專利名稱：光控制裝置以及光控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光控制裝置以及光控制方法。
背景技術(shù)：
空間光調(diào)制器在各個(gè)二維排列的多個(gè)像素中能夠調(diào)制輸入光的強(qiáng)度或者相位。作為這樣的空間光調(diào)制器，存在能夠僅調(diào)制強(qiáng)度的強(qiáng)度調(diào)制型的調(diào)制器、能夠僅調(diào)制相位的相位調(diào)制型的調(diào)制器、能夠調(diào)制強(qiáng)度以及相位的兩者的強(qiáng)度相位調(diào)制型的調(diào)制器?？臻g光調(diào)制器的各個(gè)像素中調(diào)制了強(qiáng)度或者相位而輸出的光例如被設(shè)置于空間光調(diào)制器的后段的聚光光學(xué)系統(tǒng)聚光，從而能夠加工存在于該聚光位置的對(duì)象物。強(qiáng)度調(diào)制型的空間光調(diào)制器是調(diào)整每個(gè)像素中輸入光的透過率的空間光調(diào)制器， 因?yàn)椴荒軌蚶梦赐高^的部分的光，所以光的利用效率較差。強(qiáng)度相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器難以互相獨(dú)立地控制各個(gè)像素中的強(qiáng)度調(diào)制和相位調(diào)制，因而使用操作較為困難。另一方面，相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器是調(diào)制每個(gè)像素中輸入光的相位的空間光調(diào)制器，因?yàn)槟軌蜉敵鰩缀跛械墓猓怨獾睦眯瘦^高。另外，相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器通過顯示由計(jì)算機(jī)全息圖(hologram)等制作成的相位圖案，從而輸出光的光束截面上的相位分布的自由度較高，由聚光光學(xué)系統(tǒng)得到的輸出光的聚光位置的自由度較高。 作為使用這樣的相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器的光控制的用途，可以列舉加工對(duì)象物的表面和內(nèi)部的加工、拉蓋爾-高斯(Laguerre-Gaussian)模式光的生成等。另外，眾所周知相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器中能夠調(diào)制每個(gè)像素中被相位調(diào)制而輸出的光的強(qiáng)度(參照非專利文獻(xiàn)1)。這是一種使通過重疊用于光衍射的炫耀光柵 (blazed grating)圖案和具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案而成的相位圖案顯示于相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，調(diào)整炫耀光柵圖案，從而調(diào)整空間光調(diào)制器中的光衍射效率的裝置。由此，由空間光調(diào)制器進(jìn)行衍射而輸出的光，在其光束截面上能夠具有所希望的強(qiáng)度分布以及相位分布。另外，一般來說，光波的相位α和相位(α+2ηπ)因?yàn)槭峭鹊?，所以空間光調(diào)制器的各個(gè)像素中的光相位調(diào)制如果能夠在2π的范圍內(nèi)那么是充分的。在此，η為任意的整數(shù)。例如，在相位調(diào)制量超過2 π的情況下，通過對(duì)該相位調(diào)制量加減2η π (稱為“相位折疊”)從而可以使相位調(diào)制量為從0到的范圍內(nèi)的值。即使如上所述被相位折疊后的相位調(diào)制量成為空間光調(diào)制器的各個(gè)像素的相位調(diào)制量，原理上也不會(huì)產(chǎn)生任何問題?，F(xiàn)有的空間光調(diào)制器被設(shè)定為具有相位調(diào)制范圍2 π。這是由于如果空間光調(diào)制器中的相位調(diào)制范圍是2 π，那么相位圖案中通過進(jìn)行相位折疊從而在原理上也能夠表現(xiàn)超過2 π的相位調(diào)制。另外，空間光調(diào)制器具有超過2 π的相位調(diào)制范圍，不僅是冗長的， 而且會(huì)引起輸入灰度(gradation)值與相位調(diào)制量之間的關(guān)系上的分辨率的降低和應(yīng)答速度的降低。非專利文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn) 1 :Joseph P. Kirk and Alan L. Jones, "Phase-onlycomplex-valuespatial filter", Journal of the optical society of America, Vol.61, No. 8,1971

