專(zhuān)利名稱(chēng)：一種偏置平板調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種調(diào)整裝置，尤其涉及一種偏置平板調(diào)整裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體工藝日益趨于精密化和生產(chǎn)力要求的不斷提高，半導(dǎo)體制造設(shè)備的精密性不斷提升，相應(yīng)的，對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)儀器的精密性要求也不斷提高。在投影光刻系統(tǒng)中，為了對(duì)硅片的表面進(jìn)行高精度的檢測(cè)，需要調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)測(cè)量硅片上表面的高度與傾斜信肩、O在調(diào)焦調(diào)平系統(tǒng)的測(cè)量過(guò)程中，當(dāng)投影物鏡焦面發(fā)生漂移后，若不對(duì)其焦面位置進(jìn)行校正補(bǔ)償，會(huì)使調(diào)焦調(diào)平的測(cè)量點(diǎn)中心與投影物鏡曝光視場(chǎng)不重合，引起測(cè)量誤差。這種情況下為了校正補(bǔ)償，采用在光路中加一個(gè)偏置平板，并通過(guò)對(duì)片偏置平板旋轉(zhuǎn)角度的 調(diào)整來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)焦面位置漂移的校正和補(bǔ)償。目前所常用的兩種結(jié)構(gòu)如圖I和圖2所示如圖I所示，旋轉(zhuǎn)電機(jī)2直接帶動(dòng)偏置平板I旋轉(zhuǎn)。該調(diào)整裝置的不足之處在于，由于偏置平板I是直接由旋轉(zhuǎn)電機(jī)2帶動(dòng)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，此種方式直接導(dǎo)致目前的一般電機(jī)無(wú)法滿足調(diào)整偏置平板所需的旋轉(zhuǎn)精度。如圖2所示，偏置平板I與杠桿3連接，杠桿的一端架設(shè)在凸輪4頂端，步進(jìn)電機(jī)(未圖示)驅(qū)動(dòng)凸輪4繞軸40旋轉(zhuǎn)來(lái)帶動(dòng)杠桿3移動(dòng)。由于凸輪軸40到凸輪4邊緣的距離是變化的，因此，當(dāng)凸輪4繞軸40旋轉(zhuǎn)180°時(shí)，杠桿3及偏置平板I的位置從圖2中的實(shí)線位置移動(dòng)到虛線位置，從而達(dá)到利用凸輪4的旋轉(zhuǎn)控制偏置平板I的旋轉(zhuǎn)角的目的。此調(diào)整裝置的不足之處在于凸輪加工復(fù)雜，制造成本過(guò)高。于2010年10月20日公開(kāi)的公開(kāi)號(hào)是CN201611424U的中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利針對(duì)圖2的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，其結(jié)構(gòu)如圖3所示，該裝置采用具有楔面520的柱體52代替凸輪從而降低了加工制造難度，但該裝置對(duì)電機(jī)的精度要求依然比較高。因此，如何提供一種可以有效降低對(duì)電機(jī)的精度要求的偏置平板調(diào)整裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供偏置平板調(diào)整裝置，可以有效降低對(duì)電機(jī)的精度要求。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案本實(shí)用新型提供了一種偏置平板調(diào)整裝置，設(shè)于調(diào)焦調(diào)平主框架板上用于調(diào)整偏置平板的角度，所述偏置平板調(diào)整裝置包括旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一楔形塊，所述楔形塊設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系上。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架、電機(jī)、絲杠組件、連接塊、導(dǎo)軌以及球面導(dǎo)向器，所述絲杠組件包括第一絲杠支撐件、第二絲杠支撐件以及絲杠，所述第一絲杠支撐件、第二絲杠支撐件與所述導(dǎo)軌安裝于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架上，所述電機(jī)與所述絲杠連接，所述球面導(dǎo)向器通過(guò)所述連接塊與所述絲杠固定連接，所述電機(jī)帶動(dòng)所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，所述絲杠帶動(dòng)所述連接塊沿所述導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述球面導(dǎo)向器與所述楔形塊線接觸。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括一拉緊彈簧，所述拉緊彈簧的一端和所述楔形塊連接，另一端和所述調(diào)焦調(diào)平主框架板連接。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述旋轉(zhuǎn)軸系包括偏置鏡、偏置鏡座以及旋轉(zhuǎn)軸，所述偏置鏡設(shè)于所述偏置鏡座內(nèi)，所述偏置鏡座設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述調(diào)焦調(diào)平主框架板設(shè)有用于容置所述旋轉(zhuǎn)軸的通孔，所述偏置鏡座設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上。 優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，還包括一用于鎖住所述旋轉(zhuǎn)軸系的制動(dòng)裝置，所述制動(dòng)裝置設(shè)置于調(diào)焦調(diào)平主框架板的下方。