技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的提高疊對測量精度的方法，包括：在晶圓上設(shè)置輔助定位圖形；采用測量機(jī)臺對晶圓進(jìn)行粗對準(zhǔn)；對晶圓進(jìn)行精對準(zhǔn)；尋找輔助定位圖形；尋找量測圖形進(jìn)行測量；其中，輔助定位圖形的制備方法包括：經(jīng)光刻和刻蝕，在晶圓上形成沒有偏移量的第一層圖形；通過特定制程固定第一層圖形；經(jīng)光刻和刻蝕，在第一層圖形上部形成有固定偏移量的第二層圖形。本發(fā)明的提高疊對量測的方法，通過采用輔助定位圖形，在采用測量機(jī)臺對準(zhǔn)后先尋找到輔助定位圖形進(jìn)行精確定位，然后再尋找量測圖形進(jìn)行測量，可以避免現(xiàn)有疊對測量方法中量測圖形的非精準(zhǔn)對位問題，提高疊對測量的精確度，從而提高產(chǎn)品性能。

技術(shù)研發(fā)人員：夏婷婷;陳力鈞;馬蘭濤;朱琪;張旭升
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號碼：201310213617
技術(shù)研發(fā)日：2013.05.31
技術(shù)公布日：2017.03.01