室連通；液晶分離排出裝置，其與真空管路相連通，用于將殘余在真空管路中的液晶排出；管路檢測裝置，其用于采集真空管道連接處的氣源量，判斷真空管路是否發(fā)生泄漏。本發(fā)明所提供的真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括液晶分離排出裝置和管路檢測裝置，可有效將殘余在真空管路中的液晶分離出來，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效檢測出真空管路發(fā)生的微漏，防止微漏，提高檢測效率，進(jìn)而增強(qiáng)對盒效率。
【專利說明】一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板制作工藝中，真空貼合工藝是整個(gè)工藝過程中的重要步驟，其具體操作包括在密閉的真空腔室中，通過上定盤和下定盤分別吸附陣列基板和彩膜基板，并且上定盤和下定盤相向移動，將陣列基板和彩膜基板壓合在一起從而形成液晶面板。
[0003]而真空對盒機(jī)的真空度對產(chǎn)品的品質(zhì)及設(shè)備的稼動率都會產(chǎn)生較大的影響。目前真空對盒設(shè)備的真空度由簡單的真空表來檢測，這樣當(dāng)真空管道發(fā)生微漏，或是真空泵與真空管道發(fā)生泄漏時(shí)，無法正確感知該問題出自哪里以及無法判斷泄漏對象，導(dǎo)致因真空泄漏進(jìn)而造成大量的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術(shù)問題
[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中對真空對盒系統(tǒng)的真空度檢測不可靠等問題。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括:真空對盒腔室，其連通多支真空管路；
[0008]供給氣源，其與真空對盒腔室連通；
[0009]液晶分離排出裝置，其與真空管路相連通，用于將殘余在真空管路中的液晶排出；
[0010]管路檢測裝置，其用于采集真空管道連接處的氣源量，判斷真空管路是否發(fā)生泄漏。
[0011]優(yōu)選地,所述供給氣源為氦氣或氮?dú)狻?br> [0012]優(yōu)選地，所述液晶分離排出裝置包括冷凝泵、蠕動泵，所述冷凝泵用于將真空管道中混有液晶的氣體混合物進(jìn)行液化處理，液化后的混合液體通過蠕動泵分離作用將液晶分離出來。
[0013]優(yōu)選地，還包括液晶回收裝置，用于回收分離后的液晶。
[0014]優(yōu)選地，還包括隔膜泵和過濾泵，所述隔膜泵與冷凝泵連通，所述過濾泵與隔膜泵連通，液化后的混合液體通過隔膜泵和過濾泵的作用將氣體分離開來。
[0015]優(yōu)選地，還包括氣體回收裝置，用于回收分離后的氣體。
[0016]優(yōu)選地，所述管路檢測裝置為氦氣質(zhì)譜檢漏儀，所述供給氣源充入真空管路的氣體為氦氣。
[0017]優(yōu)選地，還包括多個(gè)采樣頭，所述氦氣質(zhì)譜檢漏儀通過采樣頭作用于多支真空管路的連接處。[0018]優(yōu)選地，所述真空對盒腔室還連接干泵和分子泵，用于對真空對盒腔室進(jìn)行抽真空，其抽真空的量由真空壓強(qiáng)控制裝置來進(jìn)行控制。
[0019]優(yōu)選地，還包括真空度在線檢測裝置，所述真空度在線檢測裝置包括用于檢測真空對盒腔室中的真空度的檢測單元，以及用于對所述檢測單元檢測到的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理的計(jì)算單元。
[0020]優(yōu)選地，所述計(jì)算單元包括微控制器，所述微控制器連接通訊電路和電源電路，所述檢測單元通過定流電路與所述微控制器連接，所述檢測單元通過定流電路與所述微控制器連接；所述檢測單元依次通過電流采樣電路、第一 A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述檢測單元還依次通過差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接；所述檢測單元檢測到的數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二 A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識別的數(shù)字信號，微控制器通過檢測數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，獲取真空裝置真空腔的真空度，并將計(jì)算出的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，實(shí)時(shí)檢測。
[0021]優(yōu)選地，所述微控制器還連接有系統(tǒng)指示燈，當(dāng)真空對盒腔室中的真空度低于設(shè)定值時(shí)，提示報(bào)警。
[0022](三)有益效果
[0023]本發(fā)明所提供的真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括液晶分離排出裝置和管路檢測裝置，可有效將殘余在真空管路中的液晶分離出來，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效檢測出真空管路發(fā)生的微漏，防止微漏，提高檢測效率，進(jìn)而增強(qiáng)對盒效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明實(shí)施例真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置示意圖。
