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一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)及其四自由度調(diào)整方法

文檔序號:2803976閱讀:218來源:國知局
專利名稱:一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)及其四自由度調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種高精度調(diào)整機構(gòu),具體涉及一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)及其四自由度調(diào)整方法。
背景技術(shù)
在慣性約束激光核聚變裝置中,高通量大口徑高精度透鏡模塊調(diào)焦裝置是真空可控高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)的核心組成部分。透鏡模塊中的各個光學(xué)元件的姿態(tài)及精密定位裝校需要相應(yīng)的高精度調(diào)整裝置,以實現(xiàn)系統(tǒng)光學(xué)軸線與機械軸線的重合,從而保證大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)通過機械接口集成到激光慣性約束核聚變裝置上時,其光學(xué)精度能夠滿足裝置的設(shè)計要求,避免繁雜的在線光學(xué)調(diào)整。目前尚沒有成熟的裝置來實現(xiàn)大口徑楔形透鏡聚焦系統(tǒng)中光學(xué)元件的批量化高精度調(diào)整
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)及其四自由度調(diào)整方法,以解決慣性約束激光核聚變裝置中楔形透鏡模塊內(nèi)各種光學(xué)元件姿態(tài)的高精度調(diào)整問題。本發(fā)明的技術(shù)方案是:一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)包括鼠籠機構(gòu)、透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件和透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件,透鏡光學(xué)元件模塊安裝在聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)上,聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)連同透鏡光學(xué)元件模塊一起安裝在鼠籠機構(gòu)內(nèi),鼠籠機構(gòu)的前側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件,鼠籠機構(gòu)的后側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件,鼠籠機構(gòu)是由上基板、下基板和兩個側(cè)板圍合而成的框體結(jié)構(gòu),鼠籠機構(gòu)的前端框體內(nèi)設(shè)置有前支撐框,鼠籠機構(gòu)的后端框體內(nèi)設(shè)置有后支撐框,上基板上設(shè)置有上導(dǎo)軌,下基板上設(shè)置有下導(dǎo)軌,聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)W通過其上的滑塊與上導(dǎo)軌4和下導(dǎo)軌配合安裝在鼠籠機構(gòu)內(nèi),上基板、下基板和兩個側(cè)板的前后端面上均開有豁口,透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件包括前姿態(tài)調(diào)整板、四個第一鼠籠滑塊、八個第一鼠籠滑塊壓板、四個第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板和四個第一調(diào)整釘,前姿態(tài)調(diào)整板的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第一鼠籠滑塊通過第一鼠籠滑塊壓板安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板,第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板位于第一鼠籠滑塊的內(nèi)側(cè),第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上連接有第一調(diào)整釘,第一調(diào)整釘與第一鼠籠滑塊相抵用于第一調(diào)整鼠籠滑塊的位置,透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件包括后姿態(tài)調(diào)整板、四個第二鼠籠滑塊、八個第二鼠籠滑塊壓板、四個第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板和四個第二調(diào)整釘,后姿態(tài)調(diào)整板的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第二鼠籠滑塊通過第二鼠籠滑塊壓板安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板,第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板位于第二鼠籠滑塊的內(nèi)側(cè),第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上連接有第二調(diào)整釘,第二調(diào)整釘與第二鼠籠滑塊相抵用于調(diào)整第二鼠籠滑塊的位置,