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，所述制動(dòng)裝置包括制動(dòng)軸和制動(dòng)器件，所述制動(dòng)器件固定設(shè)置于調(diào)焦調(diào)平主框架板的所述通孔處，且所述制動(dòng)器件位于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板的下方，所述旋轉(zhuǎn)軸具有一中心孔，所述制動(dòng)軸的上端卡合于所述旋轉(zhuǎn)軸的中心孔中，所述制動(dòng)軸的另一端穿設(shè)于所述制動(dòng)器件內(nèi)部。優(yōu)選的，在上述的的偏置平板調(diào)整裝置中，還包括一角度傳感器，所述角度傳感器設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型的提供的偏置平板調(diào)整裝置，設(shè)于調(diào)焦調(diào)平主框架板上用于調(diào)整偏置平板的角度，所述偏置平板調(diào)整裝置包括旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一楔形塊，所述楔形塊設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系上，通過(guò)采用本實(shí)用新型的偏置平板調(diào)整裝置來(lái)調(diào)整偏置平板的角度，可以有效減少對(duì)電機(jī)的精度要求。另外，由于角度傳感器安裝在旋轉(zhuǎn)軸系上，可以減少由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)間隙和零件加工等因素引入的誤差，從而得到更精確的位置精度。另外，通過(guò)用于鎖定所述旋轉(zhuǎn)軸系的制動(dòng)裝置，當(dāng)所述偏置平板到達(dá)設(shè)定的位置時(shí)，制動(dòng)器件將制動(dòng)軸鎖定，從而將所述旋轉(zhuǎn)軸系及偏置平板鎖定。此時(shí)可以切斷電機(jī)電源，從而，可以減少電機(jī)發(fā)熱對(duì)整機(jī)的影響。

本實(shí)用新型的偏置平板調(diào)整裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I是一種傳統(tǒng)的偏置平板調(diào)整裝置的示意圖；圖2是另一種傳統(tǒng)的偏置平板調(diào)整裝置的示意圖；圖3是圖2所示的傳統(tǒng)的偏置平板的調(diào)整裝置的改進(jìn)結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的俯視示意圖；圖6是圖5的A-A剖視圖；圖7是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的運(yùn)動(dòng)原理示意圖。圖中，401 -驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，402-旋轉(zhuǎn)軸系，403-調(diào)焦調(diào)平主框架板，404-偏置平板，501-驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架，502-電機(jī)，503-第一絲杠支撐件，504-絲杠，505-連接塊，506-第二絲杠支撐件，507-導(dǎo)軌，508-偏置鏡、509-偏置鏡座，510-楔形塊，511-角度傳感器，512-軸承，513-制動(dòng)軸，514-制動(dòng)器件，516-球面導(dǎo)向器，517-旋轉(zhuǎn)軸。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的偏置平板調(diào)整裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖4、圖5、圖6和圖7，其中，圖4所不是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖5所示是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的俯視示意圖，圖6所示是圖5的A-A剖視圖，圖7所示是本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置一實(shí)施例的運(yùn)動(dòng)原理示意圖。這種偏置平板調(diào)整裝置，設(shè)于調(diào)焦調(diào)平主框架板403上用于調(diào)整偏置平板404的角度，所述偏置平板調(diào)整裝置包括旋轉(zhuǎn)軸系402和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)401，所述旋轉(zhuǎn)軸系402和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)401分別設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)401包括一楔形塊510，所述楔形塊510設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系402上。本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)401包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架501、電機(jī)502、絲杠組件、連接塊505、導(dǎo)軌507以及球面導(dǎo)向器516，所述絲杠組件包括第一絲杠支撐件503、第二絲杠支撐件506以及絲杠504，所述第一絲杠支撐件503、第二絲杠支撐件506與所述導(dǎo)軌507安裝于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架501上，所述電機(jī)502與所述絲杠504連接，所述球面導(dǎo)向器516通過(guò)所述連接塊505與所述絲杠504固定連接，所述電機(jī)502帶動(dòng)所述絲杠504轉(zhuǎn)動(dòng),所述絲杠504帶動(dòng)所述連接塊505沿所述導(dǎo)軌507上下運(yùn)動(dòng),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架501與所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403固定連接。