[0025]其中:
[0026]1:真空對盒腔室；2:真空管路；3:供給氣源；4:冷凝栗；5:螺動栗；6:液晶回收裝置；7:隔膜泵；8:過濾泵；9:氣體回收裝置；10:氦氣質(zhì)譜檢漏儀；11:干泵；12:分子泵；13:真空壓強(qiáng)控制裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
[0028]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例提供一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括:真空對盒腔室I，其連通多支真空管路2 ;
[0029]供給氣源3，其與真空對盒腔室I連通；
[0030]液晶分離排出裝置，其與真空管路2相連通，用于將殘余在真空管路2中的液晶排出；
[0031]管路檢測裝置，其用于采集真空管道2連接處的氣源量，判斷真空管路是否發(fā)生泄漏。
[0032]本發(fā)明所提供的真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括液晶分離排出裝置和管路檢測裝置，可有效將殘余在真空管路中的液晶分離出來，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效檢測出真空管路發(fā)生的微漏，提高檢測效率，進(jìn)而增強(qiáng)對盒效率。[0033]該檢測裝置中的供給氣源可以為氦氣或氮?dú)狻?br> [0034]其中，該液晶分離排出裝置包括冷凝泵4、蠕動泵5和液晶回收裝置6，所述冷凝泵4用于將真空管道中混有液晶的氣體混合物進(jìn)行液化處理，液化后的混合液體通過蠕動泵5分離作用將液晶分離出來，分離出來的液晶經(jīng)過液晶回收裝置6進(jìn)行回收。
[0035]其中，該檢測裝置還包括隔膜泵7和過濾泵8，所述隔膜泵7與冷凝泵4連通，所述過濾泵7與隔膜泵8連通，液化后的混合液體通過隔膜泵7和過濾泵8的作用將氣體分離開來，通過氣體回收裝置9將該氣體進(jìn)行回收再利用。
[0036]該管路檢測裝置采用氦氣質(zhì)譜檢漏儀10，所述供給氣源充入真空管路的氣體為氦氣。所述氦氣質(zhì)譜檢漏儀通過采樣頭作用于多支真空管路的連接處，對真空管路連接處的氣體量進(jìn)行檢測，若檢測到該連接處存在氣體量，則說明該處發(fā)生了泄漏。
[0037]另外，該真空對盒腔室I還連接干泵11和分子泵12，該干泵11分子泵12共同作用對真空對盒腔室I進(jìn)行抽真空，其抽真空的量由真空壓強(qiáng)控制裝置13來進(jìn)行控制。
[0038]該裝置還包括:真空度在線檢測裝置，包括用于檢測真空對盒腔室的真空度的檢測單元以及用于對所述檢測單元檢測到的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理的計(jì)算單元。
[0039]所述計(jì)算單元包括微控制器，所述微控制器連接有通訊電路和電源電路；所述檢測單元通過定流電路與所述微控制器連接；所述檢測單元依次通過電流采樣電路、第一 A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述檢測單元還依次通過差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接。所述檢測單元檢測數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二 A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識別的數(shù)字信號，微控制器通過檢測數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，準(zhǔn)確獲取真空裝置真空腔的真空度，并將計(jì)算的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，便于實(shí)時(shí)檢測。其中，電源電路為DC/DC電源，提供5V的工作電壓。所述通訊電路與微控制器之間連接有通訊隔離電路，提高抗干擾性能。所述通訊電路為數(shù)據(jù)通訊總線，優(yōu)選常用的數(shù)據(jù)工業(yè)通訊總線。所述微控制器還連接有系統(tǒng)指示燈，當(dāng)真空度低于設(shè)定值時(shí)，可以提示報(bào)警。所述定流電路連接有電壓基準(zhǔn)電路，為定流電路提供工作所需的24V基準(zhǔn)電壓，保證定流電路工作的穩(wěn)定性可靠性。所述微控制器還連接有報(bào)警開關(guān)。其中，所述各個(gè)電路模塊均為現(xiàn)有的成熟電路元件、芯片或集成電路構(gòu)成。所述真空度檢測裝置包括真空度檢測裝置基體，所述真空度檢測裝置基體上設(shè)有用于檢測真空裝置的真空度的真空檢測裝置。具體的，所述檢測單元為真空控制器。當(dāng)然也可以是具有在線真空檢測特性的其他元件。另夕卜，該裝置還包括密封圈基體，其中密封圈基體為陶瓷真空控制閥，所述陶瓷真空控制閥下方連接所述真空控制器，所述真空控制器與內(nèi)嵌于所述陶瓷真空控制閥內(nèi)的第一傳輸信號線連接，所述第一傳輸信號線兩端伸出于所述陶瓷真空控制閥上下兩端。具體的，所述第一傳輸信號線共有四根，四根傳輸信號線伸出于所述陶瓷真空控制閥下端的部分連接所述真空控制器。所述陶瓷真空控制閥下方還設(shè)有用于檢測真空裝置內(nèi)的真空的真空傳感器，本實(shí)施例中真空傳感器采用真空壓力表。