專利名稱：硅片雙面光刻用模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種硅片在光刻過程中的模具，具體涉及一種硅片雙面光刻用模具。
背景技術(shù)：
在硅片制備過程中，往往需要對硅片進(jìn)行雙面光刻?，F(xiàn)有的雙面光刻工藝可通過 雙面光刻機(jī)直接進(jìn)行光刻，而雙面光刻機(jī)的價格非常昂貴，使得硅片的光刻工藝生產(chǎn)成本 較高。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種不僅結(jié)構(gòu)簡單、而且操作方便，能夠在單面光刻機(jī) 進(jìn)行雙面光刻，且光刻工藝生產(chǎn)成本較低的硅片雙面光刻用模具。 為了達(dá)到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是一種硅片雙面光刻用模具，包括第 一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板，其創(chuàng)新點在于還包括第一模塊和第二模塊；第一模塊 和第二模塊相對合；在第一模塊和第二模塊的對合面上，分別設(shè)有相互對稱布置的可容置 第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板的第一沉孔和第二沉孔；所述第一沉孔和第二沉孔的深 度，分別等于第一透光基準(zhǔn)板的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基準(zhǔn)板的厚度加 上硅片1/2厚度之和；第一模塊和第二模塊分別有第一透光通孔和第二透光通孔，且第一 透光通孔和第二透光通孔，分別小于第一沉孔和第二沉孔；所述第一模塊和第二模塊兩者 的一側(cè)，通過鉸接副相互鉸接，而兩者的另一側(cè)通過扣合副相互扣合；第一模塊和第二模塊 兩者的對合面上，且分別沿第一沉孔和第二沉孔的周邊，至少設(shè)有2個用來容置緊定螺釘， 且其深度大于緊定螺釘?shù)穆葆旑^長度的第三沉孔和第四沉孔；在所述第三沉孔和第四沉孔 的底面，設(shè)有與所述緊定螺釘目擰合的螺孔，且所述緊定螺釘?shù)穆葆旑^，可分別與第一透光 基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板相壓接，從而令第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板，分別定置且 相互對位于第一沉孔和第二沉孔。 在第一模塊所設(shè)的第一沉孔和第二模塊所設(shè)的第二沉孔，分別與第一透光基準(zhǔn)板 和第二透光基準(zhǔn)板裝配精度差，而有可能造成第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板需要調(diào)整 定位的條件下，上述硅片雙面光刻用模具中，還包括分別設(shè)在第一模塊和第二模塊上的用 來調(diào)整第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板所設(shè)的光刻圖紋相互重影的圖紋調(diào)整組件；所述 圖紋調(diào)整組件，包括2組每組2個調(diào)整螺釘，和2組每組2個由彈簧和螺釘組成的彈性調(diào)整 螺釘組件，且每組2個調(diào)整螺釘和每組2個彈性調(diào)整螺釘組件，分別相對布置在第一沉孔和 第二沉孔的兩側(cè)，且分別與第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板相抵接。由于彈性調(diào)整螺釘 組件的存在，可以避免所述透光基準(zhǔn)板的破損。 上述硅片雙面光刻用模具中，所述扣合副包括分別與第一模塊和第二模塊連接的 扣合座、扣合桿、彈簧和墊片；扣合桿的一端，與第一模塊的扣合座或第二模塊的扣合座鉸 接，彈簧和墊片套裝在扣合桿上，且彈簧的一端與扣合桿把手相抵接，而其另一端與墊片相抵接；扣合桿的長度，大于第一模塊的扣合座與第二模塊的扣合座兩者之間的距離。這一技
術(shù)方案，屬于彈性扣合技術(shù)。其目的在于，可有效避免硅片的受損甚至造成破裂。 上述硅片雙面光刻用模具中，還包括用來扣壓第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板
的彈性墊塊；所述彈性墊塊套裝在所述緊定螺釘?shù)穆輻U上；所述緊定螺釘通過彈性墊塊，
將第一基準(zhǔn)板和第二基準(zhǔn)板，分別定置在第一沉孔和第二沉孔內(nèi)。由于彈性墊塊例如橡膠