前姿態(tài)調(diào)整板連接在鼠籠機構(gòu)的前端面上,后姿態(tài)調(diào)整板安裝在鼠籠機構(gòu)的后端面上,第一鼠籠滑塊處于上基板、下基板和兩個側(cè)板的前端面上的豁口內(nèi),且第一鼠籠滑塊與前支撐框相抵,第二鼠籠滑塊處于上基板、下基板和兩個側(cè)板的后端面上的豁口,且第二鼠籠滑塊與后支撐框相抵,前姿態(tài)調(diào)整板的兩側(cè)邊的上部和下部分別連接有兩個內(nèi)六角圓柱頭螺釘,內(nèi)六角圓柱頭螺釘兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘和內(nèi)六角球端緊定螺釘,內(nèi)六角圓柱頭螺釘?shù)逆i緊端連接在前支撐框上,內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘和內(nèi)六角球端緊定螺釘與前支撐框相抵。一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)四自由度的方法:通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板4上的第一調(diào)整釘以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上的第二調(diào)整釘實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度調(diào)節(jié);具體為:首先調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上的第一調(diào)整釘以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上的第二調(diào)整釘;通過固定在前姿態(tài)調(diào)整板上的第一鼠籠滑塊壓板之間的導(dǎo)向槽以及固定在后姿態(tài)調(diào)整板上的第二 鼠籠滑塊壓板之間的導(dǎo)向槽,實現(xiàn)第一鼠籠滑塊和第二鼠籠滑塊的上下、左右移動,第一鼠籠滑塊和第二鼠籠滑塊與前支撐框和后支撐框相配合,實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度運動;通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的俯仰、偏擺2自由度調(diào)節(jié);具體為:首先松開透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘,然后通過松開或擰緊內(nèi)六角圓柱頭螺釘兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘和內(nèi)六角球端緊定螺釘,通過內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘和內(nèi)六角球端緊定螺釘作用在前支撐框上,調(diào)節(jié)鼠籠機構(gòu),實現(xiàn)俯仰和偏擺運動。上述方法是基于鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)的。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下效果:通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前/后支撐組件中四周的鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上的調(diào)整釘(位于透鏡鼠籠前姿態(tài)調(diào)整板后側(cè))實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的上下、左右移動2自由度調(diào)節(jié);通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘,以及其兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘和內(nèi)六角球端緊定螺釘實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的俯仰、偏擺2自由度調(diào)節(jié);本發(fā)明實現(xiàn)了真空可控高通量大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中楔形透鏡模塊中光學(xué)元件姿態(tài)的4自由度高精度調(diào)整。便于實現(xiàn)系統(tǒng)光學(xué)軸線與機械軸線的重合,從而保證大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)通過機械接口集成到激光慣性約束核聚變裝置上時,其光學(xué)精度能夠滿足裝置的設(shè)計要求,避免繁雜的在線光學(xué)調(diào)整。本發(fā)明實現(xiàn)了鼠籠式調(diào)整機構(gòu)的各個自由度相對獨立的解耦調(diào)整,具有穩(wěn)定性好,調(diào)整方便,精度高的特點,其中俯仰、偏擺調(diào)整的精度依據(jù)監(jiān)測儀器的精度,內(nèi)調(diào)焦望遠(yuǎn)鏡或者光電式自準(zhǔn)直儀,精度可達(dá)到0.2角秒;上下、左右平移的精度依據(jù)監(jiān)測儀器可達(dá)到IOum以內(nèi)。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)W連同透鏡光學(xué)元件模塊R —起安裝在本發(fā)明中的鼠籠機構(gòu)D內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是本發(fā)明的鼠籠機構(gòu)D的立體結(jié)構(gòu)圖(后端面可見);圖4本本發(fā)明的鼠籠機構(gòu)D的立體結(jié)構(gòu)圖(前端面可見);圖5是本發(fā)明的透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A的立體結(jié)構(gòu)圖;圖6是本發(fā)明的透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B的立體結(jié)構(gòu)圖;圖7是圖5的Xl-Xl剖視圖;圖8是圖6的X2-X2剖視圖;圖9是圖1的X3處放大圖;圖10是圖1的X4處放大圖;圖11是圖1的X5-X5剖視圖;圖12是內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6的布置圖;圖13是圖12的X6-X6剖視`
圖14是內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6、內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘A8的布置圖;圖15是內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6、內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘AS與前支撐框D6的關(guān)系圖。