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題然而，本發(fā)明人利用使通過重疊炫耀光柵(blazed grating)圖案和規(guī)定的相位圖案而成的相位圖案顯示于相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器而在該空間光調(diào)制器中能夠調(diào)制每個(gè)像素中被相位調(diào)制而輸出的光的強(qiáng)度，進(jìn)行了各種各樣的研究開發(fā)。本發(fā)明人在進(jìn)行該研究開發(fā)的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)了會(huì)有產(chǎn)生從空間光調(diào)制器輸出的光的光束截面上的強(qiáng)度分布以及相位分布與所希望的分布不同的現(xiàn)象的情況，即會(huì)有從空間光調(diào)制器輸出的光的光束品質(zhì)降低的現(xiàn)象。而且，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了該現(xiàn)象起因于相位折疊。本發(fā)明是為了解決上述問題而悉心研究之結(jié)果，以提供一種在使通過重疊炫耀光柵圖案和具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案而成的相位圖案顯示于相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器的技術(shù)中，能夠獲得具有所希望的光束截面的光的光控制裝置以及光控制方法為目的。解決課題的技術(shù)手段本發(fā)明所涉及的光控制裝置，其特征在于，具備(1)輸出光的光源；(2)能夠在 4 π的范圍內(nèi)進(jìn)行二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，輸入從光源輸出的光，顯示在多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案，輸出由該相位圖案進(jìn)行相位調(diào)制后的光的相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器；以及(3)使相位調(diào)制范圍為2 π以下的用于光衍射的炫耀光柵(blazed grating)圖案和相位調(diào)制范圍為2 π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器，調(diào)整炫耀光柵圖案，從而調(diào)整空間光調(diào)制器中的光衍射效率的控制部。在本發(fā)明所涉及的光控制裝置中，控制部優(yōu)選為使重疊了具有對(duì)應(yīng)于特定指數(shù)的拉蓋爾-高斯(Laguerre-Gaussian)模式光的光束截面上的強(qiáng)度分布的光衍射效率分布的炫耀光柵圖案和具有對(duì)應(yīng)于拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的相位分布的相位調(diào)制分布的相位圖案的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器。另外，在本發(fā)明所涉及的光控制裝置中，控制部優(yōu)選為使重疊了具有對(duì)應(yīng)于在光束截面上具有特定的強(qiáng)度分布以及相位分布的光的該強(qiáng)度分布的光衍射效率分布的炫耀光柵圖案和具有對(duì)應(yīng)于相位分布的相位調(diào)制分布的相位圖案的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器。本發(fā)明所涉及的光控制方法，其特征在于，使用(1)輸出光的光源；以及O)能夠在的范圍內(nèi)進(jìn)行二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，輸入從光源輸出的光，顯示在多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案，輸出由該相位圖案進(jìn)行相位調(diào)制后的光的相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，(3)使相位調(diào)制范圍為2 π以下的用于光衍射的炫耀光柵圖案和相位調(diào)制范圍為2π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器，調(diào)整炫耀光柵圖案，從而調(diào)整空間光調(diào)制器中的光衍射效率。本發(fā)明所涉及的光控制方法優(yōu)選為使重疊了具有對(duì)應(yīng)于特定指數(shù)的拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的強(qiáng)度分布的光衍射效率分布的炫耀光柵圖案和具有對(duì)應(yīng)于拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的相位分布的相位調(diào)制分布的相位圖案的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器。本發(fā)明所涉及的光控制方法優(yōu)選為使重疊了具有對(duì)應(yīng)于在光束截面上具有特定的強(qiáng)度分布以及相位分布的光的該強(qiáng)度分布的光衍射效率分布的炫耀光柵圖案和具有對(duì)應(yīng)于相位分布的相位調(diào)制分布的相位圖案的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠在使炫耀光柵圖案和具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器的技術(shù)中獲得具有所希望的光束截面的光。