本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)401還包括一拉緊彈簧515,所述拉緊彈簧515的一端和所述楔形塊510連接，另一端和所述調(diào)焦調(diào)平主框架板401連接。所述拉緊彈簧515的作用是在球面導(dǎo)向器516與楔形塊510間產(chǎn)生一個(gè)預(yù)緊力，使得球面導(dǎo)向器516與楔形塊510始終保持接觸。、[0038]本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4和圖5，所述旋轉(zhuǎn)軸系402包括偏置鏡508、偏置鏡座509以及轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸517，所述偏置鏡508設(shè)于所述偏置鏡座509內(nèi)，所述偏置鏡座509設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸517上。本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6,所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403設(shè)有容置所述旋轉(zhuǎn)軸517的通孔，所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403和所述旋轉(zhuǎn)軸517之間設(shè)有軸承512。所述偏置鏡座509設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸517上。較佳地,本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6,所述偏置平板調(diào)整裝置還包括一用于鎖住所述旋轉(zhuǎn)軸系402的制動(dòng)裝置，所述制動(dòng)裝置設(shè)置于調(diào)焦調(diào)平主框架板403的下方。本實(shí)施例中，所述制動(dòng)裝置包括制動(dòng)軸513和制動(dòng)器件514，所述制動(dòng)器件514固定設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403的所述通孔處，且所述制動(dòng)器件514位于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板403的下方，所述旋轉(zhuǎn)軸517具有一中心孔，所述制動(dòng)軸513的上端卡合于所述旋轉(zhuǎn)軸517的中心孔中，所述制動(dòng)軸513的另一端穿設(shè)于所述制動(dòng)器件514內(nèi)部。當(dāng)偏置平板404到達(dá)設(shè)定的位置時(shí)，制動(dòng)器件514將制動(dòng)軸513鎖定，從而將所述旋轉(zhuǎn)軸517及偏置平板404鎖定。此時(shí)可以切斷電機(jī)電源，以減少電機(jī)發(fā)熱對(duì)整機(jī)的影響。 本實(shí)施例中，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6，所述偏置平板調(diào)整裝置還包括一角度傳感器511，所述角度傳感器511設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系402上，具體的，所述角度傳感器511設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸517上。由于角度傳感器511安裝于所述旋轉(zhuǎn)軸517上，可以減少由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)間隙和零件加工等因素引入的誤差，從而得到更精確的位置精度。本實(shí)用新型的工作原理如下，請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖4 圖6，假設(shè)楔形塊510的楔角為0 ;旋轉(zhuǎn)軸系402的旋轉(zhuǎn)半徑為R ;球面導(dǎo)向器516運(yùn)動(dòng)的距離為h ;偏置平板404旋轉(zhuǎn)的角度為0 ;電機(jī)502旋轉(zhuǎn)的角度為a ;絲桿504的導(dǎo)程為P ;根據(jù)立體幾何原理可知，圓柱體的斜切截面是橢圓，因此，當(dāng)球面導(dǎo)向器516上下運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，球面導(dǎo)向器516在楔形塊
510的楔形面上的運(yùn)動(dòng)軌跡為短軸2R，長(zhǎng)軸為的橢圓的一段。
COSt^當(dāng)球面導(dǎo)向器516上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，可以驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸系402運(yùn)動(dòng)，滿足以下公式h=7^-xRp = — a..................式①
nIn
ta AR tan ^由式①可推出J = ~~
a在圖6中，假設(shè)Q = 60。，R = 30mm，P = 1mm，那么7即可知該裝置對(duì)電
P ~2\} / .8,