墊塊或銅片墊塊的存在，可以有效避免損傷所述透光基準(zhǔn)板。 上述硅片雙面光刻用模具中，所述第一模塊所設(shè)的第一透光通孔，和第二模塊所 設(shè)的第二透光通孔，均為錐形通孔；且所述錐形通孔的小口徑端，分別與第一沉孔和第二沉 孔相貫通。以進(jìn)一步提高透光強(qiáng)度。 本實用新型所具有的積極效果是在其使用時，可將需要光刻的硅片放在第一透 光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板之間，且通過扣合副將第一模塊與第二模塊相互扣合，然后本 實用新型放入單面光刻機(jī)的光刻平臺上，進(jìn)行硅片第一次單面光刻，完成后翻轉(zhuǎn)，進(jìn)行硅片 第二次單面光刻，即對硅片完成了雙面光刻工藝。這一結(jié)構(gòu)，不僅結(jié)構(gòu)簡單，而且操作方便， 因而能夠?qū)崿F(xiàn)在單面光刻機(jī)上進(jìn)行雙面光刻的目的，從而降低了硅片光刻工藝的生產(chǎn)成 本。

圖1是本實用新型一種具體實施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖(扣合狀態(tài))； 圖2是圖1的打開狀態(tài)圖，圖中所示第一沉孔3-1和第二沉孔4-l，均為四邊形； 圖3是圖2的A-A剖視圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖，通過具體實施例的描述，對本實用新型作進(jìn)一步的說明。 實施例1 參讀附圖1、2、3所示。 一種硅片雙面光刻用模具，包括第一透光基準(zhǔn)板l和第二 透光基準(zhǔn)板2，還包括第一模塊3和第二模塊4 ;第一模塊3和第二模塊4相對合；在第一模 塊3和第二模塊4的對合面上，分別設(shè)有相互對稱布置的可容置第一透光基準(zhǔn)板1和第二 透光基準(zhǔn)板2的四邊形第一沉孔3-1和四邊形第二沉孔4-1 ;所述第一沉孔3-1和第二沉 孔4-l的深度，分別等于第一透光基準(zhǔn)板1的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基準(zhǔn) 板2的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模塊3和第二模塊4分別設(shè)有第一透光通孔3-2 和第二透光通孔4-2，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2的中心線，分別與第一沉孔 3-1和第二沉孔4-1的中心線處在同一直線上，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2， 分別小于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1 ;所述第一模塊3和第二模塊4，通過鉸接副5相互 鉸接，且通過扣合副6相互扣合；第一模塊3和第二模塊4兩者的對合面上，且分別位于第 一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4個側(cè)邊相交部位，設(shè)有4個用來容置緊定螺釘7，且其深度 大于緊定螺釘7的螺釘頭長度的第三沉孔8和第四沉孔9，在所述第三沉孔8和第四沉孔9 的底面，設(shè)有與所述緊定螺釘7相擰合的螺孔IO，且所述緊定螺釘7的螺釘頭，可分別與第 一透光基準(zhǔn)板3和第二透光基準(zhǔn)板4相壓接。 實施例之一所描述的本實用新型，其所述第一沉孔3-l和第二沉孔4-l，分別與第
4一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2精準(zhǔn)配合，且可采用十字坐標(biāo)刻線，進(jìn)行第一透光基準(zhǔn)板1與第二透光基準(zhǔn)板2圖紋重影的對位精整調(diào)節(jié)。[0017] 實施例2 如圖1、2、3所示，一種硅片雙面光刻用模具，包括第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2，還包括第一模塊3和第二模塊4 ;第一模塊3和第二模塊4相對合；在第一模塊3和第二模塊4的對合面上，分別設(shè)有相互對稱布置的可容置第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2的四邊形第一沉孔3-1和四邊形第二沉孔4-1 ;所述第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的深度，分別等于第一透光基準(zhǔn)板1的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基準(zhǔn)板2的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模塊3和第二模塊4分別設(shè)有第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2的中心線，分別與第一沉孔3-1和第二沉孔4-l的中心線處在同一直線上，且第一透光通孔3-2和第二透光通孔4-2，分別小于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1 ;所述第一模塊3和第二模塊4，通過鉸接副5相互鉸接，且通過扣合副6相互扣合；第一模塊3和第二模塊4兩者的對合面上，且分別位于第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4個側(cè)邊相交部位，設(shè)有4個用來容置緊定螺釘7，且其深度大于緊定螺釘7的螺釘頭長度的第三沉孔8和第四沉孔9，在所述第三沉孔8和第四沉孔9的底面，設(shè)有與所述緊定螺釘7相擰合的螺孔10，且所述緊定螺釘7的螺釘頭，可分別與第一透光基準(zhǔn)板3和第二透光基準(zhǔn)板4相壓接。 