圖1是光控制裝置1的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示炫耀光柵(blazed grating)圖案的圖。圖3是表示炫耀光柵圖案中的相位調(diào)制分布的一個(gè)例子的圖。圖4是表示實(shí)際的顯示于空間光調(diào)制器的炫耀光柵圖案中的k值與衍射效率的關(guān)系的圖表。圖5是表示炫耀光柵圖案中的相位調(diào)制分布的一個(gè)例子的圖。圖6是表示炫耀光柵圖案中的各個(gè)像素的相位調(diào)制量的一個(gè)例子的圖表。圖7是表示相位圖案中的相位調(diào)制分布的一個(gè)例子的圖。圖8是表示重疊了炫耀光柵圖案(圖5、圖6)和具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案(圖7)的相位圖案中的相位調(diào)制分布的圖。圖9是表示對(duì)相位圖案(^result (圖8)進(jìn)行相位折疊之后的相位圖案中的相位調(diào)制分布的圖。圖10是表示在比較例的情況下從空間光調(diào)制器輸出的光的光束截面上的強(qiáng)度分布的一個(gè)例子的圖。圖11是表示LGli3光的光束截面上的強(qiáng)度分布的圖。圖12是表示用于獲得LGu光的光束截面上的強(qiáng)度分布(圖11)的炫耀光柵圖案
^grating 的圖。圖13是表示用于獲得LGu光的光束截面上的相位分布的所希望相位圖案的圖。圖14是表示由本實(shí)施方式所生成的LGli3光的光束截面上的強(qiáng)度分布的圖。圖15是表示由比較例所生成的LGu光的光束截面上的強(qiáng)度分布的圖。圖16是表示光束整形前的強(qiáng)度分布以及光束整形后的強(qiáng)度分布的一個(gè)例子的圖。符號(hào)的說明L···光控制裝置、2…攝像裝置、10…光源、20···棱鏡、30…空間光調(diào)制器、31···驅(qū)動(dòng)
部、32…控制部、41...透鏡、42…縫隙(aperture)、43…透鏡。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，詳細(xì)地說明用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式。還有，在圖面的說明中， 將相同的符號(hào)標(biāo)注于相同的要素，從而省略重復(fù)的說明。圖1是光控制裝置1的結(jié)構(gòu)圖。由該圖所表示的光控制裝置1具備光源10、棱鏡 20、空間光調(diào)制器30、驅(qū)動(dòng)部31、控制部32、透鏡41、縫隙42以及透鏡43。還有，在該圖中除了光控制裝置1之外還表示有攝像裝置2。本發(fā)明中所使用的相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器可以是反射型的空間光調(diào)制器，也可以是透過型的空間光調(diào)制器。作為反射型的空間光調(diào)制器，可以是LC0S(Liquid Crystal on Silicon) MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)型以及光尋址型中的任意一種。另外，作為透過型的空間光調(diào)制器，可以是LCD(Liquid Crystal Display)等。在圖1 中，作為空間光調(diào)制器30，表示反射型的空間光調(diào)制器。光源10是輸出應(yīng)該由空間光調(diào)制器30進(jìn)行相位調(diào)制的光的裝置，優(yōu)選為激光光源，也可以是飛秒(femto second)激光光源或Nd:YAG激光光源等的脈沖激光光源，也可以是He-Ne等的CW激光光源。從光源10輸出的光優(yōu)選為在經(jīng)過空間濾波器(spatial filter)之后由準(zhǔn)直透鏡(Collimate Lens)校準(zhǔn)。棱鏡20具有第1反射面21以及第2反射面22。棱鏡20的第1反射面21輸入從光源10輸出的光，并將該光向空間光調(diào)制器30反射。棱鏡20的第2反射面22輸入從空間光調(diào)制器30輸出的光，并將該光向透鏡41反射?？臻g光調(diào)制器30是相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，具有二維排列的多個(gè)像素，能夠在的范圍內(nèi)進(jìn)行這些多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，并能夠顯示在多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案?？臻g光調(diào)制器30輸入從光源10輸出并在棱鏡20的第1 反射面21上被反射而到達(dá)的光，并使由該相位圖案進(jìn)行相位調(diào)制之后的光向棱鏡20的第 2反射面22輸出。該空間光調(diào)制器30中所顯示的相位圖案例如可以列舉由數(shù)值計(jì)算求得的計(jì)算機(jī)全息圖(CGH :Computer Generated Hologram)等。驅(qū)動(dòng)部31是設(shè)定空間光調(diào)制器30的二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制量的裝置，將用于該每個(gè)像素的相位調(diào)制量設(shè)定的信號(hào)賦予空間光調(diào)制器30。驅(qū)動(dòng)部31通過設(shè)定空間光調(diào)制器30的二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制量從而使相位圖案顯示于空間光調(diào)制器30?？刂撇?2例如由計(jì)算機(jī)所構(gòu)成，通過控制驅(qū)動(dòng)部31的動(dòng)作從而從驅(qū)動(dòng)部31向空間光調(diào)制器30寫入相位圖案。