專利名稱：光致抗蝕劑組合物的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑組合物，具體地涉及一種含有共溶劑的抗蝕劑組合物，其在真空干燥后具有優(yōu)異的涂布均勻度及圖案輪廓(pattern profile)，并且具有優(yōu)異的抑制涂布后斑點(不均)的能力，可容易適用在實際工業(yè)生產(chǎn)上，而且在大規(guī)模生產(chǎn)時， 憑借使用量的降低及大量生產(chǎn)所需時間的縮短等，可以更好地改善作業(yè)環(huán)境。
背景技術：
如同液晶顯示裝置電路或半導體集成電路，為了形成精細的電路圖案，首先向已形成在基板上的絕緣膜或金屬導電膜均勻地涂布光致抗蝕劑組合物。然后，使用規(guī)定形狀的掩膜，對經(jīng)過涂布的光致抗蝕劑組合物進行曝光、顯影，以形成規(guī)定形狀的圖案。之后，將形成有所述圖案的光致抗蝕劑膜作為掩膜，對金屬膜或絕緣膜進行蝕刻后，除去殘留的光致抗蝕劑膜，以在基板上形成精細電路。所述涂布一般采用旋轉(zhuǎn)涂布方式或狹縫涂布方式。這些涂布方式的優(yōu)點在于能夠形成均勻的光致抗蝕劑膜。涂布均勻度是指涂布在整個基板上的光致抗蝕劑厚度的均勻程度，涂布均勻度越高，則在后續(xù)工藝中越容易確保安全性。因此，為了形成更加均勻且無斑點的光致抗蝕劑膜，適用多種溶劑。光致抗蝕劑組合物一般包含高分子樹脂、感光性化合物及溶劑，以往已有很多嘗試來改善利用光致抗蝕劑組合物形成的光致抗蝕劑膜的涂布均勻度、感光速度、顯影對比度、分辨率及人身安全性。具體地，美國專利第3666473號披露了兩種苯酚甲醛(phenolformaldehyde)酚醛清漆樹脂的混合物及典型的感光性化合物，美國專利第41151 號披露了將有機酸環(huán)酐添加至酚醛樹脂和二疊氮基萘醌感光劑中，以增加感光速度的方案，美國專利第4550069號披露了一種使用酚醛清漆樹脂、鄰二疊氮萘醌(o-quinonediazide)感光性化合物及作為溶劑的丙二醇烷基醚乙酸酯，以提高涂布均勻度及感光速度并改善人身安全性的方案。此外，還開發(fā)出各種用于旋轉(zhuǎn)涂布方式的溶劑，以改善液晶顯示器用光致抗蝕劑組合物的物理性質(zhì)及工作穩(wěn)定性。例如，該溶劑包括乙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乳酸乙酯等。然而，使用乙二醇單乙基醚乙酸酯時，已有報告指出對于人身安全具有嚴重的副作用，使用丙二醇單乙基醚乙酸酯時，則有諸如TFT-LCD等大型基板在烘烤工藝后產(chǎn)生頂白(Pin mark)以及單獨作為溶劑時會降低平坦特性等缺陷，而且使用乳酸乙酯時，組合物對基板的粘附性不佳，難以進行均勻的涂布。采用狹縫涂布方式時，由于沒有已知旋轉(zhuǎn)涂布方式中的離心力作用，所以為了獲得均勻的涂布特性，需要使用涂布后真空干燥時具有優(yōu)異的平坦性及均勻的圖案性能的溶劑。尤其是，真空干燥時由于覆膜表面比內(nèi)部更容易干燥，因此圖案形狀成為倒錐形的情況較多，從而導致后續(xù)工序中產(chǎn)生次品。因此，仍然存在對適用于各種生產(chǎn)工藝而無需犧牲光致抗蝕劑組合物的優(yōu)選性能中的任何一種性能的光致抗蝕劑組合物的需求。所述光致抗蝕劑組合物的優(yōu)選性能包括涂布均勻度、抑制涂布斑點(不均)特性、感光速度、殘膜率、顯影對比度、分辨率、高分子樹脂的溶解度、與基板的粘附性、電路線寬均勻度等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種包含特定結(jié)構(gòu)的共溶劑的光致抗蝕劑組合物，使得在涂布時減少斑點并提高涂布均勻度，真空干燥時防止產(chǎn)生倒錐形，借以顯著地改善圖案形狀，且不會導致圖案寬度(Pattern width)不均勻。本發(fā)明提供一種光致抗蝕劑組合物，其包含a)5 30重量％的酚醛清漆樹脂； b)2 10重量％的二疊氮類感光性化合物；c) 1 70重量％的由下述化學式1表示的化合物；以及d)余量的有機溶劑。[化學式1]
權利要求
1.一種光致抗蝕劑組合物，其包含a)5 30重量％的酚醛清漆樹脂；b)2 10重量％的二疊氮類感光性化合物；c)1 70重量％的由下述化學式1表示的共溶劑；以及d)余量的有機溶劑，[化學式1]O ρ在所述化學式1中，R1為氫或具有1 10個直鏈或側(cè)鏈碳原子的烷基，R2為具有1 10個直鏈或側(cè)鏈碳原子的烷基或烯丙基。
2.根據(jù)權利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中由所述化學式1表示的共溶劑為選自2-甲基戊二酸二甲酯、己二酸二甲酯、戊二酸二甲酯、丁二酸二甲酯、己二酸二異丁酯、 戊二酸二異丁酯及丁二酸二異丁酯中的至少一種。
3.根據(jù)權利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中所述酚醛清漆樹脂為間甲酚和對甲酚的重量比為28至82的至少兩種酚醛清漆樹脂的混合物。
4.根據(jù)權利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中所述感光性化合物為2，3，4-三羥基二苯酮-1，2- 二疊氮基萘醌-5-磺酸鹽、2，3，4，4’ -四羥基二苯酮-1，2- 二疊氮基萘醌-5-磺酸鹽或者它們的混合物。
5.根據(jù)權利要求1所述的光致抗蝕劑組合物，其中所述有機溶劑為選自丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、甲基乙基酮、甲基異丁基酮及ι-甲基-2-吡咯烷酮中的至少一種。
6.一種圖案形成方法，包括以下步驟將權利要求1至5中的任一項所述的光致抗蝕劑組合物涂布在基板上，之后進行熱處理以形成具有規(guī)定厚度的光致抗蝕劑膜，然后進行曝光及顯影以形成圖案。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑組合物，更具體地，涉及一種包含(a)5～30重量％的酚醛清漆樹脂；(b)2～10重量％的二疊氮類感光性化合物；(c)1～70重量％的二烷基醚(dialkyl ether)類共溶劑；及(d)余量的有機溶劑的光致抗蝕劑組合物，其在真空干燥時不會形成倒錐形，具有優(yōu)異的涂布均勻度，而且能夠防止產(chǎn)生涂布斑點。
文檔編號G03F7/008GK102566270SQ20111035324
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月7日 優(yōu)先權日2010年11月19日
發(fā)明者咸先美, 朱相一, 樸一圭, 樸柱京, 李原榮, 李斗淵, 洪宇成, 諸葛銀, 邊滋勛, 鄭起和, 金東敏, 金京浩, 金升起, 金炳郁 申請人:株式會社東進世美肯