如圖1、2所示，為了保證第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2的光刻圖紋完全重影，還包括設(shè)在第一模塊3和第二模塊4上的用來調(diào)整第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2所設(shè)的光刻圖紋相互重影的圖紋調(diào)整組件11 ;所述圖紋調(diào)整組件ll，包括2組每組2個調(diào)整螺釘ll-l，和2組每組2個由彈簧11-2-1和螺釘11-2-2組成的彈性調(diào)整螺組件釘11-2，且每組2個調(diào)整螺釘11-1與每組2個彈性調(diào)整螺釘組件11-2，分別相對布置在第一沉孔3-1和第二沉孔3-2的兩側(cè)，且分別與第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2相抵接。 如圖1、2、3所示，為了保證第一模塊3和第二模塊4實現(xiàn)彈性扣合，所述扣合副6包括分別與第一模塊3和第二模塊4連接的具有豁口的扣合座3-3， 4-3，扣合桿13、彈簧14和墊片15 ;扣合桿13的一端，與第一模塊3的扣合座3-3或第二模塊4的扣合座4-3鉸接，彈簧14和墊片15套裝在扣合桿13上，且彈簧14的一端與扣合桿把手13-1相抵接，而其另一端與墊片15相抵接；扣合桿13的長度，大于第一模塊3的扣合座3-3與第二模塊4的扣合座4-3兩者之間的距離。 如圖2所示，為了避免第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2可能產(chǎn)生破裂，本實用新型還包括用來扣壓第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2的彈性墊塊16 ;所述彈性墊塊16套裝在所述緊定螺釘7的螺桿上；所述緊定螺釘7通過彈性墊塊16，將第一基準(zhǔn)板1和第二基準(zhǔn)板2，分別定置在第一沉孔3-1和第二沉孔4-1內(nèi)。 如圖3所示，為了使得硅片光刻時透光性好，所述第一模塊3所設(shè)的第一透光通孔3-2，和第二模塊4所設(shè)的第二透光通孔4-2，均為錐形通孔；且所述錐形通孔的小口徑端，分別與第一沉孔3-1和第二沉孔4-1相貫通。 本實用新型使用時，將第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2，分別裝在第一模塊3和第二模塊4的第一沉孔3-1和第二沉孔4-1中，在第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2裝配精度差的條件下，為了保證第一透光基準(zhǔn)板1、與第二透光基準(zhǔn)板2兩者的光刻圖紋完全重影，可通過調(diào)節(jié)圖紋調(diào)整組件ll的彈性螺釘調(diào)整組件ll-2，實施精確調(diào)整。待調(diào)整好后，再通過設(shè)在第一沉孔3-1和第二沉孔4-1的4個角落上的緊定螺釘7，將第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2固定。再將硅片17置于第一透光基準(zhǔn)板1和第二透光基準(zhǔn)板2之間，并且通過扣合副6扣合，再放在單面光刻機(jī)的光刻平臺上，進(jìn)行硅片17的第一次單面光刻，完成后翻轉(zhuǎn)，進(jìn)行硅片17的第二次單面光刻，即對硅片17完成了雙面光刻工藝。這一結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了在單面光刻機(jī)上對硅片進(jìn)行雙面光刻的工藝。本實用新型不僅結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，而且有效降低了硅片光刻工藝成本。 本實用新型初樣，在采用六角形蜂窩狀圖紋的透光基準(zhǔn)板，制備六角形硅片的光刻生產(chǎn)過程中的效果，是十分令人滿意的。