即存儲(chǔ)應(yīng)該被顯示于空間光調(diào)制器30的相位圖案A，或者制作該相位圖案A并從驅(qū)動(dòng)部31將該相位圖案A寫入到空間光調(diào)制器30。該相位圖案A由相位調(diào)制范圍為以下的用于光衍射的炫耀光柵(blazed grating)圖案和相位調(diào)制范圍為2 π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成。具有該規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案包含用于在光束截面上實(shí)現(xiàn)所希望的相位分布的成分，另外，優(yōu)選還包含用于修正光控制裝置1中的包括空間光調(diào)制器30的光學(xué)系統(tǒng)的相位失真的成分。通過調(diào)整炫耀光柵圖案從而能夠調(diào)整空間光調(diào)制器30中的光衍射效率。透鏡41輸入從空間光調(diào)制器30輸出并在棱鏡20的第2反射面22上被反射的光。透鏡41和透鏡43構(gòu)成了 4f光學(xué)系統(tǒng)，在兩者之間的焦點(diǎn)位置上配置有縫隙42的開口。該縫隙42以僅通過所希望的次數(shù)的衍射光的方式配置。攝像裝置2接收從光控制裝置1的透鏡43輸出的光B，并取得該光B的光束截面上的強(qiáng)度分布。攝像裝置2是用于觀察從光控制裝置1輸出的光的品質(zhì)的裝置。還有，在用于加工等的時(shí)候，在透鏡43的后段重新配置透鏡，并在其聚光點(diǎn)位置上配置加工對(duì)象物。該光控制裝置1的大致動(dòng)作如以下所述。由被控制部32控制的驅(qū)動(dòng)部31，將炫耀光柵圖案和相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于空間光調(diào)制器30。從光源10輸出的光在棱鏡20的第1反射面21上被反射，并被輸入到空間光調(diào)制器30。被輸入到空間光調(diào)制器30的光由被顯示于空間光調(diào)制器30的相位圖案中的炫耀光柵圖案而被衍射并輸出。該光衍射的時(shí)候的衍射效率根據(jù)炫耀光柵圖案的形狀而不同， 另外，會(huì)有根據(jù)空間光調(diào)制器30的入射面上的位置而不同的情況。另外，從空間光調(diào)制器 30被衍射并被輸出的光成為由被顯示于空間光調(diào)制器30的相位圖案中的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案而被相位調(diào)制的光。從空間光調(diào)制器30輸出的光在棱鏡20的第2反射面22上被反射，經(jīng)過透鏡41、 縫隙42以及透鏡43，并由攝像裝置2進(jìn)行受光從而取得光束截面上的強(qiáng)度分布。此時(shí)，透鏡41、縫隙42以及透鏡43為選擇性地通過從空間光調(diào)制器30輸出的光中的所希望的衍射次數(shù)的衍射光的結(jié)構(gòu)。因此，從透鏡43輸出到攝像裝置2的光B成為具有所希望的強(qiáng)度分布以及相位分布的光。接著，對(duì)被顯示于空間光調(diào)制器30的相位圖案進(jìn)行詳細(xì)的說明。該相位圖案由用于光衍射的炫耀光柵圖案和具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成。圖2是表示炫耀光柵圖案的圖。在該圖中，以濃淡表示各個(gè)像素的相位調(diào)制量(調(diào)制寬度2π)。如果對(duì)顯示有這樣的炫耀光柵圖案的空間光調(diào)制器30輸入光，那么該光被衍射。該光衍射的時(shí)候的衍射效率根據(jù)炫耀光柵圖案的形狀而不同。將沿著空間光調(diào)制器30的光入射面上的特定方向的N像素作為1周期的炫耀光柵圖案^grating由下述式⑴表示。在此，η表示沿著特定方向的周期內(nèi)的像素位置。k可以是0以上1以下的值。因此，炫耀光柵圖案(^grating的相位調(diào)制范圍為2 π以下的^π。[數(shù)1]φ^(η) = 2π. Iir^lll…⑴該炫耀光柵圖案(^grating的理論上的衍射效率I+lth由下述式(2)表示，且根據(jù)k值而不同。當(dāng)k值為1的時(shí)候，理論上的衍射效率I+lth的最大值為1。[數(shù)2]7僅=n(l-k)…⑵因此，如果空間光調(diào)制器30的光入射面上k值不同地分布，那么在空間光調(diào)制器 30的光入射面上的光衍射效率也進(jìn)行分布。圖3是表示炫耀光柵圖案C^grating中的相位調(diào)制分布的一個(gè)例子的圖。在該圖中，橫軸表示像素位置。如該圖所示的例子那樣，在越向右 k值越大的情況下，越向右衍射效率越高。圖4是表示實(shí)際的顯示于空間光調(diào)制器的炫耀光柵圖案$grating中的k值與衍射效率的關(guān)系的圖表。如該圖所示，k值越大衍射效率越高。 還有，衍射角不依賴于k值。被顯示于空間光調(diào)制器30的相位圖案是重疊了上述那樣的炫耀光柵圖案 ^grating和作為相位圖案的所希望相位圖案^esireW相位圖案，由下述式⑶表示?；蛘撸伙@示于空間光調(diào)制器30的相位圖案C^result是重疊了上述那樣的炫耀光柵圖案6grating和作為相位圖案的所希望相位圖案Φ^μ以及失真修正圖案Φ。 Μ。 。η的相位圖案，由下述式 (4)表示。[數(shù)3]φ resiuit 辦 grating+ 辦 desire(3)[數(shù)4]
權(quán)利要求