所述真空壓力表與內(nèi)嵌于所述陶瓷真空控制閥內(nèi)的第二傳輸信號線連接。所述第二傳輸信號線共有兩根，兩根導(dǎo)線伸出于所述陶瓷真空控制閥下端的部分連接所述真空傳感器。其中，所述陶瓷真空控制閥為圓柱狀，其外側(cè)表面設(shè)有密封槽。所述陶瓷真空控制閥上部設(shè)有圓形凸臺，所述第一傳輸信號線和第二傳輸信號線位于所述圓形凸臺內(nèi)并伸出于該圓形凸臺。所述圓形凸臺上嵌設(shè)有接線保護(hù)罩。具體的，陶瓷真空控制閥作為真空檢測的載體，能適應(yīng)高、低溫環(huán)境，且在檢測數(shù)據(jù)傳輸過程中是絕緣的，對數(shù)據(jù)信號無干擾。圓形凸臺作為真空檢測的真空度檢測裝置工作時(shí)安裝、拆卸連接件，內(nèi)嵌的第一傳輸信號線和第二傳輸信號線用作檢測數(shù)據(jù)傳輸?shù)膶?dǎo)體，通過第一傳輸信號線將真空裝置內(nèi)部真空數(shù)據(jù)導(dǎo)出，通過第二傳輸信號線將真空裝置內(nèi)部真空數(shù)據(jù)導(dǎo)出，由所述檢測模塊對導(dǎo)出數(shù)據(jù)進(jìn)行處理獲得真空值，采集的真空數(shù)據(jù)可以用來修正真空值。陶瓷真空控閥與內(nèi)嵌的第一傳輸信號線和第二傳輸信號線采用現(xiàn)有的陶瓷與金屬融合技術(shù)密封處理，使兩材質(zhì)間無漏氣現(xiàn)象，確保真空塞的氣密性。真空控制器為檢測真空值的檢測元件，處于真空裝置真空腔中用作檢測真空值，并通過內(nèi)嵌的第一傳輸信號線將真空值數(shù)據(jù)導(dǎo)出。真空壓力表為檢測真空的檢測元件，處于真空腔中，用作檢測真空裝置真空腔的真空，并通過內(nèi)嵌的第二傳輸信號線將檢測真空數(shù)據(jù)導(dǎo)出，進(jìn)而獲得真空腔真空數(shù)據(jù)。處于真空腔中的真空控制器和真空壓力表上均設(shè)有元件保護(hù)罩。真空度檢測裝置的主體采用陶瓷材料，以適應(yīng)超低溫、高溫的工作環(huán)境，并對信號實(shí)現(xiàn)無干擾采集和導(dǎo)出。該真空度檢測裝置是安裝在預(yù)先焊接到真空裝置外壁上的真空抽口上的。抽完真空后在真空環(huán)境下利用圓形凸臺將該真空度檢測裝置安裝到真空抽口上，抽后真空裝置內(nèi)外形成負(fù)壓差，利用空氣對真空度檢測裝置施加的大氣壓力，使檢測單元密封安裝于真空接口上。安裝時(shí)通過在陶瓷真空控制閥上的密封槽內(nèi)分別安裝密封圈及在陶瓷真空控制閥法蘭邊下設(shè)置密封圈進(jìn)行三層加強(qiáng)密封。所述密封圈采用為“O”形硅橡膠密封圈。該真空在線檢測裝置上電工作后，微控制器通過定流電路校準(zhǔn)真空度檢測裝置中真空控制器的工作電流。真空控制器利用氣體分子壓力傳導(dǎo)現(xiàn)象獲取當(dāng)前真空腔的壓力電勢，微控制器通過壓力電勢與真空度之間的正比關(guān)系算法獲取當(dāng)前真空腔的真空度，并通過通訊電路將該真空度傳輸至管理系統(tǒng)。所述定流電路與所述真空控制器相連傳輸信號線連接，所述電流采樣電路通過第一 A/D采樣轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接，用于實(shí)時(shí)檢測檢測單元加壓力電流。所述差分放大電路連接檢測單元中的真空控制器檢測端及真空傳感器端，差分放大電路通過第二 A/D采樣轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接，用于檢測真空控制器所獲取的壓力電勢和真空裝置內(nèi)的真空值，即通過真空度檢測裝置內(nèi)部的真空控制器進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。所述檢測數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二 A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識別的數(shù)字信號，微控制器通過檢測數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，采集的真空數(shù)據(jù)可以用來修正真空度值。微控制器可將計(jì)算的真空度數(shù)據(jù)直接通過數(shù)據(jù)線進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，便于實(shí)時(shí)檢測。
[0040]下面具體描述一下該檢測裝置的工作原理。
[0041]當(dāng)通過真空度在線檢測裝置檢測出該真空對盒腔室I中的真空度發(fā)生變化時(shí)，首先可以先檢查真空腔室中是否存在殘余液晶影響了該真空管路和真空對盒腔室中的真空度。
[0042]具體操作如下:向真空對盒腔室I中通入氦氣(或者是氮?dú)?,該氦氣從真空對盒腔室I進(jìn)入到真空管路2中，若真空管路2中存在殘余液晶，則該氦氣可連帶真空管路2中殘留的液晶一起進(jìn)入到冷凝泵4中，該冷凝泵4將混有液晶的氣體混合物進(jìn)行冷卻液化，液化后的混合液體可通過蠕動泵5的分離作用將液晶分離出來，這樣，便可以非常便捷地將液晶從真空管路2中排出。而余下的氦氣則可通過隔膜泵7和過濾泵8分離出來，以便后續(xù)回收再利用。
[0043]將殘余液晶排出之后再次檢測該真空對盒腔室I中的真空度，若真空度沒有任何恢復(fù)，或者恢復(fù)量非常小時(shí)，則要考慮真空管路2 (主要指真空管路2的連接處)是否發(fā)生泄漏。