權(quán)利要求一種硅片雙面光刻用模具，包括第一透光基準(zhǔn)板(1)和第二透光基準(zhǔn)板(2)，其特征在于還包括第一模塊(3)和第二模塊(4)；第一模塊(3)和第二模塊(4)相對合；在第一模塊(3)和第二模塊(4)的對合面上，分別設(shè)有相互對稱布置的可容置第一透光基準(zhǔn)板(1)和第二透光基準(zhǔn)板(2)的第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的深度，分別等于第一透光基準(zhǔn)板(1)的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基準(zhǔn)板(2)的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模塊(3)和第二模塊(4)分別有第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，且第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，分別小于第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一模塊(3)和第二模塊(4)兩者的一側(cè)，通過鉸接副(5)相互鉸接，而兩者的另一側(cè)通過扣合副(6)相互扣合；第一模塊(3)和第二模塊(4)兩者的對合面上，且分別沿第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的周邊，至少設(shè)有2個用來容置緊定螺釘(7)，且其深度大于緊定螺釘(7)的螺釘頭長度的第三沉孔(8)和第四沉孔(9)；在所述第三沉孔(8)和第四沉孔(9)的底面，設(shè)有與所述緊定螺釘(7)相擰合的螺孔(10)，且所述緊定螺釘(7)的螺釘頭，可分別與第一透光基準(zhǔn)板(3)和第二透光基準(zhǔn)板(4)相壓接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片雙面光刻用模具，其特征在于還包括分別設(shè)在第一模 塊(3)和第二模塊(4)上的用來調(diào)整第一透光基準(zhǔn)板(1)和第二透光基準(zhǔn)板(2)所設(shè)的 光刻圖紋相互重影的圖紋調(diào)整組件(11);所述圖紋調(diào)整組件(11)，包括2組每組2個調(diào)整 螺釘(11-1)，和2組每組2個由彈簧(11-2-1)和螺釘(11-2-2)組成的彈性調(diào)整螺釘組件 (11-2)，且每組2個調(diào)整螺釘(11-1)和每組2個彈性調(diào)整螺釘組件(11-2)，分別相對布置 在第一沉孔(3-1)和第二沉孔(3-2)的兩側(cè)，且分別與第一透光基準(zhǔn)板(1)和第二透光基 準(zhǔn)板(2)相抵接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片雙面光刻用模具，其特征在于所述扣合副(6)包括分 別與第一模塊(3)和第二模塊(4)連接的扣合座(3-3，4-3)，扣合桿(13)、彈簧(14)和墊 片(15);扣合桿(13)的一端，與第一模塊(3)的扣合座(3-3)或第二模塊(4)的扣合座 (4-3)鉸接，彈簧(14)和墊片(15)套裝在扣合桿(13)上，且彈簧(14)的一端與扣合桿把 手(13-1)相抵接，而其另一端與墊片(15)相抵接；扣合桿(13)的長度，大于第一模塊(3) 的扣合座(3-3)與第二模塊(4)的扣合座(4-3)兩者之間的距離。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片雙面光刻用模具，其特征在于還包括用來扣壓第一透 光基準(zhǔn)板(1)和第二透光基準(zhǔn)板(2)的彈性墊塊(16);所述彈性墊塊(16)套裝在所述緊 定螺釘(7)的螺桿上；所述緊定螺釘(7)通過彈性墊塊(16)，將第一基準(zhǔn)板(1)和第二基 準(zhǔn)板(2)，分別定置在第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片雙面光刻用模具，其特征在于所述第一模塊(3)所設(shè) 的第一透光通孔(3-2)，和第二模塊(4)所設(shè)的第二透光通孔(4-2)，均為錐形通孔；且所述 錐形通孔的小口徑端，分別與第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)相貫通。
專利摘要本實用新型所公開的是一種硅片雙面光刻用模具，包括第一、二透光基準(zhǔn)板，以其還包括第一、第二模塊；所述第一模塊和第二模塊，通過鉸接副相互鉸接，且通過扣合副相互扣合；第一模塊和第二模塊，分別設(shè)有相互對稱布置的第一沉孔和第二沉孔；第一模塊和第二模塊兩者的對合面上，且分別沿第一沉孔和第二沉孔的周邊部位，至少設(shè)有2個用來容置緊定螺釘?shù)牡谌量缀偷谒某量?，在所述第三沉孔和第四沉孔的底面，設(shè)有與所述緊定螺釘相擰合的螺孔，且所述緊定螺釘?shù)穆葆旑^，可分別與第一透光基準(zhǔn)板和第二透光基準(zhǔn)板的相壓接為主要特征；具有結(jié)構(gòu)合理，操作方便，能夠在單面光刻機(jī)上進(jìn)行雙面光刻等優(yōu)點。
文檔編號G03F7/20GK201449516SQ20092004786
公開日2010年5月5日 申請日期2009年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月20日
發(fā)明者唐永紅, 高振宇 申請人:常州銀河電器有限公司