1.一種光控制裝置，其特征在于，具備光源，輸出光；相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，能夠在4 π的范圍內(nèi)進(jìn)行二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，輸入從所述光源輸出的光，顯示在所述多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案，并輸出由該相位圖案進(jìn)行相位調(diào)制后的光；以及控制部，使相位調(diào)制范圍為2π以下的用于光衍射的炫耀光柵圖案和相位調(diào)制范圍為 2π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，調(diào)整所述炫耀光柵圖案，從而調(diào)整所述空間光調(diào)制器中的光衍射效率。
2.如權(quán)利要求1所述的光控制裝置，其特征在于，所述控制部使重疊了所述炫耀光柵圖案和所述相位圖案的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，所述炫耀光柵圖案具有對(duì)應(yīng)于特定指數(shù)的拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的強(qiáng)度分布的光衍射效率分布，所述相位圖案具有對(duì)應(yīng)于所述拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的相位分布的相位調(diào)制分布。
3.如權(quán)利要求1所述的光控制裝置，其特征在于，所述控制部使重疊了所述炫耀光柵圖案和所述相位圖案的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，所述炫耀光柵圖案具有對(duì)應(yīng)于在光束截面上具有特定的強(qiáng)度分布以及相位分布的光的該強(qiáng)度分布的光衍射效率分布，所述相位圖案具有對(duì)應(yīng)于所述相位分布的相位調(diào)制分布。
4.一種光控制方法，其特征在于，使用光源，輸出光；以及相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，能夠在4 π的范圍內(nèi)進(jìn)行二維排列的多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，輸入從所述光源輸出的光，顯示在所述多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案，并輸出由該相位圖案進(jìn)行相位調(diào)制后的光，使相位調(diào)制范圍為2π以下的用于光衍射的炫耀光柵圖案和相位調(diào)制范圍為2π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案重疊而成的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，調(diào)整所述炫耀光柵圖案，從而調(diào)整所述空間光調(diào)制器中的光衍射效率。
5.如權(quán)利要求4所述的光控制方法，其特征在于，使重疊了所述炫耀光柵圖案和所述相位圖案的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，所述炫耀光柵圖案具有對(duì)應(yīng)于特定指數(shù)的拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的強(qiáng)度分布的光衍射效率分布，所述相位圖案具有對(duì)應(yīng)于所述拉蓋爾-高斯模式光的光束截面上的相位分布的相位調(diào)制分布。
6.如權(quán)利要求4所述的光控制方法，其特征在于，使重疊了所述炫耀光柵圖案和所述相位圖案的相位圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，所述炫耀光柵圖案具有對(duì)應(yīng)于在光束截面上具有特定的強(qiáng)度分布以及相位分布的光的該強(qiáng)度分布的光衍射效率分布，所述相位圖案具有對(duì)應(yīng)于所述相位分布的相位調(diào)制分布。
全文摘要
本發(fā)明涉及光控制裝置以及光控制方法。光控制裝置(1)具備光源(10)、棱鏡(20)、空間光調(diào)制器(30)、驅(qū)動(dòng)部(31)、控制部(32)、透鏡(41)、縫隙(42)以及透鏡(43)?？臻g光調(diào)制器(30)是相位調(diào)制型的空間光調(diào)制器，具有二維排列的多個(gè)像素，能夠在4π的范圍內(nèi)進(jìn)行這些多個(gè)像素的各個(gè)中的相位調(diào)制，顯示在多個(gè)像素的各個(gè)中對(duì)光的相位進(jìn)行調(diào)制的相位圖案。該相位圖案由重疊相位調(diào)制范圍為2π以下的用于光衍射的炫耀光柵圖案和相位調(diào)制范圍為2π以下的具有規(guī)定的相位調(diào)制分布的相位圖案而成。
文檔編號(hào)G02F1/01GK102265207SQ200980152729
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2009年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月24日
發(fā)明者井上卓, 大竹良幸, 安藤太郎, 松本直也 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社