具體實施例方式具體實施方式
一:結(jié)合圖1至圖15說明本實施方式,本實施方式的一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)包括鼠籠機構(gòu)D、透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A和透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B,透鏡光學(xué)元件模塊R安裝在聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)W上,聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)W連同透鏡光學(xué)元件模塊R—起安裝在鼠籠機構(gòu)D內(nèi),鼠籠機構(gòu)D的前側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A,鼠籠機構(gòu)D的后側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B,鼠籠機構(gòu)D是由上基板D1、下基板D2和兩個側(cè)板D3圍合而成的框體結(jié)構(gòu),鼠籠機構(gòu)D的前端框體內(nèi)設(shè)置有前支撐框D6,鼠籠機構(gòu)D的后端框體內(nèi)設(shè)置有后支撐框D7,上基板Dl上設(shè)置有上導(dǎo)軌D4,下基板D2上設(shè)置有下導(dǎo)軌D5,聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)W通過其上的滑塊與上導(dǎo)軌D4和下導(dǎo)軌D5配合安裝在鼠籠機構(gòu)D內(nèi),上基板Dl、下基板D2和兩個側(cè)板D3的前后端面上均開有豁口 D8,透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A包括前姿態(tài)調(diào)整板Al、四個第一鼠籠滑塊A2、八個第一鼠籠滑塊壓板A3、四個第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4和四個第一調(diào)整釘A5,前姿態(tài)調(diào)整板Al的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第一鼠籠滑塊A2通過第一鼠籠滑塊壓板A3安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4,第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4位于第一鼠籠滑塊A2的內(nèi)側(cè),第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4上連接有第一調(diào)整釘A5,第一調(diào)整釘A5與第一鼠籠滑塊A2相抵用于第一調(diào)整鼠籠滑塊A2的位置,透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B包括后姿態(tài)調(diào)整板B1、四個第二鼠籠滑塊B2、八個第二鼠籠滑塊壓板B3、四個第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4和四個第二調(diào)整釘B5,后姿態(tài)調(diào)整板BI的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第二鼠籠滑塊B2通過第二鼠籠滑塊壓板B3安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4,第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4位于第二鼠籠滑塊B2的內(nèi)側(cè),第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4上連接有第二調(diào)整釘B5,第二調(diào)整釘B5與第二鼠籠滑塊B2相抵用于調(diào)整第二鼠籠滑塊B2的位置,前姿態(tài)調(diào)整板Al連接在鼠籠機構(gòu)D的前端面上,后姿態(tài)調(diào)整板BI安裝在鼠籠機構(gòu)D的后端面上,第一鼠籠滑塊A2處于上基板D1、下基板D2和兩個側(cè)板D3的前端面上的豁口 D8內(nèi),且第一鼠籠滑塊A2與前支撐框D6相抵,第二鼠籠滑塊B2處于上基板D1、下基板D2和兩個側(cè)板D3的后端面上的豁口 D8,且第二鼠籠滑塊A2與后支撐框D7相抵,前姿態(tài)調(diào)整板Al的兩側(cè) 邊的上部和下部分別連接有兩個內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6,內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘AS,內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6的鎖緊端連接在前支撐框D6上,內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘AS與前支撐框D6相抵。
具體實施方式
二:結(jié)合圖1至圖13說明本實施方式,本實施方式的一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)四自由度的方法:通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4上的第一調(diào)整釘A5以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4上的第二調(diào)整釘B5實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)D內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊R上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度調(diào)節(jié);具體為:首先調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件A中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板A4上的第一調(diào)整釘A5以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件B中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板B4上的第二調(diào)整釘B5 ;通過固定在前姿態(tài)調(diào)整板Al上的第一鼠籠滑塊壓板A3之間的導(dǎo)向槽以及固定在后姿態(tài)調(diào)整板BI上的第二鼠籠滑塊壓板B3之間的導(dǎo)向槽,實現(xiàn)第一鼠籠滑塊A2和第二鼠籠滑塊B2的上下、左右移動,第一鼠籠滑塊A2和第二鼠籠滑塊B2與前支撐框D6和后支撐框D7相配合,實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)D內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊R上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度運動;通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的俯仰、偏擺2自由度調(diào)節(jié);具體為:首先松開透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6,然后通過松開或擰緊內(nèi)六角圓柱頭螺釘A6兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘AS,通過內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘A7和內(nèi)六角球端緊定螺釘AS作用在前支撐框D6上,調(diào)節(jié)鼠籠機構(gòu),實現(xiàn)俯仰和偏擺運動。俯仰運動即向下或向上擺動,偏擺運動即向左偏,向右擺動。本實施方式的調(diào)整方法是基于具體實施方式
一的調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)的。
權(quán)利要求
1.一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu),其特征在于:鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)包括鼠籠機構(gòu)(D)、透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件(A)和透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件(B), 透鏡光學(xué)元件模塊(R)安裝在聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)(W)上,聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)(W)連同透鏡光學(xué)元件模塊(R) —起安裝在鼠籠機構(gòu)(D)內(nèi),鼠籠機構(gòu)(D)的前側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件(A),鼠籠機構(gòu)(D)的后側(cè)設(shè)置有透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件(B ),鼠籠機構(gòu)(D )是由上基板(DI)、下基板(D2 )和兩個側(cè)板(D3 )圍合而成的框體結(jié)構(gòu),鼠籠機構(gòu)(D)的前端框體內(nèi)設(shè)置有前支撐框(D6),鼠籠機構(gòu)(D)的后端框體內(nèi)設(shè)置有后支撐框(D7),上基板(Dl)上設(shè)置有上導(dǎo)軌(D4),下基板(D2)上設(shè)置有下導(dǎo)軌(D5),聚焦透鏡模塊移動機構(gòu)(W)通過其上的滑塊與上導(dǎo)軌(D4)和下導(dǎo)軌(D5)配合安裝在鼠籠機構(gòu)(D)內(nèi),上基板(D1)、下基板(D2)和兩個側(cè)板(D3)的前后端面上均開有豁口(D8), 透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件(A)包括前姿態(tài)調(diào)整板(Al)、四個第一鼠籠滑塊(A2)、八個第一鼠籠滑塊壓板(A3)、四個第 一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4)和四個第一調(diào)整釘(A5),前姿態(tài)調(diào)整板(Al)的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第一鼠籠滑塊(A2)通過第一鼠籠滑塊壓板(A3)安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4),第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4)位于第一鼠籠滑塊(A2)的內(nèi)側(cè),第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4)上連接有第一調(diào)整釘(A5),第一調(diào)整釘(A5)與第一鼠籠滑塊(A2)相抵用于第一調(diào)整鼠籠滑塊(A2)的位置, 透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件(B)包括后姿態(tài)調(diào)整板(BI)、四個第二鼠籠滑塊(B2)、八個第二鼠籠滑塊壓板(B3)、四個第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4)和四個第二調(diào)整釘(B5),后姿態(tài)調(diào)整板(BI)的四個邊框上各開有一個滑塊安裝口,第二鼠籠滑塊(B2)通過第二鼠籠滑塊壓板(B3)安裝在滑塊安裝口內(nèi),滑塊安裝口內(nèi)還固定安裝有第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4),第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4)位于第二鼠籠滑塊(B2)的內(nèi)側(cè),第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4)上連接有第二調(diào)整釘(B5),第二調(diào)整釘(B5)與第二鼠籠滑塊(B2)相抵用于調(diào)整第二鼠籠滑塊(B2)的位置, 