機(jī)的旋轉(zhuǎn)位置精度要求比電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)降低207. 8倍。因此，采用本實(shí)用新型偏置平板調(diào)整裝置對(duì)偏置平板進(jìn)行調(diào)整，可以有效降低降低對(duì)電機(jī)的精度要求。綜上所述，采用本實(shí)用新型的偏置平板調(diào)整裝置來(lái)調(diào)整偏置平板的角度，可以有效減少對(duì)電機(jī)的精度要求。另外，由于角度傳感器安裝在旋轉(zhuǎn)軸系上，可以減少由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)間隙和零件加工等因素引入的誤差，從而得到更精確的位置精度。另外，通過(guò)用于鎖定所述旋轉(zhuǎn)軸系的制動(dòng)裝置，當(dāng)所述偏置平板到達(dá)設(shè)定的位置時(shí)，制動(dòng)器件將制動(dòng)軸鎖定，從而將所述旋轉(zhuǎn)軸系及偏置平板鎖定。此時(shí)可以切斷電機(jī)電源，從而，可以減少電機(jī)發(fā)熱對(duì)整機(jī)的影響。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種偏置平板調(diào)整裝置，設(shè)于調(diào)焦調(diào)平主框架板上用于調(diào)整偏置平板的角度，所述偏置平板調(diào)整裝置包括旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板上，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一楔形塊，所述楔形塊設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架、電機(jī)、絲杠組件、連接塊、導(dǎo)軌以及球面導(dǎo)向器，所述絲杠組件包括第一絲杠支撐件、第二絲杠支撐件以及絲杠，所述第一絲杠支撐件、第二絲杠支撐件與所述導(dǎo)軌安裝于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)支架上，所述電機(jī)與所述絲杠連接，所述球面導(dǎo)向器通過(guò)所述連接塊與所述絲杠固定連接，所述電機(jī)帶動(dòng)所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，所述絲杠帶動(dòng)所述連接塊沿所述導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述球面導(dǎo)向器與所述楔形塊線接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括一拉緊彈簧，所述拉緊彈簧的一端和所述楔形塊連接，另一端和所述調(diào)焦調(diào)平主框架板連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸系包括偏置鏡、偏置鏡座以及旋轉(zhuǎn)軸，所述偏置鏡設(shè)于所述偏置鏡座內(nèi)，所述偏置鏡座設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)焦調(diào)平主框架板設(shè)有用于容置所述旋轉(zhuǎn)軸的通孔，所述偏置鏡座設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，還包括一用于鎖住所述旋轉(zhuǎn)軸系的制動(dòng)裝置，所述制動(dòng)裝置設(shè)置于調(diào)焦調(diào)平主框架板的下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，所述制動(dòng)裝置包括制動(dòng)軸和制動(dòng)器件，所述制動(dòng)器件固定設(shè)置于調(diào)焦調(diào)平主框架板的所述通孔處，且所述制動(dòng)器件位于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板的下方，所述旋轉(zhuǎn)軸具有一中心孔，所述制動(dòng)軸的上端卡合于所述旋轉(zhuǎn)軸的中心孔中，所述制動(dòng)軸的另一端穿設(shè)于所述制動(dòng)器件內(nèi)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的偏置平板調(diào)整裝置，其特征在于，還包括一角度傳感器，所述角度傳感器設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種偏置平板調(diào)整裝置，設(shè)于調(diào)焦調(diào)平主框架板上用于調(diào)整偏置平板的角度，所述偏置平板調(diào)整裝置包括旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)軸系和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述調(diào)焦調(diào)平主框架板上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一楔形塊，所述楔形塊設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸系上。本實(shí)用新型可以有效減少對(duì)電機(jī)的精度要求。另外，通過(guò)將角度傳感器安裝在旋轉(zhuǎn)軸系上，可以減少由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)間隙和零件加工等因素引入的誤差，從而得到更精確的位置精度。另通過(guò)用于鎖定所述旋轉(zhuǎn)軸系的制動(dòng)裝置，當(dāng)所述偏置平板到達(dá)設(shè)定的位置時(shí)，制動(dòng)器件將制動(dòng)軸鎖定，從而將所述旋轉(zhuǎn)軸系及偏置平板鎖定。此時(shí)可以切斷電機(jī)電源，從而，減少電機(jī)發(fā)熱對(duì)整機(jī)的影響。
文檔編號(hào)G03F9/00GK202533713SQ20122008982
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者李志丹, 王成才, 章富平, 魯武旺 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司