[0044]具體操作如下，將氦氣再次充入真空對盒腔室I中，真空對盒腔室I中的氦氣充滿多個(gè)真空管路2支路，將采樣頭連接在各個(gè)真空管路2的連接處，通過氦氣質(zhì)譜檢漏儀10對真空管路2連接位置處的氦氣含量進(jìn)行檢測，當(dāng)檢測出該連接位置處具有氦氣含量，則說明該位置處已經(jīng)發(fā)生了泄漏，則接下來需要進(jìn)行管路維修。
[0045]本發(fā)明所提供的真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，包括液晶分離排出裝置和管路檢測裝置，可有效將殘余在真空管路中的液晶分離出來，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效檢測出真空管路發(fā)生的微漏，防止微漏，提高檢測效率，進(jìn)而增強(qiáng)對盒效率。
[0046]以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的保護(hù)范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種真空對盒系統(tǒng)的檢測裝置，其特征在于，包括: 真空對盒腔室，其連通多支真空管路； 供給氣源，其與真空對盒腔室連通； 液晶分離排出裝置，其與真空管路相連通，用于將殘余在真空管路中的液晶排出； 管路檢測裝置，其用于采集真空管道連接處的氣源量，判斷真空管路是否發(fā)生泄漏。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述供給氣源為氦氣或氮?dú)狻?br> 3.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述液晶分離排出裝置包括冷凝泵、蠕動泵，所述冷凝泵用于將真空管道中混有液晶的氣體混合物進(jìn)行液化處理，液化后的混合液體通過蠕動泵分離作用將液晶分離出來。
4.如權(quán)利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述液晶分離排出裝置還包括液晶回收裝置，用于回收分離后的液晶。
5.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括隔膜泵和過濾泵，所述隔膜泵與冷凝泵連通，所述過濾泵與隔膜泵連通，液化后的混合液體通過隔膜泵和過濾泵的作用將氣體分離開來。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括氣體回收裝置，用于回收分離后的氣體。
7.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述管路檢測裝置為氦氣質(zhì)譜檢漏儀，所述供給氣源充入真空管路的氣體為氦氣。
8.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括多個(gè)采樣頭，所述氦氣質(zhì)譜檢漏儀通過采樣頭作用于多支真空管路的連接處。
9.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述真空對盒腔室還連接干泵和分子泵，用于對真空對盒腔室進(jìn)行抽真空，其抽真空的量由真空壓強(qiáng)控制裝置來進(jìn)行控制。
10.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括真空度在線檢測裝置，所述真空度在線檢測裝置包括用于檢測真空對盒腔室中的真空度的檢測單元，以及用于對所述檢測單元檢測到的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算處理的計(jì)算單元。
11.如權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述計(jì)算單元包括微控制器，所述微控制器連接通訊電路和電源電路，所述檢測單元通過定流電路與所述微控制器連接，所述檢測單元通過定流電路與所述微控制器連接；所述檢測單元依次通過電流采樣電路、第一A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述檢測單元還依次通過差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接；所述檢測單元檢測到的數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二 A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識別的數(shù)字信號，微控制器通過檢測數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，獲取真空裝置真空腔的真空度，并將計(jì)算出的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，實(shí)時(shí)檢測。
12.如權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述微控制器還連接有系統(tǒng)指示燈，當(dāng)真空對盒腔室中的真空度低于設(shè)定值時(shí)，提示報(bào)警。
【文檔編號】G02F1/1333GK103776602SQ201310738634
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年12月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月27日
【發(fā)明者】徐欣榮, 井楊坤 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司