前姿態(tài)調(diào)整板(Al)連接在鼠籠機構(gòu)(D)的前端面上,后姿態(tài)調(diào)整板(BI)安裝在鼠籠機構(gòu)(D)的后端面上,第一鼠籠滑塊(A2)處于上基板(D1)、下基板(D2)和兩個側(cè)板(D3)的前端面上的豁口(D8)內(nèi),且第一鼠籠滑塊(A2)與前支撐框(D6)相抵,第二鼠籠滑塊(B2)處于上基板(D1)、下基板(D2)和兩個側(cè)板(D3)的后端面上的豁口(D8),且第二鼠籠滑塊(A2)與后支撐框(D7)相抵, 前姿態(tài)調(diào)整板(Al)的兩側(cè)邊的上部和下部分別連接有兩個內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6),內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6)兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘(A7)和內(nèi)六角球端緊定螺釘(AS),內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6)的鎖緊端連接在前支撐框(D6)上,內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘(A7)和內(nèi)六角球端緊定螺釘(AS)與前支撐框(D6)相抵。
2.基于權(quán)利要求1所述的一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)的四自由度調(diào)整方法,其特征在于鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu)4自由度調(diào)整方法的具體步驟為: 通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件(A)中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4)上的第一調(diào)整釘(A5)以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件(B)中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4)上的第二調(diào)整釘(B5 )實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)(D)內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊(R)上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度調(diào)節(jié);具體為:首先調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件(A)中四周的第一鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(A4)上的第一調(diào)整釘(A5)以及透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整后支撐組件(B)中四周的第二鼠籠滑塊調(diào)整釘座板(B4)上的第二調(diào)整釘(B5);通過固定在前姿態(tài)調(diào)整板(Al)上的第一鼠籠滑塊壓板(A3)之間的導(dǎo)向槽以及固定在后姿態(tài)調(diào)整板(BI)上的第二鼠籠滑塊壓板(B3)之間的導(dǎo)向槽,實現(xiàn)第一鼠籠滑塊(A2)和第二鼠籠滑塊(B2)的上下、左右移動,第一鼠籠滑塊(A2)和第二鼠籠滑塊(B2)與前支撐框(D6)和后支撐框(D7)相配合,實現(xiàn)鼠籠機構(gòu)(D)內(nèi)部的透鏡光學(xué)元件模塊(R)上下、左右移動,實現(xiàn)2自由度運動; 通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6)實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的俯仰、偏擺2自由度調(diào)節(jié);具體為: 首先松開透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上的內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6),然后通過松開或擰緊內(nèi)六角圓柱頭螺釘(A6)兩側(cè)的內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘(A7)和內(nèi)六角球端緊定螺釘(AS),通過內(nèi)六角圓柱頭球端頭螺釘(A7)和內(nèi)六角球端緊定螺釘(AS)作用在前支撐框(D6)上,調(diào)節(jié)鼠籠機構(gòu),實現(xiàn)俯仰 和偏擺運動。
全文摘要
一種鼠籠式高精度四維調(diào)整機構(gòu),它涉及一種高精度調(diào)整機構(gòu)。本發(fā)明的目的是為了解決慣性約束激光核聚變裝置中楔形透鏡模塊內(nèi)各種光學(xué)元件姿態(tài)的高精度調(diào)整問題。通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前/后支撐組件中四周的鼠籠滑塊調(diào)整釘座板上的調(diào)整釘實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的上下、左右移動2自由度調(diào)節(jié);通過調(diào)整透鏡鼠籠姿態(tài)調(diào)整前支撐組件上螺釘實現(xiàn)鼠籠內(nèi)光學(xué)元件的俯仰、偏擺2自由度調(diào)節(jié);本發(fā)明實現(xiàn)了楔形透鏡模塊中光學(xué)元件姿態(tài)的4自由度高精度調(diào)整。實現(xiàn)了系統(tǒng)光學(xué)軸線與機械軸線的重合,保證大口徑光學(xué)聚焦與頻率轉(zhuǎn)換系統(tǒng)通過機械接口集成到激光慣性約束核聚變裝置上時,其光學(xué)精度能夠滿足裝置的設(shè)計要求,避免繁雜的在線光學(xué)調(diào)整。
文檔編號G02B7/04GK103235394SQ201310156210
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者梁迎春, 于福利, 郭永博, 盧禮華, 張慶春 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
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